华中科技大学2023年6至7月政府意向-远程等离子发生系统和偏压源系统-A030999其他工程机械-预算金额128.000000万元(人民币)采购
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华中科技大学2023年6至7月政府意向-远程等离子发生系统和偏压源系统-A030999其他工程机械-预算金额128.000000万元(人民币)采购
| 远程等离子发生系统和偏压源系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2023年6至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 远程等离子发生系统和偏压源系统 |
| 预算金额： | 128.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他工程机械 |
| 采购需求概况 ： | 本项目需完成一台选择性沉积工程样机研发，根据项目设计方案及结构图完成集束选择性原子层沉积装备的加工及测试，装备包含预处理腔体/ALD腔体+ALE主腔体+原子层刻蚀腔体，腔体之间通过集束系统自动输送样品，集成在线检测的硬件闭环控制系统。因此需要外协单位进行远程等离子体发生系统和偏压源系统的购买和装配，购置设备主要包含：1.1KW等离子体电源发；2. 等离子体发生器匹配器；3. 等离子体发生装置；4.偏压源（包括LF电源和匹配器）；5. Chuck盘（包含加热和温度控制系统，pin定位系统和真空吸附功能）。设备装配调试完成后需要进行外协测试，主要包含购置设备的功率设定，响应精度，起辉时间，温度设定等进行指标验收。验收完成后，可以实现等离子体增强原子层沉积和原子层刻蚀过程中的偏压调控来调节薄膜质量并实现至少8英寸衬底的等离子体增强原子层沉积和原子层刻蚀。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 远程等离子发生系统和偏压源系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2023年6至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 远程等离子发生系统和偏压源系统 |
| 预算金额： | 128.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他工程机械 |
| 采购需求概况 ： | 本项目需完成一台选择性沉积工程样机研发，根据项目设计方案及结构图完成集束选择性原子层沉积装备的加工及测试，装备包含预处理腔体/ALD腔体+ALE主腔体+原子层刻蚀腔体，腔体之间通过集束系统自动输送样品，集成在线检测的硬件闭环控制系统。因此需要外协单位进行远程等离子体发生系统和偏压源系统的购买和装配，购置设备主要包含：1.1KW等离子体电源发；2. 等离子体发生器匹配器；3. 等离子体发生装置；4.偏压源（包括LF电源和匹配器）；5. Chuck盘（包含加热和温度控制系统，pin定位系统和真空吸附功能）。设备装配调试完成后需要进行外协测试，主要包含购置设备的功率设定，响应精度，起辉时间，温度设定等进行指标验收。验收完成后，可以实现等离子体增强原子层沉积和原子层刻蚀过程中的偏压调控来调节薄膜质量并实现至少8英寸衬底的等离子体增强原子层沉积和原子层刻蚀。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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