1，超高真空腔体：圆柱形Φ300*600mm，腔体采用不锈钢SUS304材质，内外表面电解抛光，真空漏率<1.33*E-9Pa.l/S。真空腔体预留若干CF真空视窗及CF法兰接口。按照图纸设计加工和真空检漏。 2，真空泵采用进口品牌涡旋式无油干泵，抽速>10m3/h，真空度优于0.01mbar。 3，真空测量采用进口品牌真空规管和控制器，真空测量范围：1000mbar~E-9mbar。 4，系统带CF100手动闸板阀。 5，机架：采用工业级铝型材机架架台，选用60*60毫米欧标工业级铝型材，整体台架长宽高1200*800*1000mm，承重不低于400Kg，带移动脚轮、可调整支脚，可调整固定控制器、控制面板、承重板及附件。机架前后左右中间用可拆卸铝型材，方便后续安装、拆装和扩展。机架前面预留前面板；机架上盖板用整体不锈钢板；下机架采用横板支撑及可调整支脚。机架架台牢固、可靠、美观，并预留后期功能扩展空间，方便设备检修维护保养。 6，系统带不锈钢真空波纹管、连接法兰及相关附件。 7，系统预留分子泵法兰及接口，预留蒸发源、膜厚仪、Feedthrough和LEED安装接口及位置。 8，真空泵采用涡旋式无油干泵带安装底座，至于整体式机架内。 9，提供真空获得及测量系统设计、生产、交付、安装、调试、验收、售后和技术服务全环节服务。 10, 售后及质保：提供全程售后服务，质保期5年。仪器到达最终用户指定地点后安排人员现场安装、调试，完成设备的技术培训；提供技术响应服务，包括电话技术支持或现场技术服务。

提供全程售后服务，质保期5年。仪器到达最终用户指定地点后安排人员现场安装、调试，完成设备的技术培训；提供技术响应服务，包括电话技术支持或现场技术服务。

1，超高真空腔体：圆柱形Φ300*600mm，腔体采用不锈钢SUS304材质，内外表面电解抛光，真空漏率<1.33*E-9Pa.l/S。真空腔体预留若干CF真空视窗及CF法兰接口。按照图纸设计加工和真空检漏。 2，真空泵采用进口品牌涡旋式无油干泵，抽速>10m3/h，真空度优于0.01mbar。 3，真空测量采用进口品牌真空规管和控制器，真空测量范围：1000mbar~E-9mbar。 4，系统带CF100手动闸板阀。 5，机架：采用工业级铝型材机架架台，选用60*60毫米欧标工业级铝型材，整体台架长宽高1200*800*1000mm，承重不低于400Kg，带移动脚轮、可调整支脚，可调整固定控制器、控制面板、承重板及附件。机架前后左右中间用可拆卸铝型材，方便后续安装、拆装和扩展。机架前面预留前面板；机架上盖板用整体不锈钢板；下机架采用横板支撑及可调整支脚。机架架台牢固、可靠、美观，并预留后期功能扩展空间，方便设备检修维护保养。 6，系统带不锈钢真空波纹管、连接法兰及相关附件。 7，系统预留分子泵法兰及接口，预留蒸发源、膜厚仪、Feedthrough和LEED安装接口及位置。 8，真空泵采用涡旋式无油干泵带安装底座，至于整体式机架内。 9，提供真空获得及测量系统设计、生产、交付、安装、调试、验收、售后和技术服务全环节服务。 10, 售后及质保：提供全程售后服务，质保期5年。仪器到达最终用户指定地点后安排人员现场安装、调试，完成设备的技术培训；提供技术响应服务，包括电话技术支持或现场技术服务。

提供全程售后服务，质保期5年。仪器到达最终用户指定地点后安排人员现场安装、调试，完成设备的技术培训；提供技术响应服务，包括电话技术支持或现场技术服务。