D07-26C 两台 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 外形和安装尺寸 气配气等行业。1 流量规格 ：(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM 2 流量控制范围 2~100% of F.S. 3 准确度 ±1.5 % F.S. 4 线性 ±1% F.S. 5 重复精度 ±0.2 % F.S. 6 响应时间 ≤10 sec 7 工作压差范围 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5psid) 8 最大工作压力 1 MPa (145psig) 9 耐压 3 MPa (435.1psig) 10 温度系数 Zero: ≤±0.2% F.S./℃ 11 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃ 12 输入信号 0 V ~ +5.00 V - 13 输出信号 0 V ~ +5.00 V ★ 特点：多功能，全兼容，开关电源，工作 电压范围宽，抗干扰能力强，通过 CE 认证。 ★ 用途：流量显示仪用于为气体质量流量控 制器（MFC）和质量流量计（MFM）提供 工作电源、操作控制、流量设定和流量数 字显示等。可直接与我厂 D07 系列质量流 量控制器和质量流量计配套使用，原则上 也可与国外质量控制器配合使用。 输出电源 +15V±5% 300mA 基准源 +5.00V±0.1% 供电电源 ~220/~110VAC 50/60Hz 最大功耗 25W 输入信号 0~+5.00V 输出信号 0~+5.00V 显示器数 2 3 4 Indicators 控制通道数 2 CS200-A 一台 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。需要链接电脑 阀类型 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 或常闭 无 流量规格(N2) (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM 准确度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) 线性 ±0.5% F.S. 重复精度 ±0.2% F.S. 响应时间 ≤ 1sec 工作压差范围0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM ＜0.02 MPa 最大工作压力 0.45MPa 温度系数 零点： ≤±0.05% F.S./℃； 调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM 调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM 耐压强度 3MPa 漏率 1×10-10 Pa·m3 / sec He 密封材料 氟橡胶 工作环境温度 （5～45）℃ 输入信号数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA 无 输出信号 数字：:RS485 或 DeviceNet 或

按行业标准提供服务，需原厂流量计，包含两种不同型号

D07-26C 两台 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 外形和安装尺寸 气配气等行业。1 流量规格 ：(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM 2 流量控制范围 2~100% of F.S. 3 准确度 ±1.5 % F.S. 4 线性 ±1% F.S. 5 重复精度 ±0.2 % F.S. 6 响应时间 ≤10 sec 7 工作压差范围 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5psid) 8 最大工作压力 1 MPa (145psig) 9 耐压 3 MPa (435.1psig) 10 温度系数 Zero: ≤±0.2% F.S./℃ 11 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃ 12 输入信号 0 V ~ +5.00 V - 13 输出信号 0 V ~ +5.00 V ★ 特点：多功能，全兼容，开关电源，工作 电压范围宽，抗干扰能力强，通过 CE 认证。 ★ 用途：流量显示仪用于为气体质量流量控 制器（MFC）和质量流量计（MFM）提供 工作电源、操作控制、流量设定和流量数 字显示等。可直接与我厂 D07 系列质量流 量控制器和质量流量计配套使用，原则上 也可与国外质量控制器配合使用。 输出电源 +15V±5% 300mA 基准源 +5.00V±0.1% 供电电源 ~220/~110VAC 50/60Hz 最大功耗 25W 输入信号 0~+5.00V 输出信号 0~+5.00V 显示器数 2 3 4 Indicators 控制通道数 2 CS200-A 一台 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。需要链接电脑 阀类型 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 或常闭 无 流量规格(N2) (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM 准确度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) 线性 ±0.5% F.S. 重复精度 ±0.2% F.S. 响应时间 ≤ 1sec 工作压差范围0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM ＜0.02 MPa 最大工作压力 0.45MPa 温度系数 零点： ≤±0.05% F.S./℃； 调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM 调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM 耐压强度 3MPa 漏率 1×10-10 Pa·m3 / sec He 密封材料 氟橡胶 工作环境温度 （5～45）℃ 输入信号数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA 无 输出信号 数字：:RS485 或 DeviceNet 或

按行业标准提供服务，需原厂流量计，包含两种不同型号