等离子体系统

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等离子体系统

项目名称 等离子体系统 项目编号 XJD*
公告开始日期 2023-11-21 17:00:48 公告截止日期 2023-11-25 12:00:00
采购单位 西安交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。
签约时间要求 发布竞价结果后7天内送达 到货时间要求 合同签订后7天内送达
预算总价 币种 人民币
收货地址 (略) 碑林区
供应商资质要求 无
采购清单 1
采购商品 采购数量 计量单位 附件
等离子体系统 1.00 套 无
品牌 SUPERALD
型号 PE200
预算单价
规格参数 一、射频电源 1.射频电源 1.1.频率：13.56MHz； 1.2.功率≥1000W； 1.3.冷却方式：风冷； 1.4.功率输出稳定度≤10W； 1.5.调节精度≤10W； 1.6.功率转化效率≥65%； 1.7.杂散功率抑制≥-60dBc； 1.8.谐波抑制≥-50dBc； 2.等离子体工艺启辉窗口； 2.1.功率范围：30-1000W； 2.2.压力范围：0.05-1.0Torr。 二、匹配器 1.配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间； 2.配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成VI传感器，传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于3s。 三、隔离装置 1.具备快速开关真空隔离装置，防止前驱体气体和等离子体活性自由基交叉污染，避免污染电感耦合等离子体反应装置。 四、其他 1.采用电感耦合(ICP)远程等离子体激发源； 2. 配备2路气体管路，包含N2和H2； 3.每路气体管路配备1个进口阀门和1个质量流量控制器；
售后服务 1.电话支持服务：提供7×24小时电话支持服务，负责提供技术问题的解答和技术指导。 2.维护响应时间：收到用户的维修服务要求后48小时内做出现场响应。 3.保修期内，设备的所有零配件费用、人工费用、差旅费用均由供应商承担。 4.设备保修时限： (略) 验收合格起整机保修12个月。
,陕西, (略) ,碑林区,西安
项目名称 等离子体系统 项目编号 XJD*
公告开始日期 2023-11-21 17:00:48 公告截止日期 2023-11-25 12:00:00
采购单位 西安交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。
签约时间要求 发布竞价结果后7天内送达 到货时间要求 合同签订后7天内送达
预算总价 币种 人民币
收货地址 (略) 碑林区
供应商资质要求 无
采购清单 1
采购商品 采购数量 计量单位 附件
等离子体系统 1.00 套 无
品牌 SUPERALD
型号 PE200
预算单价
规格参数 一、射频电源 1.射频电源 1.1.频率：13.56MHz； 1.2.功率≥1000W； 1.3.冷却方式：风冷； 1.4.功率输出稳定度≤10W； 1.5.调节精度≤10W； 1.6.功率转化效率≥65%； 1.7.杂散功率抑制≥-60dBc； 1.8.谐波抑制≥-50dBc； 2.等离子体工艺启辉窗口； 2.1.功率范围：30-1000W； 2.2.压力范围：0.05-1.0Torr。 二、匹配器 1.配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间； 2.配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成VI传感器，传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于3s。 三、隔离装置 1.具备快速开关真空隔离装置，防止前驱体气体和等离子体活性自由基交叉污染，避免污染电感耦合等离子体反应装置。 四、其他 1.采用电感耦合(ICP)远程等离子体激发源； 2. 配备2路气体管路，包含N2和H2； 3.每路气体管路配备1个进口阀门和1个质量流量控制器；
售后服务 1.电话支持服务：提供7×24小时电话支持服务，负责提供技术问题的解答和技术指导。 2.维护响应时间：收到用户的维修服务要求后48小时内做出现场响应。 3.保修期内，设备的所有零配件费用、人工费用、差旅费用均由供应商承担。 4.设备保修时限： (略) 验收合格起整机保修12个月。
,陕西, (略) ,碑林区,西安
    
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