椭偏仪采购
椭偏仪采购
项目名称 | 椭偏仪 | 项目编号 | GY* |
---|---|---|---|
公告开始日期 | 2023-11-03 09:30:50 | 公告截止日期 | 2023-11-08 10:00:00 |
采购单位 | (略) | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后10个工作日内 | 到货时间要求 | 签订合同后60天 |
预算总价 | ¥ *.00 | ||
发票要求 | |||
收货地址 | (略) 山大南路27号山东大学中心 (略) 知新楼C412 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
椭偏仪 | 1 | 台 | 物理光学仪器 |
品牌 | 武汉颐光 |
---|---|
型号 | SE-VM-L |
预算单价 | ¥ *.00 |
技术参数及配置要求 | 1) 测量能力:一次性获得全穆勒矩阵 16 个元素(m11 归一化,8 组 rpp, rss 主对 角 偏振元素,8 组 rpp, rps 辅对角偏振元素)、Psi/Delta(其中 Delta 值域:-90-270°, 360 度无死角)、反射率/透射率、全波段退偏指数等光谱; 2) 光谱范围:210-1000nm ; 3) 光谱分辨率:< 0.*@*80-1000nm ; 4) 单点测量时间:不超过 15 秒(支持自定义设置); 5) 光斑尺寸:大光斑<1-4mm; 6) 样件台调平系统:支持样件台可视化辅助对准调平; 7) 调制技术:超级消色差波片双旋转 PCr1SCr2A 调制技术; 8) 入射角范围:45-90°, 5°步进; 9) 样品台:支持 Z 向、俯仰可调,支持样件尺寸到Ф200mm 真空吸附固定测量; 10) 膜厚重复性测量精度:优于 0.005nm (100nm SiO2 硅片,30 次重复测量); 11) 折射率重复性精度:优于 0.0002 @632.8nm,100nm SiO2 硅片,30 次测量; 12) 椭偏绝对精度:椭偏参数优于:Ψ=45±0.05°,Δ=0±0.1°;穆勒矩阵优于:8 组 非对角元素 m=0±0.005(直通测量,所有测量波长点的 90%满足); 13) 退偏指数 Depolarization:优于±0.5%(测量裸硅,全波段 90%满足) 14) 测控分析电脑:CPU:Intel core i 系列,RAM:≥8G,ROM:≥1T,显示器:≥19 寸,windows 操作系统。 |
售后服务 | 服务网点:不限;质保期限:1年;响应期限:报修后48小时; |
2023-11-03 09:30:50
项目名称 | 椭偏仪 | 项目编号 | GY* |
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公告开始日期 | 2023-11-03 09:30:50 | 公告截止日期 | 2023-11-08 10:00:00 |
采购单位 | (略) | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后10个工作日内 | 到货时间要求 | 签订合同后60天 |
预算总价 | ¥ *.00 | ||
发票要求 | |||
收货地址 | (略) 山大南路27号山东大学中心 (略) 知新楼C412 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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椭偏仪 | 1 | 台 | 物理光学仪器 |
品牌 | 武汉颐光 |
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型号 | SE-VM-L |
预算单价 | ¥ *.00 |
技术参数及配置要求 | 1) 测量能力:一次性获得全穆勒矩阵 16 个元素(m11 归一化,8 组 rpp, rss 主对 角 偏振元素,8 组 rpp, rps 辅对角偏振元素)、Psi/Delta(其中 Delta 值域:-90-270°, 360 度无死角)、反射率/透射率、全波段退偏指数等光谱; 2) 光谱范围:210-1000nm ; 3) 光谱分辨率:< 0.*@*80-1000nm ; 4) 单点测量时间:不超过 15 秒(支持自定义设置); 5) 光斑尺寸:大光斑<1-4mm; 6) 样件台调平系统:支持样件台可视化辅助对准调平; 7) 调制技术:超级消色差波片双旋转 PCr1SCr2A 调制技术; 8) 入射角范围:45-90°, 5°步进; 9) 样品台:支持 Z 向、俯仰可调,支持样件尺寸到Ф200mm 真空吸附固定测量; 10) 膜厚重复性测量精度:优于 0.005nm (100nm SiO2 硅片,30 次重复测量); 11) 折射率重复性精度:优于 0.0002 @632.8nm,100nm SiO2 硅片,30 次测量; 12) 椭偏绝对精度:椭偏参数优于:Ψ=45±0.05°,Δ=0±0.1°;穆勒矩阵优于:8 组 非对角元素 m=0±0.005(直通测量,所有测量波长点的 90%满足); 13) 退偏指数 Depolarization:优于±0.5%(测量裸硅,全波段 90%满足) 14) 测控分析电脑:CPU:Intel core i 系列,RAM:≥8G,ROM:≥1T,显示器:≥19 寸,windows 操作系统。 |
售后服务 | 服务网点:不限;质保期限:1年;响应期限:报修后48小时; |
2023-11-03 09:30:50
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