气相沉积仪

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气相沉积仪

基本信息

项目编号 中大招（货）[2023]139号
项目名称 中山 (略) 气相沉积仪采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 气相沉积仪 采购单位 中山大学
项目预算 采购开始时间 2023-08-07 22:53 采购结束时间 2023-08-15 09:00 是否送货 是
期望收货时间 合同签订后160天交货 经办人 黎老师 经办人电话 020-*
送货地址 (略) 光明区新湖街道中山大学工学园1栋B112M
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
气相沉积仪 1台 详情请进入系统查看
"气相沉积仪"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 1.1 基于PLC系统的全自动控制平台，有手动和自动两种操作模式。 重要 是
2 1.2 频率范围：1到6.1 MHz；频率精度：0.05 Hz。 重要 否
3 ▲1.3 镀膜过程可实现从抽真空开始到镀膜工艺结束全自动化操作，期间包括蒸发源切换、温度控制等。可自动控制预蒸镀时间，功率，以及在镀膜速率上可实现完全自动控制。基片挡板、蒸发源挡板可自动打开关闭。 非常重要 是
4 ▲1.4 速度精度：0.01 Angstrom/s；膜厚精度：0.1 Angstrom。 非常重要 是
5 2.1 方形主腔室内部尺寸不少于：400×400×500mm（宽×深×高），容积：不少于80 L； 重要 否
6 2.2 电控柜集成于镀膜腔室下方，整体尺寸不超过1000×900×1000mm（长×宽×高）。 重要 否
7 3.1 高真空测量系统，含PIRANI和PENNING两种检测方式，测量范围：大气压到5 ×10-9mbar； 重要 是
8 3.2 前级泵：旋页泵，抽速不少于：12 m3/h； 重要 否
9 ▲3.3 全磁浮分子泵：抽速不少于1100l/s（N2）；极限真空度：<1×10-7mbar；惰性气氛氛围下，从大气压力抽至1×10-6mbar时间少于13min； 非常重要 是
10 4.1 温控范围：50~800℃，含挡板； 重要 是
11 ★4.2 温控精度：±0.1k，600℃降至50℃时间<60min；控制模式：功率模式、温度模式、温度-功率模式；可蒸镀几十微米级别锂、钠等活泼金属。 非常重要 是
12 4.3 8ccm容量坩埚，含电源和PID控制模块，含水冷接口； 重要 否
13 ▲5.1 温控范围：300~1400℃，含挡板；温控精度：±1k 非常重要 是
14 5.2 8ccm容量坩埚，含电源和PID控制模块，含水冷接口 重要 否
15 ★5.3 可实现微米级别蒸镀LiF、MgF2、AlF3等含氟化合物。 非常重要 是
16 6、样品台，数量1套。转速5-33r/min，含气动可调节样品台挡板。 重要 否
17 7、晶振探头：用于测量镀膜厚度，定位灵活，高度可调，水冷，每个含10个备用晶振片，数量：三个；特殊挡板及角度设计，可实现一次装夹监测蒸镀几十微米膜层材料。 非常重要 否
18 8、惰性气氛手套箱箱体1件，内部空间≥1800×780×900mm，可后期拼接扩展；含大小过渡舱各1件。大过渡舱尺寸：>φ390×500mm；小过渡舱尺寸：>φ150×400mm。 重要 否
19 ▲9、气体净化系统1套，含控制触摸屏，可得水氧含量：<1ppm。 重要 否
20 2.附件：2.1.循环水冷机设定温度范围为5到35℃；温度精度±1℃；冷却功率约1000W；冷却水流速最高可达2-10升/分钟；供电电源220V，50HZ；外观尺寸320x580x530毫米（宽x深x高）2.2.旋片泵（供手套箱净化系统使用）抽速：12m3/h; 极限真空：3.0 x 10-2mbar；DN25接口；2.3.容积13cc坩埚15个，氧化铝材质；2.4.溴*基手套4副；2.5.晶振片40个。 重要 否
21 保修范围：整机保修，不包含耗材。保修期内每年对仪器进行一次保养服务，包括测试仪器状态，深度清洁等；保修期满后终身免费维护保养，维修仅可收取材料费，免人工费。 重要 否
22 售后服务要求：1、响应时间：维修响应时间≤24小时，到现场维修时间≤48小时；2、相关软件及数据库终身免费维护及升级；厂家工程师半年一次定期上门维护及不定期维护，终生维护。培训要求：1、现场安装、调试，现场培训不少于2人次，以达到独立操作为标准；2、供应商提供中国境内的厂家培训，每年2人次以上。 重要 否

