三靶磁控溅射仪采购申请采购公告

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三靶磁控溅射仪采购申请采购公告

南方科技大学 SUSTech-JC-2023-00815 竞采采购公告
项目名称 三靶磁控溅射仪采购申请
项目编号 SUSTech-JC-2023-00815
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
采购方式 公开竞采
公告开始时间 2023-06-01 15:57:35
公告结束时间 2023-06-08 15:57:35
预算(元) *.00
项目预算是否含税 国产含税
备注
采
购
明
细
序号 名称 数量 单位

1

主机 （含强磁靶一套）（核心货物）

1

台

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、电源电压：220V 50Hz2、总功率：＜2.5KW3、腔体内径：φ300mm4、极限真空度：< E-6mbar5、工作温度：RT-500℃，精度±1℃6、靶枪数量：3个7、靶枪冷却方式：水冷8、靶材尺寸：φ2″，厚度0.1mm-5mm9、直流溅射功率：500W10、射频溅射功率：300W11、载样台：φ140mm12、载样台转速：1rpm-20rpm内可调

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【24】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

2

隔膜泵

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、抽速（m3/h）：0.52、极限分压强（hPa）:≤4.5 3、转速(r/min)：1500 4、电源功率（Kw）0.11 5、抽气口连接：G1/8 6、工作环境温度（℃）12-40 7、噪音（dB）≤52

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【25】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

3

膜厚显示仪

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、供电电源： AC220V+10% 2、输出电源： DC5V 3A3、显示器： 12 x 2数码管+LED4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无）

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【26】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

4

石英晶片

5

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

6MHz

质保期

无

售后要求

无

5

直流电源

2

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1. 电源最大输出功率值：500 W。2. 直流源工作电压： 0 V ～ 800 V。3. 最大工作电流： 0.75 A。4. 直流输出功率：0 W～500 W 连续可调。5. 电源可支持恒流、恒压、恒功率三种模式。6. 直流电源工作压力范围：0 Pa～100 Pa。7. 连续工作时间：24 h。8. 数据显示方式：105 mm × 40 mm 液晶屏显示。9. 功率设置显示：可以实现功率的预先设置，然后一键启动，启动过程中开始缓慢加功率之后达到设置的功率值，实际功率不会过冲而且稳定。显示屏上正确显示输出功率以及输出功率的电压值和电流值。10. 电源工作时间设置：本电源支持加功率时间的设置，设定时间到后，电源自动停止工作。

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【24】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

6

射频电源及匹配器

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、输出功率： 0-300W2、功率稳定度 ：≤±0.5%3、输出频率 ：13.56MHz4、频率信号 ：标准正玄波5、输入电压 ：AC180-250V6、输入电流： 3A7、输出阻抗 ：50Ω 8、承受驻波比： >3.09、冷却方式 ：风冷10、通讯口 ：RS232 RS48511、标准 ：Modebus12、模拟控制接口 ：DB1513、输出接口 ：N/UHF14、尺寸： 444(宽)×410(深)×128(高)15、匹配器控制 ：有

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【25】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

7

膜厚监测仪

1

台

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、供电电源： AC220V+10% 2、输出电源： DC5V 3A3、显示器： 12 x 2数码管+LED4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无）

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【26】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

8

冷水机

1

台

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、工作电压：AC 208V-240V 50Hz/60Hz2、工作电流：3.5A-5.6A3、水箱容积：6L4、水流速率：16L/min5、出入水口：外径φ10mm铜咀6、制冷量：722Kcal/h（2866Btu/h）

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【27】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

9

减径直通

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

φ 8变径到φ6

质保期

无

售后要求

无

10

减径直通

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

φ10变径到φ6

质保期

无

售后要求

无

11

不锈钢卡圈卡环

2

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

φ6 不锈钢卡圈卡环一套

质保期

无

售后要求

无

12

内六角扳手

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

2.5 L型

质保期

无

售后要求

无

13

内六角扳手

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

3 L型

质保期

无

售后要求

无

14

内六角扳手

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

4 L型

质保期

无

售后要求

无

15

螺丝刀

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

5*75 十字

质保期

无

售后要求

无

16

聚酯PU管

4

m

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

外径6 内径4 蓝

质保期

无

售后要求

无

17

真空硅脂

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

无

质保期

无

售后要求

无

18

锁扣式夹板箱

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1000*850*950

质保期

无

售后要求

无

19

锁扣式夹板箱

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

930*790*590

质保期

无

售后要求

无

20

靶材

1

组

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.Fe靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm 2.W 靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm 3.Fe2O3靶材 纯度4N（带铜背板）尺寸：50.2*1.5mm 4.SiO2靶材 纯度4N （带铜背板）尺寸50.2*1.5mm5.Si靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*3mm6.FeS靶材 纯度3N以上（带铜背板 尺寸：50.2*2mm7.MgO靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*2mm8.FeNi靶材 纯度3N以上 尺寸：50.2*1.5mm

质保期

无

售后要求

无
付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付70％的货款。
交货期 合同签订后30天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前3天（自然日）通知送货

