电子科技大学-竞价公告
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电子科技大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:SG*有机-金属真空沉积设备
采购单位:电子科技大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后15天内签约合同
送货时间:合同签订后120天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /郫都区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | SG*有机-金属真空沉积设备 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | 苏州方昇 | ||
| 型号 | FS500-S6 | ||
| 规格参数 | 1.样品架夹具最大可以容纳1个200mm×200mm基片托，可向下兼容其它尺寸；基片托盘通过电机以标称15rpm的转速（0—40rpm可调）旋转时发生沉淀，基片掩模盘装置下部有一套气动挡板装置，带有基片测温装置,正常做完一轮实验基片的温度约60℃；2.配备6组热蒸发源，用于有机或金属材料的蒸镀，蒸发源到基片的距离约350mm。6组蒸发源的位置按照R-D-matin-ME系列舟蒸发源设计；源与源之间配备隔板，可有效隔绝一定的温度，也可防止源间交叉污染，配备1组TDK电源， GEN10-240,通过切换，供6组蒸发源加热（电流驱动加热形式，电流调节精确到0.1A，实现蒸镀速率0.01 ?/s的精度显示）；3.带有3个非水冷晶振探头，基片盘下放圆周分布，采用1台Inficon SQC-310 膜厚仪（2通道），膜厚精度显示误差±0.1 ?/s，单台膜厚仪可同时显示2个膜厚探头的读数，可蒸金属：以Ag为标准，可蒸有机：以BCP为标准（蒸镀速率：速度稳定性：≤±10%（0.01-0.5A/s），≤±5%（0.5-10A/s），≤±4%（＞10A/s）单片内膜厚匀性：±5%,测试方法：有效区范围内3×3排列9点测量：（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）,单片尺寸：不大于300 mm×300 mm。测试设备可采用椭偏仪或台阶仪测量），蒸镀图案边缘宽度：掩模板图案尺寸±0.1mm；4.工艺真空室由SUS304不锈钢制成，尺寸大致为500mm*500mm*620mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及电极、真空泵、样品盘等装置，真空室内部电解抛光处理，减少表面放气，有1个可以完全打开的门，打开后门可以对腔体内部进行维护，也可以展开让腔体内部接触大气，工艺蒸镀腔室在系统洁净、空置时极限真空度低于4×10-5 Pa；从常压到5×10-4 Pa不超过40min，带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，进行材料的更换，观察窗上配有金属挡板,可从腔体外面打开或关闭，腔室外部装有射灯，方便观察内部状况；5.登*软件需要用户名和密码，不同的用户名对应不同的操作权限，确保操作人员不会误操作到设备的参数设置，腔体的真空系统可以单独操作，也具有两种模式可以切换：手动模式和半自动模式。在手动模式下，可以手动控制机械泵、气动阀、闸板阀、分子泵的启动和停止，软件中含有各个电气设备的软件互锁和状态反馈，确保设备的安全，在半自动模式下，可以从当前状态自动抽取运行，达到实验要求的真空环境，各个状态会在软件中显示，在普通操作员的正常操作过程中，仅仅只需要对电机的位置和参数进行简单的选择，即可满足设备运行需要，操作员在膜厚仪内输入正确工艺参数，电脑界面可以选择任意一个源开始自动蒸镀（满足前级条件下），软件可以控制两台镀膜设备，进行镀膜实验，该系统建立在型材或方钢焊接框架上，框架上装有真空室，真空构件，电控，操作界面。框架和盖板的饰面防腐蚀处理，非无尘室同样适用。框架配有水准调节脚。 | ||
| 质保及售后服务 | 1.设备整机配送到*方指定地点后，厂家安排专业的安装人员到现场进行设备安装和调试（设备安装前为*方提供设备安装条件清单）；2.设备整机安装调试完成后5个工作日内厂家安排专业人员对*方相关人员进行操作培训及答疑3.设备整机自用户验收合格之日（供需双方签署验收报告之日）起，质保期为_24_个月。用户操作失误造成的损坏不在免费保修之列。保质保修期内非需方的人为原因而出现产品质量及安装问题，由供方负责包修或包换，并承担因此而产生的包修或包换的直接费用。供方应在收到需方通知后__24__小时之内积极响应并确定维修方案，_72__小时之内完成维修，除非经过需方书面同意延长维修期限的，超过上述期限或者延长维修期限届满后未完成维修的，供方应当承担违约责任，并足额赔偿需方因此遭受的全部损失。 | ||