基本信息

项目编号 中大招（货）[2023]139号
项目名称 中山 (略) 气相沉积仪采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 气相沉积仪 采购单位 中山大学
项目预算 采购开始时间 2023-08-07 22:53 采购结束时间 2023-08-15 09:00 是否送货 是
期望收货时间 合同签订后160天交货 经办人 黎老师 经办人电话 020-*
送货地址 (略) 光明区新湖街道中山大学工学园1栋B112M
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
气相沉积仪 1台 详情请进入系统查看
"气相沉积仪"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 1.1 基于PLC系统的全自动控制平台，有手动和自动两种操作模式。 重要 是
2 1.2 频率范围：1到6.1 MHz；频率精度：0.05 Hz。 重要 否
3 ▲1.3 镀膜过程可实现从抽真空开始到镀膜工艺结束全自动化操作，期间包括蒸发源切换、温度控制等。可自动控制预蒸镀时间，功率，以及在镀膜速率上可实现完全自动控制。基片挡板、蒸发源挡板可自动打开关闭。 非常重要 是
4 ▲1.4 速度精度：0.01 Angstrom/s；膜厚精度：0.1 Angstrom。 非常重要 是
5 2.1 方形主腔室内部尺寸不少于：400×400×500mm（宽×深×高），容积：不少于80 L； 重要 否
6 2.2 电控柜集成于镀膜腔室下方，整体尺寸不超过1000×900×1000mm（长×宽×高）。 重要 否
7 3.1 高真空测量系统，含PIRANI和PENNING两种检测方式，测量范围：大气压到5 ×10-9mbar； 重要 是
8 3.2 前级泵：旋页泵，抽速不少于：12 m3/h； 重要 否
9 ▲3.3 全磁浮分子泵：抽速不少于1100l/s（N2）；极限真空度：<1×10-7mbar；惰性气氛氛围下，从大气压力抽至1×10-6mbar时间少于13min； 非常重要 是
10 4.1 温控范围：50~800℃，含挡板； 重要 是
11 ★4.2 温控精度：±0.1k，600℃降至50℃时间<60min；控制模式：功率模式、温度模式、温度-功率模式；可蒸镀几十微米级别锂、钠等活泼金属。 非常重要 是
12 4.3 8ccm容量坩埚，含电源和PID控制模块，含水冷接口； 重要 否
13 ▲5.1 温控范围：300~1400℃，含挡板；温控精度：±1k 非常重要 是
14 5.2 8ccm容量坩埚，含电源和PID控制模块，含水冷接口 重要 否
15 ★5.3 可实现微米级别蒸镀LiF、MgF2、AlF3等含氟化合物。 非常重要 是
16 6、样品台，数量1套。转速5-33r/min，含气动可调节样品台挡板。 重要 否
17 7、晶振探头：用于测量镀膜厚度，定位灵活，高度可调，水冷，每个含10个备用晶振片，数量：三个；特殊挡板及角度设计，可实现一次装夹监测蒸镀几十微米膜层材料。 非常重要 否
18 8、惰性气氛手套箱箱体1件，内部空间≥1800×780×900mm，可后期拼接扩展；含大小过渡舱各1件。大过渡舱尺寸：>φ390×500mm；小过渡舱尺寸：>φ150×400mm。 重要 否
19 ▲9、气体净化系统1套，含控制触摸屏，可得水氧含量：<1ppm。 重要 否
20 2.附件：2.1.循环水冷机设定温度范围为5到35℃；温度精度±1℃；冷却功率约1000W；冷却水流速最高可达2-10升/分钟；供电电源220V，50HZ；外观尺寸320x580x530毫米（宽x深x高）2.2.旋片泵（供手套箱净化系统使用）抽速：12m3/h; 极限真空：3.0 x 10-2mbar；DN25接口；2.3.容积13cc坩埚15个，氧化铝材质；2.4.溴*基手套4副；2.5.晶振片40个。 重要 否
21 保修范围：整机保修，不包含耗材。保修期内每年对仪器进行一次保养服务，包括测试仪器状态，深度清洁等；保修期满后终身免费维护保养，维修仅可收取材料费，免人工费。 重要 否
22 售后服务要求：1、响应时间：维修响应时间≤24小时，到现场维修时间≤48小时；2、相关软件及数据库终身免费维护及升级；厂家工程师半年一次定期上门维护及不定期维护，终生维护。培训要求：1、现场安装、调试，现场培训不少于2人次，以达到独立操作为标准；2、供应商提供中国境内的厂家培训，每年2人次以上。 重要 否

    
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