1. 欢迎有意向的供应商登录系统参与竞采；

2. 未注册 的供应商请先注册 成为竞采平台供应商后参与项目竞采；

3. 如对项目有疑问或质疑，请于项目截止前1个工作日登录系统在线提交咨询或质疑，逾期不受理。

南方科技大学 SUSTech-JC-2023-00815 竞采采购公告
项目名称 三靶磁控溅射仪采购申请
项目编号 SUSTech-JC-2023-00815
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
采购方式 公开竞采
公告开始时间 2023-06-01 15:57:35
公告结束时间 2023-06-08 15:57:35
预算(元) *.00
项目预算是否含税 国产含税
备注
采
购
明
细
序号 名称 数量 单位

1

主机 （含强磁靶一套）（核心货物）

1

台

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、电源电压：220V 50Hz2、总功率：＜2.5KW3、腔体内径：φ300mm4、极限真空度：< E-6mbar5、工作温度：RT-500℃，精度±1℃6、靶枪数量：3个7、靶枪冷却方式：水冷8、靶材尺寸：φ2″，厚度0.1mm-5mm9、直流溅射功率：500W10、射频溅射功率：300W11、载样台：φ140mm12、载样台转速：1rpm-20rpm内可调

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【24】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

2

隔膜泵

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、抽速（m3/h）：0.52、极限分压强（hPa）:≤4.5 3、转速(r/min)：1500 4、电源功率（Kw）0.11 5、抽气口连接：G1/8 6、工作环境温度（℃）12-40 7、噪音（dB）≤52

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【25】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

3

膜厚显示仪

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、供电电源： AC220V+10% 2、输出电源： DC5V 3A3、显示器： 12 x 2数码管+LED4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无）

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【26】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

4

石英晶片

5

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

6MHz

质保期

无

售后要求

无

5

直流电源

2

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1. 电源最大输出功率值：500 W。2. 直流源工作电压： 0 V ～ 800 V。3. 最大工作电流： 0.75 A。4. 直流输出功率：0 W～500 W 连续可调。5. 电源可支持恒流、恒压、恒功率三种模式。6. 直流电源工作压力范围：0 Pa～100 Pa。7. 连续工作时间：24 h。8. 数据显示方式：105 mm × 40 mm 液晶屏显示。9. 功率设置显示：可以实现功率的预先设置，然后一键启动，启动过程中开始缓慢加功率之后达到设置的功率值，实际功率不会过冲而且稳定。显示屏上正确显示输出功率以及输出功率的电压值和电流值。10. 电源工作时间设置：本电源支持加功率时间的设置，设定时间到后，电源自动停止工作。

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【24】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

6

射频电源及匹配器

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、输出功率： 0-300W2、功率稳定度 ：≤±0.5%3、输出频率 ：13.56MHz4、频率信号 ：标准正玄波5、输入电压 ：AC180-250V6、输入电流： 3A7、输出阻抗 ：50Ω 8、承受驻波比： >3.09、冷却方式 ：风冷10、通讯口 ：RS232 RS48511、标准 ：Modebus12、模拟控制接口 ：DB1513、输出接口 ：N/UHF14、尺寸： 444(宽)×410(深)×128(高)15、匹配器控制 ：有

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【25】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

7

膜厚监测仪

1

台

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、供电电源： AC220V+10% 2、输出电源： DC5V 3A3、显示器： 12 x 2数码管+LED4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无）

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【26】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

8

冷水机

1

台

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、工作电压：AC 208V-240V 50Hz/60Hz2、工作电流：3.5A-5.6A3、水箱容积：6L4、水流速率：16L/min5、出入水口：外径φ10mm铜咀6、制冷量：722Kcal/h（2866Btu/h）

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【27】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

9

减径直通

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

φ 8变径到φ6

质保期

无

售后要求

无

10

减径直通

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

φ10变径到φ6

质保期

无

售后要求

无

11

不锈钢卡圈卡环

2

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

φ6 不锈钢卡圈卡环一套

质保期

无

售后要求

无

12

内六角扳手

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

2.5 L型

质保期

无

售后要求

无

13

内六角扳手

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

3 L型

质保期

无

售后要求

无

14

内六角扳手

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

4 L型

质保期

无

售后要求

无

15

螺丝刀

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

5*75 十字

质保期

无

售后要求

无

16

聚酯PU管

4

m

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

外径6 内径4 蓝

质保期

无

售后要求

无

17

真空硅脂

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

无

质保期

无

售后要求

无

18

锁扣式夹板箱

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1000*850*950

质保期

无

售后要求

无

19

锁扣式夹板箱

1

个

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

930*790*590

质保期

无

售后要求

无

20

靶材

1

组

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.Fe靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm 2.W 靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm 3.Fe2O3靶材 纯度4N（带铜背板）尺寸：50.2*1.5mm 4.SiO2靶材 纯度4N （带铜背板）尺寸50.2*1.5mm5.Si靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*3mm6.FeS靶材 纯度3N以上（带铜背板 尺寸：50.2*2mm7.MgO靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*2mm8.FeNi靶材 纯度3N以上 尺寸：50.2*1.5mm

质保期

无

售后要求

无
付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付70％的货款。
交货期 合同签订后30天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前3天（自然日）通知送货

1. 欢迎有意向的供应商登录系统参与竞采；

2. 未注册 的供应商请先注册 成为竞采平台供应商后参与项目竞采；

3. 如对项目有疑问或质疑，请于项目截止前1个工作日登录系统在线提交咨询或质疑，逾期不受理。

    
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