品牌

微纳真空、宏川真空、华析科技

型号

VZZS-550、HCZK-600、HZS-600

技术规格及参数

1. 真空腔室：要求采用304不锈钢材质，腔室直径不大于Φ800mm，高度不小于900mm，要求双层水冷，至少配一套方便拆卸的防污板；
★2. 真空系统：包含一台分子泵和一台前级泵，分子泵抽速≥5500m3/h，前级泵抽速≥50 m3/h，预留可升级为低温泵组的真空接口；
3. 真空极限：优于3.0×10-5Pa；
4. 抽速：抽至10-4Pa≤30min；
★5. 基片台：有效镀膜尺寸不小于6英寸方片，配一体式全尺寸挡板，挡板尺寸≥260mm，要求磁流体密封；基片台需要设计旋转，转速不少于0-30转/分且可自行调整，要求磁流体密封；衬底需设计加热，最高温度300℃，预留升级替换为基片台水冷的真空接口；
6. 电子束蒸发源：e型电子枪一支，枪功率不小于8Kw，配6穴直冷式坩埚，坩埚配有电动防污挡板，具有高压灭弧自动复位功能；
★7. 热阻蒸发源：不少于两组热阻蒸发源，各源均独立，采用陶瓷绝缘结构，源间有隔板，源上有气动水平打开式挡板，高度可调，要求磁流体密封；蒸发电源功率不小于2.2kW，电流显示精度0.1A，要求具备粗调微调功能；
8.膜厚控制系统：采用进口品牌薄膜沉积控制器在线监测、控制蒸镀速率和膜厚，1只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.015ā/s，厚度显示分辨率±0.015kā；
★9. 操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；
10.报警保护：缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、智能防误操作逻辑保护等；
11.其它：配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机1台，静音气泵1台，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作。

质保期

2年质保

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【24】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【48】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

品牌

微纳真空、宏川真空、华析科技

型号

VZZS-550、HCZK-600、HZS-600

技术规格及参数

1. 真空腔室：要求采用304不锈钢材质，腔室直径不大于Φ800mm，高度不小于900mm，要求双层水冷，至少配一套方便拆卸的防污板；
★2. 真空系统：包含一台分子泵和一台前级泵，分子泵抽速≥5500m3/h，前级泵抽速≥50 m3/h，预留可升级为低温泵组的真空接口；
3. 真空极限：优于3.0×10-5Pa；
4. 抽速：抽至10-4Pa≤30min；
★5. 基片台：有效镀膜尺寸不小于6英寸方片，配一体式全尺寸挡板，挡板尺寸≥260mm，要求磁流体密封；基片台需要设计旋转，转速不少于0-30转/分且可自行调整，要求磁流体密封；衬底需设计加热，最高温度300℃，预留升级替换为基片台水冷的真空接口；
6. 电子束蒸发源：e型电子枪一支，枪功率不小于8Kw，配6穴直冷式坩埚，坩埚配有电动防污挡板，具有高压灭弧自动复位功能；
★7. 热阻蒸发源：不少于两组热阻蒸发源，各源均独立，采用陶瓷绝缘结构，源间有隔板，源上有气动水平打开式挡板，高度可调，要求磁流体密封；蒸发电源功率不小于2.2kW，电流显示精度0.1A，要求具备粗调微调功能；
8.膜厚控制系统：采用进口品牌薄膜沉积控制器在线监测、控制蒸镀速率和膜厚，1只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.015ā/s，厚度显示分辨率±0.015kā；
★9. 操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；
10.报警保护：缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、智能防误操作逻辑保护等；
11.其它：配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机1台，静音气泵1台，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作。

质保期

2年质保

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【24】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【48】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。