天津大学-竞价公告(CB100562023000274)
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天津大学-竞价公告(CB100562023000274)
申购单号:CB*
申购主题:等离子体清洗仪
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/南开区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 等离子体清洗仪 | 1.0 | |
| 品牌 | 速谱仪器 | ||
| 型号 | SPC150 | ||
| 规格参数 | 泵组：国际一线品牌涡轮分子泵 +无油隔膜泵；分子泵抽速：>80L/s （N2）；前级泵：>0.7 m3/h；极限真空：<3*10-6 Torr；样品腔室尺寸：~250 *100 mm， 强弱分区设置；可以放置最多3路TEM hoder；等离子体清洗源：远程RF射频源；清洗电源功率：13.56 MHz RF电源，5-50W 可调；清洗气体控制：标配外接2路MFC流量计控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
申购单号:CB*
申购主题:等离子体清洗仪
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/南开区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 等离子体清洗仪 | 1.0 | |
| 品牌 | 速谱仪器 | ||
| 型号 | SPC150 | ||
| 规格参数 | 泵组：国际一线品牌涡轮分子泵 +无油隔膜泵；分子泵抽速：>80L/s （N2）；前级泵：>0.7 m3/h；极限真空：<3*10-6 Torr；样品腔室尺寸：~250 *100 mm， 强弱分区设置；可以放置最多3路TEM hoder；等离子体清洗源：远程RF射频源；清洗电源功率：13.56 MHz RF电源，5-50W 可调；清洗气体控制：标配外接2路MFC流量计控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
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