申购单号:CB*
申购主题:SG*有机-金属真空沉积设备
采购单位:电子科技大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后15天内签约合同
送货时间:合同签订后120天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /郫都区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | SG*有机-金属真空沉积设备 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | 苏州方昇 | ||
| 型号 | FS500-S6 | ||
| 规格参数 | 1.样品架夹具最大可以容纳1个200mm×200mm基片托，可向下兼容其它尺寸；基片托盘通过电机以标称15rpm的转速（0—40rpm可调）旋转时发生沉淀，基片掩模盘装置下部有一套气动挡板装置，带有基片测温装置,正常做完一轮实验基片的温度约60℃；2.配备6组热蒸发源，用于有机或金属材料的蒸镀，蒸发源到基片的距离约350mm。6组蒸发源的位置按照R-D-matin-ME系列舟蒸发源设计；源与源之间配备隔板，可有效隔绝一定的温度，也可防止源间交叉污染，配备1组TDK电源， GEN10-240,通过切换，供6组蒸发源加热（电流驱动加热形式，电流调节精确到0.1A，实现蒸镀速率0.01 ?/s的精度显示）；3.带有3个非水冷晶振探头，基片盘下放圆周分布，采用1台Inficon SQC-310 膜厚仪（2通道），膜厚精度显示误差±0.1 ?/s，单台膜厚仪可同时显示2个膜厚探头的读数，可蒸金属：以Ag为标准，可蒸有机：以BCP为标准（蒸镀速率：速度稳定性：≤±10%（0.01-0.5A/s），≤±5%（0.5-10A/s），≤±4%（＞10A/s）单片内膜厚匀性：±5%,测试方法：有效区范围内3×3排列9点测量：（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）,单片尺寸：不大于300 mm×300 mm。测试设备可采用椭偏仪或台阶仪测量），蒸镀图案边缘宽度：掩模板图案尺寸±0.1mm；4.工艺真空室由SUS304不锈钢制成，尺寸大致为500mm*500mm*620mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及电极、真空泵、样品盘等装置，真空室内部电解抛光处理，减少表面放气，有1个可以完全打开的门，打开后门可以对腔体内部进行维护，也可以展开让腔体内部接触大气，工艺蒸镀腔室在系统洁净、空置时极限真空度低于4×10-5 Pa；从常压到5×10-4 Pa不超过40min，带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，进行材料的更换，观察窗上配有金属挡板,可从腔体外面打开或关闭，腔室外部装有射灯，方便观察内部状况；5.登*软件需要用户名和密码，不同的用户名对应不同的操作权限，确保操作人员不会误操作到设备的参数设置，腔体的真空系统可以单独操作，也具有两种模式可以切换：手动模式和半自动模式。在手动模式下，可以手动控制机械泵、气动阀、闸板阀、分子泵的启动和停止，软件中含有各个电气设备的软件互锁和状态反馈，确保设备的安全，在半自动模式下，可以从当前状态自动抽取运行，达到实验要求的真空环境，各个状态会在软件中显示，在普通操作员的正常操作过程中，仅仅只需要对电机的位置和参数进行简单的选择，即可满足设备运行需要，操作员在膜厚仪内输入正确工艺参数，电脑界面可以选择任意一个源开始自动蒸镀（满足前级条件下），软件可以控制两台镀膜设备，进行镀膜实验，该系统建立在型材或方钢焊接框架上，框架上装有真空室，真空构件，电控，操作界面。框架和盖板的饰面防腐蚀处理，非无尘室同样适用。框架配有水准调节脚。 | ||
| 质保及售后服务 | 1.设备整机配送到*方指定地点后，厂家安排专业的安装人员到现场进行设备安装和调试（设备安装前为*方提供设备安装条件清单）；2.设备整机安装调试完成后5个工作日内厂家安排专业人员对*方相关人员进行操作培训及答疑3.设备整机自用户验收合格之日（供需双方签署验收报告之日）起，质保期为_24_个月。用户操作失误造成的损坏不在免费保修之列。保质保修期内非需方的人为原因而出现产品质量及安装问题，由供方负责包修或包换，并承担因此而产生的包修或包换的直接费用。供方应在收到需方通知后__24__小时之内积极响应并确定维修方案，_72__小时之内完成维修，除非经过需方书面同意延长维修期限的，超过上述期限或者延长维修期限届满后未完成维修的，供方应当承担违约责任，并足额赔偿需方因此遭受的全部损失。 | ||
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