离子束刻蚀系统采购

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离子束刻蚀系统采购


离子束刻蚀系统（A-WZBX0923）采购公告
发布时间：2024-01-12 10:11:22阅读量：73 次

项目名称离子束刻蚀系统项目编号A-WZBX0923
公告开始日期2024-01-12 10:11:22公告截止日期2024-01-15 12:00:00
采购单位物理科 (略) 付款方式
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求签约后60个工作日内
预算总价￥ *.00
发票要求
收货地址物理楼114室
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
离子束刻蚀系统1台无

预算单价￥ *.00
技术参数及配置要求1. 适用于最大Φ100mm（4英寸）样品刻蚀，尺寸向下兼容；
2. Φ100mm（4英寸）范围内刻蚀不均匀性误差≤±3%；
3. 离子能量：100～1000 eV；
4. 离子束流：可调范围10～150 mA；
5. 离子源连续工作100小时以上，离子束输出性能无明显衰减；
6. 极限真空度：≤6.67×10-5 Pa；
7. 系统从大气（暴露大气时充干燥氮气）开始抽气，30分钟内可达到真空度5×10-4 Pa；
8. 批次内离子束流和离子能量稳定度RMS测试值不超过±2%/h，不同批次间工艺重复性95%以上。
9. 前级真空泵采用一台双级直连旋片式真空泵，抽速≥11L/s；
10. 主真空泵采用一台复合分子泵，抽速≥1200L/s；
11. Φ200mm口径超高真空气动插板阀一台，漏率低于5×10-8Pa·L/s；
12. 进口全量程真空计一套，量程从大气压最低至优于10-6Pa；
13. 口径Φ150mm的考夫曼离子源一套，有效束径不小于Φ100mm；
14. 热丝中和，单灯丝连续使用寿命不低于100小时；
15. 带有自动匹配功能的全自动离子源控制电源一套，批次内离子束流和离子能量稳定度RMS测试值不超过±1%/h，不同批次间工艺重复性95%以上；
16. 样品台可自转，自转速率0～30RPM在线自动可调；
17. 样品台可冷却，台面冷却温度5～25℃可调；
18. 刻蚀角度在 ±90°范围内在线自动可调，调节精度1°；
19. 两台冷却水循环机，一台用离子源冷却，另一套用于分子泵和刻蚀工作台冷却，5～25℃范围内按需调节控制水温；
20. 1路工作气体，1路通至离子源放电室，采用进口质量流量控制器（MFC）控制；
21. 系统采用计算机+PLC控制，触摸显示屏操作，Windows会话界面，可实现真空系统及工艺过程全自动化操作，控制系统可选择全自动及非全自动模式；
22. 提供全面的系统自动保护功能，对各重要部分、关键操作实现互锁保护，包括真空系统、离子源系统、充气系统、冷却系统、工件旋转、刻蚀角度控制等；
23. 设有互锁、异常断电自动记忆、自动工艺编程校验等安全保护措施，使非恶意的人为操作失误不会导致系统硬、软件的损坏。支持诸如缺水故障、分子泵故障等故障情况下的自动报警；安装机台架组件；
24. 系统为一体式机台设计，占地面积小，方便操作，整体设计满足超净间安装要求。
售后服务商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;免费保修3年;

2024-01-12 10:11:22


离子束刻蚀系统（A-WZBX0923）采购公告
发布时间：2024-01-12 10:11:22阅读量：73 次

项目名称离子束刻蚀系统项目编号A-WZBX0923
公告开始日期2024-01-12 10:11:22公告截止日期2024-01-15 12:00:00
采购单位物理科 (略) 付款方式
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求签约后60个工作日内
预算总价￥ *.00
发票要求
收货地址物理楼114室
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
离子束刻蚀系统1台无

预算单价￥ *.00
技术参数及配置要求1. 适用于最大Φ100mm（4英寸）样品刻蚀，尺寸向下兼容；
2. Φ100mm（4英寸）范围内刻蚀不均匀性误差≤±3%；
3. 离子能量：100～1000 eV；
4. 离子束流：可调范围10～150 mA；
5. 离子源连续工作100小时以上，离子束输出性能无明显衰减；
6. 极限真空度：≤6.67×10-5 Pa；
7. 系统从大气（暴露大气时充干燥氮气）开始抽气，30分钟内可达到真空度5×10-4 Pa；
8. 批次内离子束流和离子能量稳定度RMS测试值不超过±2%/h，不同批次间工艺重复性95%以上。
9. 前级真空泵采用一台双级直连旋片式真空泵，抽速≥11L/s；
10. 主真空泵采用一台复合分子泵，抽速≥1200L/s；
11. Φ200mm口径超高真空气动插板阀一台，漏率低于5×10-8Pa·L/s；
12. 进口全量程真空计一套，量程从大气压最低至优于10-6Pa；
13. 口径Φ150mm的考夫曼离子源一套，有效束径不小于Φ100mm；
14. 热丝中和，单灯丝连续使用寿命不低于100小时；
15. 带有自动匹配功能的全自动离子源控制电源一套，批次内离子束流和离子能量稳定度RMS测试值不超过±1%/h，不同批次间工艺重复性95%以上；
16. 样品台可自转，自转速率0～30RPM在线自动可调；
17. 样品台可冷却，台面冷却温度5～25℃可调；
18. 刻蚀角度在 ±90°范围内在线自动可调，调节精度1°；
19. 两台冷却水循环机，一台用离子源冷却，另一套用于分子泵和刻蚀工作台冷却，5～25℃范围内按需调节控制水温；
20. 1路工作气体，1路通至离子源放电室，采用进口质量流量控制器（MFC）控制；
21. 系统采用计算机+PLC控制，触摸显示屏操作，Windows会话界面，可实现真空系统及工艺过程全自动化操作，控制系统可选择全自动及非全自动模式；
22. 提供全面的系统自动保护功能，对各重要部分、关键操作实现互锁保护，包括真空系统、离子源系统、充气系统、冷却系统、工件旋转、刻蚀角度控制等；
23. 设有互锁、异常断电自动记忆、自动工艺编程校验等安全保护措施，使非恶意的人为操作失误不会导致系统硬、软件的损坏。支持诸如缺水故障、分子泵故障等故障情况下的自动报警；安装机台架组件；
24. 系统为一体式机台设计，占地面积小，方便操作，整体设计满足超净间安装要求。
售后服务商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;免费保修3年;

2024-01-12 10:11:22

    
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