品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

一、电源电压：220V 50Hz 总功率：＜2.5KW 腔体内径：φ300mm 极限真空度：< E-6mbar 工作温度：RT-500℃，精度±1℃ 靶枪数量：3个 靶枪冷却方式：水冷 靶材尺寸：φ2″，厚度0.1mm-5mm 直流溅射功率：500W 射频溅射功率：300W 载样台：φ140mm 载样台转速：1rpm-20rpm内可调 二、所含隔膜泵 1、抽速（m3/h）：0.5 2、极限分压强（hPa）:≤4.5 3、转速(r/min)：1500 4、电源功率（Kw）0.11 5、抽气口连接：G1/8 6、工作环境温度（℃）12-40 7、噪音（dB）≤52 三、所含膜厚显示仪 1、供电电源： AC220V+10% 2、输出电源： DC5V 3A 3、显示器： 12 x 2数码管+LED4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无） 四、所含石英晶片 6MHZ 五、所含直流电源 1. 电源最大输出功率值：500 W。2. 直流源工作电压： 0 V ～ 800 V。3. 最大工作电流： 0.75 A。4. 直流输出功率：0 W～500 W 连续可调。5. 电源可支持恒流、恒压、恒功率三种模式。6. 直流电源工作压力范围：0 Pa～100 Pa。7. 连续工作时间：24 h。8. 数据显示方式：105 mm × 40 mm 液晶屏显示。9. 功率设置显示：可以实现功率的预先设置，然后一键启动，启动过程中开始缓慢加功率之后达到设置的功率值，实际功率不会过冲而且稳定。显示屏上正确显示输出功率以及输出功率的电压值和电流值。10. 电源工作时间设置：本电源支持加功率时间的设置，设定时间到后，电源自动停止工作。 六、所含射频电源及匹配器 1、输出功率： 0-300W 2、功率稳定度 ：≤±0.5% 3、输出频率 ：13.56MHz 4、频率信号 ：标准正玄波 5、输入电压 ：AC180-250V 6、输入电流： 3A 7、输出阻抗 ：50？ 8、承受驻波比： >3.0 9、冷却方式 ：风冷 10、通讯口 ：RS232 RS485 11、标准 ：Modebus 12、模拟控制接口 ：DB15 13、输出接口 ：N/UHF 14、尺寸： 444(宽)×410(深)×128(高) 15、匹配器控制 ：有 七、所含膜厚监测仪 1、供电电源： AC220V+10% 2、输出电源： DC5V 3A 3、显示器： 12 x 2数码管+LED 4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无） 八、所含冷水机 1、工作电压：AC 208V-240V 50Hz/60Hz 2、工作电流：3.5A-5.6A 3、水箱容积：6L 4、水流速率：16L/min 5、出入水口：外径？10mm铜咀 6、制冷量：722Kcal/h（2866Btu/h） 九、减径直通 φ8变径到φ6与φ10变径到φ6各一个 十、不锈钢卡圈卡环 φ6不锈钢卡圈卡环一套 十一、内六角扳手 2.5 L型、3 L型、4 L型各一个 十二、螺丝刀、真空硅脂、聚酯PU管（外径6 内径4 蓝）、锁扣式夹板箱若干 十三、靶材一组：1.Fe靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm 2.W 靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm 3.Fe2O3靶材 纯度4N（带铜背板）尺寸：50.2*1.5mm 4.SiO2靶材 纯度4N （带铜背板）尺寸50.2*1.5mm5.Si靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*3mm6.FeS靶材 纯度3N以上（带铜背板 尺寸：50.2*2mm7.MgO靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*2mm8.FeNi靶材 纯度3N以上 尺寸：50.2*1.5mm

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【24】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

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一、电源电压：220V 50Hz 总功率：＜2.5KW 腔体内径：φ300mm 极限真空度：< E-6mbar 工作温度：RT-500℃，精度±1℃ 靶枪数量：3个 靶枪冷却方式：水冷 靶材尺寸：φ2″，厚度0.1mm-5mm 直流溅射功率：500W 射频溅射功率：300W 载样台：φ140mm 载样台转速：1rpm-20rpm内可调 二、所含隔膜泵 1、抽速（m3/h）：0.5 2、极限分压强（hPa）:≤4.5 3、转速(r/min)：1500 4、电源功率（Kw）0.11 5、抽气口连接：G1/8 6、工作环境温度（℃）12-40 7、噪音（dB）≤52 三、所含膜厚显示仪 1、供电电源： AC220V+10% 2、输出电源： DC5V 3A 3、显示器： 12 x 2数码管+LED4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无） 四、所含石英晶片 6MHZ 五、所含直流电源 1. 电源最大输出功率值：500 W。2. 直流源工作电压： 0 V ～ 800 V。3. 最大工作电流： 0.75 A。4. 直流输出功率：0 W～500 W 连续可调。5. 电源可支持恒流、恒压、恒功率三种模式。6. 直流电源工作压力范围：0 Pa～100 Pa。7. 连续工作时间：24 h。8. 数据显示方式：105 mm × 40 mm 液晶屏显示。9. 功率设置显示：可以实现功率的预先设置，然后一键启动，启动过程中开始缓慢加功率之后达到设置的功率值，实际功率不会过冲而且稳定。显示屏上正确显示输出功率以及输出功率的电压值和电流值。10. 电源工作时间设置：本电源支持加功率时间的设置，设定时间到后，电源自动停止工作。 六、所含射频电源及匹配器 1、输出功率： 0-300W 2、功率稳定度 ：≤±0.5% 3、输出频率 ：13.56MHz 4、频率信号 ：标准正玄波 5、输入电压 ：AC180-250V 6、输入电流： 3A 7、输出阻抗 ：50？ 8、承受驻波比： >3.0 9、冷却方式 ：风冷 10、通讯口 ：RS232 RS485 11、标准 ：Modebus 12、模拟控制接口 ：DB15 13、输出接口 ：N/UHF 14、尺寸： 444(宽)×410(深)×128(高) 15、匹配器控制 ：有 七、所含膜厚监测仪 1、供电电源： AC220V+10% 2、输出电源： DC5V 3A 3、显示器： 12 x 2数码管+LED 4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无） 八、所含冷水机 1、工作电压：AC 208V-240V 50Hz/60Hz 2、工作电流：3.5A-5.6A 3、水箱容积：6L 4、水流速率：16L/min 5、出入水口：外径？10mm铜咀 6、制冷量：722Kcal/h（2866Btu/h） 九、减径直通 φ8变径到φ6与φ10变径到φ6各一个 十、不锈钢卡圈卡环 φ6不锈钢卡圈卡环一套 十一、内六角扳手 2.5 L型、3 L型、4 L型各一个 十二、螺丝刀、真空硅脂、聚酯PU管（外径6 内径4 蓝）、锁扣式夹板箱若干 十三、靶材一组：1.Fe靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm 2.W 靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm 3.Fe2O3靶材 纯度4N（带铜背板）尺寸：50.2*1.5mm 4.SiO2靶材 纯度4N （带铜背板）尺寸50.2*1.5mm5.Si靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*3mm6.FeS靶材 纯度3N以上（带铜背板 尺寸：50.2*2mm7.MgO靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*2mm8.FeNi靶材 纯度3N以上 尺寸：50.2*1.5mm

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【24】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。