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华电院采购等离子增强管式炉

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华电院采购等离子增强管式炉

竞价公告(JJ*)

...

说明：各有关当事人对竞价公告内容有异议的，可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。

一、基本信息

二、资格条件

资格条件：原厂或原厂授权。

三、商务要求

四、技术要求

序号	标的名称	数量	单位	品牌	是否限定品牌	技术要求
1	等离子增强管式炉	1.00	台	上海微行/PECVD1200-60	是	1、主机技术指标： [1] 石英管尺寸 L≥1500 mm Φ≤60 mm [2] 加热元件掺钼铁铬铝合金电阻丝 [3] 测温元件 N型热电偶 [4] 加热区长度 440≤ mm [5] 恒温区长度 200 ≥mm [6] 工作温度 ≤1100 ℃ [7] 控温模式模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 [8] 控温精度 ≤±1 ℃ [9] 升温速率 ≤20 ℃/min [10] 电功率 ≤3.5 KW 2、附件技术指标： [1] 标准量程 ≥50 sccm（CH4）、≥200 sccm（H2）、≥500 sccm（Ar、N2）； [2] 压力表测量范围 -0.1 Mpa～0.15 Mpa [3] 响应时间特性：≤1～4 Sec [4] 抽气速率 ≥4 L\s [5] 极限真空 ≤6×10-1 Pa [6] 实验真空度 ≤6.0×10-1 Pa [7] 容油量 ≤1.1 L [8] 射频电源≥3 W-300 W [9] 射频输出接口 ≥50 Ω, N-type, female

五、附件

序号	附件名称	上传时间	大小	操作

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一、基本信息

二、资格条件

资格条件：原厂或原厂授权。

三、商务要求

四、技术要求

序号	标的名称	数量	单位	品牌	是否限定品牌	技术要求
1	等离子增强管式炉	1.00	台	上海微行/PECVD1200-60	是	1、主机技术指标： [1] 石英管尺寸 L≥1500 mm Φ≤60 mm [2] 加热元件掺钼铁铬铝合金电阻丝 [3] 测温元件 N型热电偶 [4] 加热区长度 440≤ mm [5] 恒温区长度 200 ≥mm [6] 工作温度 ≤1100 ℃ [7] 控温模式模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 [8] 控温精度 ≤±1 ℃ [9] 升温速率 ≤20 ℃/min [10] 电功率 ≤3.5 KW 2、附件技术指标： [1] 标准量程 ≥50 sccm（CH4）、≥200 sccm（H2）、≥500 sccm（Ar、N2）； [2] 压力表测量范围 -0.1 Mpa～0.15 Mpa [3] 响应时间特性：≤1～4 Sec [4] 抽气速率 ≥4 L\s [5] 极限真空 ≤6×10-1 Pa [6] 实验真空度 ≤6.0×10-1 Pa [7] 容油量 ≤1.1 L [8] 射频电源≥3 W-300 W [9] 射频输出接口 ≥50 Ω, N-type, female

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