品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1. 曝光波长：405 nm
2. 数字掩模板分辨率：1920 × 1080，单像素尺寸不超过7.6 μm
3. ★至少支持两个光刻镜头
a) 光刻镜头A：曝光精度优于2 μm
b) 光刻镜头B：曝光精度优于1.2 μm
4. ▲支持显微观测且不会引起光刻胶变性
5. ★至少支持一种波长的套刻指引功能
6. ★样品位移台
a) 无回程差
b) 行程不小于100 mm
c) 步进精度优于100 nm
d) 双向重复定位精度优于±150 nm
7. ★支持主动对焦
8. ★支持光刻镜头电动切换
a) 切换时间不高于300 ms
b) 重复定位精度优于400 nm
9. ▲支持样品厚度不小于10 mm
10. ▲支持样品尺寸不小于100 mm × 100 mm
11. ★支持样品电动旋转
12. ▲样品转角度不小于±20°
13. 步进精度优于0.001°
14. ▲支持样品吸附
15. ▲设备软件支持阵列光刻、尺寸测量、进度显示
16. ▲画图软件支持阵列画图、套刻画图
17. 设备主体尺寸不超过70 cm（长） × 70 cm（宽） × 70 cm（高）
18.设备重量不超过150 kg
19.★可配合手套箱使用
所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件

质保期

验收合格后12个月

售后要求

中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。

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型号

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技术规格及参数

1. 曝光波长：405 nm
2. 数字掩模板分辨率：1920 × 1080，单像素尺寸不超过7.6 μm
3. ★至少支持两个光刻镜头
a) 光刻镜头A：曝光精度优于2 μm
b) 光刻镜头B：曝光精度优于1.2 μm
4. ▲支持显微观测且不会引起光刻胶变性
5. ★至少支持一种波长的套刻指引功能
6. ★样品位移台
a) 无回程差
b) 行程不小于100 mm
c) 步进精度优于100 nm
d) 双向重复定位精度优于±150 nm
7. ★支持主动对焦
8. ★支持光刻镜头电动切换
a) 切换时间不高于300 ms
b) 重复定位精度优于400 nm
9. ▲支持样品厚度不小于10 mm
10. ▲支持样品尺寸不小于100 mm × 100 mm
11. ★支持样品电动旋转
12. ▲样品转角度不小于±20°
13. 步进精度优于0.001°
14. ▲支持样品吸附
15. ▲设备软件支持阵列光刻、尺寸测量、进度显示
16. ▲画图软件支持阵列画图、套刻画图
17. 设备主体尺寸不超过70 cm（长） × 70 cm（宽） × 70 cm（高）
18.设备重量不超过150 kg
19.★可配合手套箱使用
所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件

质保期

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