1、等离子发生器：13.56MHz固态射频离子源，频率偏移量＜0.2KHz，功率0-200W连续可调、数字设定，控制精度±1W；2、真空反应腔室：石英耐热玻璃，内腔尺寸≥Φ150×270（D）mm；3、放电形式：ICP电感耦合式；4、气路控制：标配2路气路，2路0-500sccm高精密浮子流量计，支持空气、氧气、氩气、氮气、氢气等气体；5、抽气系统：双级旋片式真空泵，抽速≥8m3/h，配油雾过滤器；6、真空测量：SMC真空计，可实时显示真空度；7、控制方式： 三菱PLC+4.3寸触控屏，自主专利设计等离子控制系统，自动/手动模式。提供直观图形界面和实时过程表示，支持手动模式每个单元单独控制，如处理时间1-9999S可设定；8、仿真模拟：离子效果通过comsol仿真模拟测试 ；9、设备性能：设备具有优异的稳定性和可重复性。

1、设备为原厂原装全新产品；2、厂家负责送货、运输、安装、调试，当地有售后服务网点，支持线上、线下售后服务。3、整机质保一年，提供永久技术支持。

1、等离子发生器：13.56MHz固态射频离子源，频率偏移量＜0.2KHz，功率0-200W连续可调、数字设定，控制精度±1W；2、真空反应腔室：石英耐热玻璃，内腔尺寸≥Φ150×270（D）mm；3、放电形式：ICP电感耦合式；4、气路控制：标配2路气路，2路0-500sccm高精密浮子流量计，支持空气、氧气、氩气、氮气、氢气等气体；5、抽气系统：双级旋片式真空泵，抽速≥8m3/h，配油雾过滤器；6、真空测量：SMC真空计，可实时显示真空度；7、控制方式： 三菱PLC+4.3寸触控屏，自主专利设计等离子控制系统，自动/手动模式。提供直观图形界面和实时过程表示，支持手动模式每个单元单独控制，如处理时间1-9999S可设定；8、仿真模拟：离子效果通过comsol仿真模拟测试 ；9、设备性能：设备具有优异的稳定性和可重复性。

1、设备为原厂原装全新产品；2、厂家负责送货、运输、安装、调试，当地有售后服务网点，支持线上、线下售后服务。3、整机质保一年，提供永久技术支持。