椭偏仪采购

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椭偏仪采购


椭偏仪(GY202306505)采购公告
发布时间:2023-11-03 09:30:50阅读量:18

项目名称椭偏仪项目编号GY*
公告开始日期2023-11-03 09:30:50公告截止日期2023-11-08 10:00:00
采购单位 (略) 付款方式货到验收合格后付款
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后10个工作日内到货时间要求签订合同后60天
预算总价¥ *.00
发票要求
收货地址 (略) 山大南路27号山东大学中心 (略) 知新楼C412
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
椭偏仪1物理光学仪器

品牌武汉颐光
型号SE-VM-L
预算单价¥ *.00
技术参数及配置要求1) 测量能力:一次性获得全穆勒矩阵 16 个元素(m11 归一化,8 组 rpp, rss 主对 角
偏振元素,8 组 rpp, rps 辅对角偏振元素)、Psi/Delta(其中 Delta 值域:-90-270°,
360 度无死角)、反射率/透射率、全波段退偏指数等光谱;
2) 光谱范围:210-1000nm ;
3) 光谱分辨率:< 0.*@*80-1000nm ;
4) 单点测量时间:不超过 15 秒(支持自定义设置);
5) 光斑尺寸:大光斑<1-4mm;
6) 样件台调平系统:支持样件台可视化辅助对准调平;
7) 调制技术:超级消色差波片双旋转 PCr1SCr2A 调制技术;
8) 入射角范围:45-90°, 5°步进;
9) 样品台:支持 Z 向、俯仰可调,支持样件尺寸到Ф200mm 真空吸附固定测量;
10) 膜厚重复性测量精度:优于 0.005nm (100nm SiO2 硅片,30 次重复测量);
11) 折射率重复性精度:优于 0.0002 @632.8nm,100nm SiO2 硅片,30 次测量;
12) 椭偏绝对精度:椭偏参数优于:Ψ=45±0.05°,Δ=0±0.1°;穆勒矩阵优于:8 组
非对角元素 m=0±0.005(直通测量,所有测量波长点的 90%满足);
13) 退偏指数 Depolarization:优于±0.5%(测量裸硅,全波段 90%满足)
14) 测控分析电脑:CPU:Intel core i 系列,RAM:≥8G,ROM:≥1T,显示器:≥19
寸,windows 操作系统。
售后服务服务网点:不限;质保期限:1年;响应期限:报修后48小时;

2023-11-03 09:30:50


椭偏仪(GY202306505)采购公告
发布时间:2023-11-03 09:30:50阅读量:18

项目名称椭偏仪项目编号GY*
公告开始日期2023-11-03 09:30:50公告截止日期2023-11-08 10:00:00
采购单位 (略) 付款方式货到验收合格后付款
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后10个工作日内到货时间要求签订合同后60天
预算总价¥ *.00
发票要求
收货地址 (略) 山大南路27号山东大学中心 (略) 知新楼C412
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
椭偏仪1物理光学仪器

品牌武汉颐光
型号SE-VM-L
预算单价¥ *.00
技术参数及配置要求1) 测量能力:一次性获得全穆勒矩阵 16 个元素(m11 归一化,8 组 rpp, rss 主对 角
偏振元素,8 组 rpp, rps 辅对角偏振元素)、Psi/Delta(其中 Delta 值域:-90-270°,
360 度无死角)、反射率/透射率、全波段退偏指数等光谱;
2) 光谱范围:210-1000nm ;
3) 光谱分辨率:< 0.*@*80-1000nm ;
4) 单点测量时间:不超过 15 秒(支持自定义设置);
5) 光斑尺寸:大光斑<1-4mm;
6) 样件台调平系统:支持样件台可视化辅助对准调平;
7) 调制技术:超级消色差波片双旋转 PCr1SCr2A 调制技术;
8) 入射角范围:45-90°, 5°步进;
9) 样品台:支持 Z 向、俯仰可调,支持样件尺寸到Ф200mm 真空吸附固定测量;
10) 膜厚重复性测量精度:优于 0.005nm (100nm SiO2 硅片,30 次重复测量);
11) 折射率重复性精度:优于 0.0002 @632.8nm,100nm SiO2 硅片,30 次测量;
12) 椭偏绝对精度:椭偏参数优于:Ψ=45±0.05°,Δ=0±0.1°;穆勒矩阵优于:8 组
非对角元素 m=0±0.005(直通测量,所有测量波长点的 90%满足);
13) 退偏指数 Depolarization:优于±0.5%(测量裸硅,全波段 90%满足)
14) 测控分析电脑:CPU:Intel core i 系列,RAM:≥8G,ROM:≥1T,显示器:≥19
寸,windows 操作系统。
售后服务服务网点:不限;质保期限:1年;响应期限:报修后48小时;

2023-11-03 09:30:50

    
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