品牌

迈科芯纳、际呈智能、苏州光科

型号

PLS15、CLP-3030、CX30

技术规格及参数

设备主要是对钙钛矿柔性或是刚性材料在制备过程中对P1/P2/P3工序进行激光刻蚀划线以及P4工序进行清边处理。在刻蚀划线中精度在10um以内，单边热影响在5um内。
1.激光器：纳秒红外+皮秒绿光+纳秒红外
2.光学配置：超快激光+聚焦镜头
3.加工产品尺寸：400*400*3.2mm，可向下兼容
4.加工台面要求：采用陶瓷平台，保证柔性材料平面度及刻蚀一致性
5.上下料采用人工上料，靠PIN粗定位，向下兼容不同尺寸产品
6.电机：X/Y为进口直线电机，划线的最快速度最高可达1000mm/s， Z轴为进口伺服电：，行程50mm，XY轴的定位精度均为 ±5um，Z轴的精确度为 ±5um
7.直线度/定位精度/可重复：XYZ轴的直线度均为5um；XY轴的定位精度均为士5um，Z轴的精确度为 ±5um；XYZ轴可重复均为土3um
8：P1激光要求：1064nm红外光纤纳秒激光器，激光最小聚焦光斑 20um，激光功率≥20W，激光频率1kHz -2MHZ连续可调，功率稳定性≤5%，光束品质M2 ≤1.35，
9：P2/P3激光要求：532nm绿光固体皮秒激光器，激光最小聚焦光斑15um，激光功率≥30W，激光频率1Hz～500KHz，功率稳定性≤2%，光束品质M2 ≤1.2。
10：P4激光要求：1064nm红外光纤纳秒激光器，激光功率≥200W，激光频率10kHz-50KHz连续可调，光斑方形光斑＞200um，光束品质M2≤10，功率稳定性＜5%
11：间距死区宽度：≤30um
12：激光器寿命：＞20000小时
13：刻线精度：≤±5um
14:P1划线要求:两侧绝缘，电阻>40MΩ；槽两侧火山口高度≤10nm；30um≥单根线宽≥20um；单边热影响≤2um
15:P2划线要求:线槽两侧火山口高度≤10nm、50um≥单根线宽≥15um、单边热影响≤3um
16:P3划线要求:边缘火山口高度一般≤100nm 、30um≥单根线宽≥15um、单边热影响≤5um
17:P4划线要求:刻蚀后区域任意两点的电阻大于500MΩ
18:设备功能软件：可以对异形图案和数字进行刻蚀，相机自动寻焦功能
19:集尘处理:集尘专用集尘机，跟随式集尘，效果＞99%，可做到直排
20:设备配套:工业级进口PC、水冷机、工业集尘机等
主要配置清单
序号 类型 名称 制造商 型号 数量
1 关键配件 20W红外纳秒激光器 光至 YFPN-20-GM 1套
2 关键配件 30W绿光皮秒激光器 凯普林 Topaz 532-30 1套
3 关键配件 200w红外激光器 锐科 RFL-P200 1套
4 关键配件 CCD相机 大恒 MER2-503-23GM 1套
5 关键配件 流量计 MKS GE-50 1套
6 关键配件 红外振镜 镭可施 LCS2DSC14A-03 1套
7 关键配件 1064nm f100场镜 波长 SL-1064-70-100Q 1套

质保期

合同签订后，90天内完成交货。
设备验收合格之日起，质保期一年。

售后要求

免费安装调试培训一次，免费搬迁一次，72小时内响应设备维修需求。

品牌

迈科芯纳、际呈智能、苏州光科

型号

PLS15、CLP-3030、CX30

技术规格及参数

设备主要是对钙钛矿柔性或是刚性材料在制备过程中对P1/P2/P3工序进行激光刻蚀划线以及P4工序进行清边处理。在刻蚀划线中精度在10um以内，单边热影响在5um内。
1.激光器：纳秒红外+皮秒绿光+纳秒红外
2.光学配置：超快激光+聚焦镜头
3.加工产品尺寸：400*400*3.2mm，可向下兼容
4.加工台面要求：采用陶瓷平台，保证柔性材料平面度及刻蚀一致性
5.上下料采用人工上料，靠PIN粗定位，向下兼容不同尺寸产品
6.电机：X/Y为进口直线电机，划线的最快速度最高可达1000mm/s， Z轴为进口伺服电：，行程50mm，XY轴的定位精度均为 ±5um，Z轴的精确度为 ±5um
7.直线度/定位精度/可重复：XYZ轴的直线度均为5um；XY轴的定位精度均为士5um，Z轴的精确度为 ±5um；XYZ轴可重复均为土3um
8：P1激光要求：1064nm红外光纤纳秒激光器，激光最小聚焦光斑 20um，激光功率≥20W，激光频率1kHz -2MHZ连续可调，功率稳定性≤5%，光束品质M2 ≤1.35，
9：P2/P3激光要求：532nm绿光固体皮秒激光器，激光最小聚焦光斑15um，激光功率≥30W，激光频率1Hz～500KHz，功率稳定性≤2%，光束品质M2 ≤1.2。
10：P4激光要求：1064nm红外光纤纳秒激光器，激光功率≥200W，激光频率10kHz-50KHz连续可调，光斑方形光斑＞200um，光束品质M2≤10，功率稳定性＜5%
11：间距死区宽度：≤30um
12：激光器寿命：＞20000小时
13：刻线精度：≤±5um
14:P1划线要求:两侧绝缘，电阻>40MΩ；槽两侧火山口高度≤10nm；30um≥单根线宽≥20um；单边热影响≤2um
15:P2划线要求:线槽两侧火山口高度≤10nm、50um≥单根线宽≥15um、单边热影响≤3um
16:P3划线要求:边缘火山口高度一般≤100nm 、30um≥单根线宽≥15um、单边热影响≤5um
17:P4划线要求:刻蚀后区域任意两点的电阻大于500MΩ
18:设备功能软件：可以对异形图案和数字进行刻蚀，相机自动寻焦功能
19:集尘处理:集尘专用集尘机，跟随式集尘，效果＞99%，可做到直排
20:设备配套:工业级进口PC、水冷机、工业集尘机等
主要配置清单
序号 类型 名称 制造商 型号 数量
1 关键配件 20W红外纳秒激光器 光至 YFPN-20-GM 1套
2 关键配件 30W绿光皮秒激光器 凯普林 Topaz 532-30 1套
3 关键配件 200w红外激光器 锐科 RFL-P200 1套
4 关键配件 CCD相机 大恒 MER2-503-23GM 1套
5 关键配件 流量计 MKS GE-50 1套
6 关键配件 红外振镜 镭可施 LCS2DSC14A-03 1套
7 关键配件 1064nm f100场镜 波长 SL-1064-70-100Q 1套

质保期

合同签订后，90天内完成交货。
设备验收合格之日起，质保期一年。

售后要求

免费安装调试培训一次，免费搬迁一次，72小时内响应设备维修需求。