有机-金属真空热蒸镀仪

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有机-金属真空热蒸镀仪

基本信息

项目编号 中大招(货)[2023]100号
项目名称 中山 (略) 有机-金属真空热蒸镀仪采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 有机-金属真空热蒸镀仪 采购单位 中山大学
项目预算 采购开始时间 2023-06-26 17:58 采购结束时间 2023-07-04 09:00 是否送货
期望收货时间 合同签订后90天交货 经办人 黎老师 经办人电话 020-*
送货地址 (略) 光明区中山大学深圳校区工学园B110超净间
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价或外币价, (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用, 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书,请供应商根据指引(http://**)提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。

设备列表

采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
有机-金属真空热蒸镀仪 1台 详情请进入系统查看
"有机-金属真空热蒸镀仪"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 支撑机架:采用一体式机架,控制部分与真空室集成在一起,可整体移动,采用铝型材搭建;机架底部安装支撑脚及脚轮,关盖板要求采用阳极氧化处理。 重要
2 ★样品台尺寸:标准的样品盘可以容纳不少于16个15 mm x 15mm的蒸镀基片。可真空条件下更换2次掩膜。下方兼容不小于120mm×120mm样品盘。样品盘附近通循环水冷却。 重要
3 样品台功能:基片盘可旋转,旋转速度0-30转/分可调,样片旋转要求采用磁流体密封。提供一套掩膜板,图案根据用户要求设计,样片与掩膜板的配合间隙小于0.2mm。 重要
4 蒸发源数量:不低于8组蒸发源,蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料,源与源之间配有防止交叉污染的防污板。 非常重要
5 蒸发源电源功率:蒸发电源功率1.4KW以上,用于蒸发金属和有机;金属蒸发源均带有水冷功能。 重要
6 蒸发源电源控制模式:蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式,二者可切换。蒸发电源可以通过工控机控制,具体二段或以上升温过程控制,一段降温过程控制,也可以手动控制,此外,蒸发电源还可以通过膜厚仪PID(闭环控制),自动调节蒸发速率。 重要
7 3源共蒸功能:软件和PLC按照3元共蒸设计,电源与探头预留3源共蒸的升级空间。 重要
8 石英晶振膜厚仪精度:采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚,可以实时测量蒸发的速度和厚度;膜厚仪速率测量显示精度优于0.01埃/S,厚度精度1埃;频率分辨率0.012HZ,频率稳定性±2ppm(0-50度),测量周期0.1-1秒可调。 重要
9 石英晶振探头:2个石英晶振探头,6MHZ,采用快速卡扣式结构更换晶振片,避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片,采用UBQD密封结构。 重要
10 石英晶振膜厚仪控制系统:带有WINDOWS操作软件,可以PC机上操作,带有PID环功能,可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。 重要
11 工控机配置:工控机配置不低于:CPU:I5,运行内存:8G,储存内存:256G。 重要
12 蒸发腔体尺寸设计:腔体由SUS304制作,其内部尺寸不小于为*mm;腔体为方形,有前后二个可完全打开的门,一个为滑动式开启,用于连接手套箱,一个为旋转开启或滑动式开启,用于维护清理; 重要
13 蒸发腔体外观:腔体内表面采用电解抛光处理,表面精糙度小于等于0.8;外表面采用拉丝抛光,表面精糙度小于等于0.8;整体要求无擦伤及划痕。 重要
14 蒸发腔体漏率:整体漏率优于5 x 10-10Pa.m3/S,保压12小时,压强小于10Pa。 重要
15 蒸镀真空系统极限真空:极限真空优于3.5 x 10-5Pa。 非常重要
16 ★蒸镀真空系统抽真空所需时间:腔体充氮气,从大气抽至5 x 10-4Pa的时间要求小于15分钟。 重要
17 蒸镀真空系统泵抽速:主泵抽速不低于1200L/S;前级泵抽速不低于25m3/h;气动高真空插板阀,通径大于等于200mm。 重要
18 蒸镀真空系统真空室结构:带有旁抽式结构,可不停主泵开启真空室,相关的阀门操作具体互锁保护功能,防止误操作。 重要
19 惰性气体环境系统真空泵:真空泵抽速不低于12m3/h ,带油污过滤器和气振; 非常重要
20 ★惰性气体环境系统气体纯度:可得气体纯度:水<1ppm,氧<1ppm,泄露率≤0.001vol%/h。 重要
21 仪器整体尺寸:本系统箱体长约2700mm。 重要
22 仪器用电:用电为380V,配备ups保护系统。 重要
23 循环水冷机:温度5-30℃,功率300W以上。 重要
24 空气压缩机:功率500W以上。 重要
25 保修范围:保修期内整套设备及所有零部件均可保修 重要
26 售后服务要求:发生质量问题,供应商保证2小时内响应,在接到通知2个工作日内赶到现场进行修理或更换,3个工作日内处理好设备故障。 重要
27 培训要求:提供设备的常见问题处理培训,日常维护保养培训;提供蒸镀工艺培训,包括蒸镀技巧、常见有机材料选用注意事项等,要求有专业的蒸镀工艺人员参与,并提供设备样机试用时的蒸镀材料;每年进行巡检和培训。 重要

