原子层沉积系统

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原子层沉积系统

项目名称 原子层沉积系统 项目编号 XJD*
公告开始日期 2023-11-21 16:04:14 公告截止日期 2023-11-25 12:00:00
采购单位 西安交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。
签约时间要求 发布竞价结果后2天内送达 到货时间要求 合同签订后7天内送达
预算总价 币种 人民币
收货地址 (略) 碑林区
供应商资质要求 无
采购清单 1
采购商品 采购数量 计量单位 附件
原子层沉积系统 1.00 套 无
品牌 安泰可
型号 TALD-150
预算单价
规格参数 ALD-R 主机，整机结构模块化设计，方便维护。包含： 1）腔 室：采用 KM-LP 半导体标准设计的 TALD 沉积腔室，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S； 2）样品台：可放置最大*mm晶圆（以及*mm以下碎片），反应温度最高 300℃，控制 精度±1℃，样品台设有保护片托，易于拆卸和清洗； 3）控制系统：高精度 PLC+工控机沉积自动控制系统，可控制 500us 级别 的信号循环周期，满足高精度 ALD 沉积需求，搭配自主研发 的沉积控制软件系统，可方便的调节温度、流量、脉冲时间 等参数； 4）沉积模式：连续模式、停流模式； 5）人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置； 2、前驱体源系统：1套 4路直通体前驱体源系统，包含： 1）有机源系统：1路标准直通加热前驱体源，1路标准直通前驱体源，配置 swagelok 高温快速 ALD 阀（响应时间＜10ms）、手动阀、不锈钢源瓶，源瓶及管路 加热温度 RT-200℃，控制精度±1℃； 2）水源系统：1 路常温水源，配置 swagelok 快速 ALD 阀（响应时间＜10ms）、手动阀、专用水源瓶； 3）吹扫气体：2 路载气，配置高精度质量流量计，控制精度满量程的±1%； 3、真空系统：1套 高性能真空系统，整机极限真空＜5×10-3Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S 包含： 1）高性能真空泵，额定抽速＞16 m3/h； 2）真空泵前级配置热阱，加热温度 300℃，控制精度±1℃， 用于吸附、分解未反应的前驱体源； 3）真空计，测量范围 5×10-2Torr-大气压， 精度满量程的±1%；
售后服务 按行业标准提供服务，质保期36个月。1、货物免费保修 1 年。保修期自货物验收合格之日起计算，因货物故障耽误的时间，免费保修期顺延。 2、质保期内，*方接到*方保修通知后 4 个小时内响应， 48 个小时内排除故障。对于质保期内不能修复的产品/部件，*方应在 7 日内完成退换货服务。 3、质保期届满后，*方对本合同项下货物提供终身维修服务， 且维修时只收取所需维修部件的成本费，服务内容应与质保期内的要求相一致。
,陕西, (略) ,碑林区,西安
项目名称 原子层沉积系统 项目编号 XJD*
公告开始日期 2023-11-21 16:04:14 公告截止日期 2023-11-25 12:00:00
采购单位 西安交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。
签约时间要求 发布竞价结果后2天内送达 到货时间要求 合同签订后7天内送达
预算总价 币种 人民币
收货地址 (略) 碑林区
供应商资质要求 无
采购清单 1
采购商品 采购数量 计量单位 附件
原子层沉积系统 1.00 套 无
品牌 安泰可
型号 TALD-150
预算单价
规格参数 ALD-R 主机，整机结构模块化设计，方便维护。包含： 1）腔 室：采用 KM-LP 半导体标准设计的 TALD 沉积腔室，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S； 2）样品台：可放置最大*mm晶圆（以及*mm以下碎片），反应温度最高 300℃，控制 精度±1℃，样品台设有保护片托，易于拆卸和清洗； 3）控制系统：高精度 PLC+工控机沉积自动控制系统，可控制 500us 级别 的信号循环周期，满足高精度 ALD 沉积需求，搭配自主研发 的沉积控制软件系统，可方便的调节温度、流量、脉冲时间 等参数； 4）沉积模式：连续模式、停流模式； 5）人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置； 2、前驱体源系统：1套 4路直通体前驱体源系统，包含： 1）有机源系统：1路标准直通加热前驱体源，1路标准直通前驱体源，配置 swagelok 高温快速 ALD 阀（响应时间＜10ms）、手动阀、不锈钢源瓶，源瓶及管路 加热温度 RT-200℃，控制精度±1℃； 2）水源系统：1 路常温水源，配置 swagelok 快速 ALD 阀（响应时间＜10ms）、手动阀、专用水源瓶； 3）吹扫气体：2 路载气，配置高精度质量流量计，控制精度满量程的±1%； 3、真空系统：1套 高性能真空系统，整机极限真空＜5×10-3Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S 包含： 1）高性能真空泵，额定抽速＞16 m3/h； 2）真空泵前级配置热阱，加热温度 300℃，控制精度±1℃， 用于吸附、分解未反应的前驱体源； 3）真空计，测量范围 5×10-2Torr-大气压， 精度满量程的±1%；
售后服务 按行业标准提供服务，质保期36个月。1、货物免费保修 1 年。保修期自货物验收合格之日起计算，因货物故障耽误的时间，免费保修期顺延。 2、质保期内，*方接到*方保修通知后 4 个小时内响应， 48 个小时内排除故障。对于质保期内不能修复的产品/部件，*方应在 7 日内完成退换货服务。 3、质保期届满后，*方对本合同项下货物提供终身维修服务， 且维修时只收取所需维修部件的成本费，服务内容应与质保期内的要求相一致。
,陕西, (略) ,碑林区,西安
    
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