1、沉积阴极3套，阴极磁钢与水与真空隔离，靶头尺寸不大于87mm，屏蔽罩采用三段调节固定，摆头采用焊接波纹管方式，调节角度0-45度；

2、Invacuum气动90度反转靶控制挡板组件3套，采用金属波纹管焊接气缸，采用球冠全遮挡挡板，角度0-90度安装开具方向可调节，圆周位置任意安装，气缸放置在真空内，气缸接口为直径3mm不锈钢管；

3、射频电源及匹配器2台，功率不小于600W，全自动调谐；

4、直流电源1台,功率不小于500W，液晶屏显示，具有灭弧功能；

5、脉冲偏压电源1台，功率不小于500W；

6、高压电源1台,阳极电压4000V,输出电压为0-4000V,输出电流为0-3mA调节方式,具有高压瞬态抑制。

1、原厂原装，有专业安装培训工程师；

2、原厂或供应商保修3年；

3、原厂售后、技术支持，24小时响应。

1、沉积阴极3套，阴极磁钢与水与真空隔离，靶头尺寸不大于87mm，屏蔽罩采用三段调节固定，摆头采用焊接波纹管方式，调节角度0-45度；

2、Invacuum气动90度反转靶控制挡板组件3套，采用金属波纹管焊接气缸，采用球冠全遮挡挡板，角度0-90度安装开具方向可调节，圆周位置任意安装，气缸放置在真空内，气缸接口为直径3mm不锈钢管；

3、射频电源及匹配器2台，功率不小于600W，全自动调谐；

4、直流电源1台,功率不小于500W，液晶屏显示，具有灭弧功能；

5、脉冲偏压电源1台，功率不小于500W；

6、高压电源1台,阳极电压4000V,输出电压为0-4000V,输出电流为0-3mA调节方式,具有高压瞬态抑制。

1、原厂原装，有专业安装培训工程师；

2、原厂或供应商保修3年；

3、原厂售后、技术支持，24小时响应。