基本信息

项目编号 中大招(货)[2023]100号
项目名称 中山 (略) 有机-金属真空热蒸镀仪采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 有机-金属真空热蒸镀仪 采购单位 中山大学
项目预算 采购开始时间 2023-06-26 17:58 采购结束时间 2023-07-04 09:00 是否送货
期望收货时间 合同签订后90天交货 经办人 黎老师 经办人电话 020-*
送货地址 (略) 光明区中山大学深圳校区工学园B110超净间
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价或外币价, (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用, 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书,请供应商根据指引(http://**)提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。

设备列表

采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
有机-金属真空热蒸镀仪 1台 详情请进入系统查看
"有机-金属真空热蒸镀仪"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 支撑机架:采用一体式机架,控制部分与真空室集成在一起,可整体移动,采用铝型材搭建;机架底部安装支撑脚及脚轮,关盖板要求采用阳极氧化处理。 重要
2 ★样品台尺寸:标准的样品盘可以容纳不少于16个15 mm x 15mm的蒸镀基片。可真空条件下更换2次掩膜。下方兼容不小于120mm×120mm样品盘。样品盘附近通循环水冷却。 重要
3 样品台功能:基片盘可旋转,旋转速度0-30转/分可调,样片旋转要求采用磁流体密封。提供一套掩膜板,图案根据用户要求设计,样片与掩膜板的配合间隙小于0.2mm。 重要
4 蒸发源数量:不低于8组蒸发源,蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料,源与源之间配有防止交叉污染的防污板。 非常重要
5 蒸发源电源功率:蒸发电源功率1.4KW以上,用于蒸发金属和有机;金属蒸发源均带有水冷功能。 重要
6 蒸发源电源控制模式:蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式,二者可切换。蒸发电源可以通过工控机控制,具体二段或以上升温过程控制,一段降温过程控制,也可以手动控制,此外,蒸发电源还可以通过膜厚仪PID(闭环控制),自动调节蒸发速率。 重要
7 3源共蒸功能:软件和PLC按照3元共蒸设计,电源与探头预留3源共蒸的升级空间。 重要
8 石英晶振膜厚仪精度:采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚,可以实时测量蒸发的速度和厚度;膜厚仪速率测量显示精度优于0.01埃/S,厚度精度1埃;频率分辨率0.012HZ,频率稳定性±2ppm(0-50度),测量周期0.1-1秒可调。 重要
9 石英晶振探头:2个石英晶振探头,6MHZ,采用快速卡扣式结构更换晶振片,避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片,采用UBQD密封结构。 重要
10 石英晶振膜厚仪控制系统:带有WINDOWS操作软件,可以PC机上操作,带有PID环功能,可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。 重要
11 工控机配置:工控机配置不低于:CPU:I5,运行内存:8G,储存内存:256G。 重要
12 蒸发腔体尺寸设计:腔体由SUS304制作,其内部尺寸不小于为*mm;腔体为方形,有前后二个可完全打开的门,一个为滑动式开启,用于连接手套箱,一个为旋转开启或滑动式开启,用于维护清理; 重要
13 蒸发腔体外观:腔体内表面采用电解抛光处理,表面精糙度小于等于0.8;外表面采用拉丝抛光,表面精糙度小于等于0.8;整体要求无擦伤及划痕。 重要
14 蒸发腔体漏率:整体漏率优于5 x 10-10Pa.m3/S,保压12小时,压强小于10Pa。 重要
15 蒸镀真空系统极限真空:极限真空优于3.5 x 10-5Pa。 非常重要
16 ★蒸镀真空系统抽真空所需时间:腔体充氮气,从大气抽至5 x 10-4Pa的时间要求小于15分钟。 重要
17 蒸镀真空系统泵抽速:主泵抽速不低于1200L/S;前级泵抽速不低于25m3/h;气动高真空插板阀,通径大于等于200mm。 重要
18 蒸镀真空系统真空室结构:带有旁抽式结构,可不停主泵开启真空室,相关的阀门操作具体互锁保护功能,防止误操作。 重要
19 惰性气体环境系统真空泵:真空泵抽速不低于12m3/h ,带油污过滤器和气振; 非常重要
20 ★惰性气体环境系统气体纯度:可得气体纯度:水<1ppm,氧<1ppm,泄露率≤0.001vol%/h。 重要
21 仪器整体尺寸:本系统箱体长约2700mm。 重要
22 仪器用电:用电为380V,配备ups保护系统。 重要
23 循环水冷机:温度5-30℃,功率300W以上。 重要
24 空气压缩机:功率500W以上。 重要
25 保修范围:保修期内整套设备及所有零部件均可保修 重要
26 售后服务要求:发生质量问题,供应商保证2小时内响应,在接到通知2个工作日内赶到现场进行修理或更换,3个工作日内处理好设备故障。 重要
27 培训要求:提供设备的常见问题处理培训,日常维护保养培训;提供蒸镀工艺培训,包括蒸镀技巧、常见有机材料选用注意事项等,要求有专业的蒸镀工艺人员参与,并提供设备样机试用时的蒸镀材料;每年进行巡检和培训。 重要

    
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