强腐蚀气体专用分子筛干燥模块采购
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强腐蚀气体专用分子筛干燥模块采购
| 项目名称 | 强腐蚀气体专用分子筛干燥模块 | 项目编号 | JJ* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-01-22 10:05:43 | 公告截止日期 | 2024-01-25 09:00:00 |
| 采购单位 | 东北大学 | 付款方式 | |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后3个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥ *.00 | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | 东北大学和平区文化路3巷 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 强腐蚀气体专用分子筛干燥模块 | 2 | 套 | 其他试验仪器及装置 |
| 品牌 | 定制 |
|---|---|
| 型号 | 定制 |
| 预算单价 | ￥ 90000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 对强腐蚀气体内部的水汽进行实时干燥处理并有耐腐蚀要求，为半导体行业真空腔室专用模块。 ①通入腐蚀气体：HF、HCL、HBr、O2干、N2、Ar等干气(纯度99.999%)和纯净水湿气，每路气体都可独立进入模块，湿度调节范围：0-100%； ②316L不锈钢手动和气动角阀、波纹管； ③专用分子筛过滤器和上位机控制节点； ④拆卸更换方便； ⑤漏率<5x10-11 Pa.m3/S； ⑥整体密封与外大气隔绝处理以防毒气泄露； ⑦总占地空间：不大于750mmx600mmx650mm 长宽高； |
东北大学
2024-01-22 10:05:43
| 项目名称 | 强腐蚀气体专用分子筛干燥模块 | 项目编号 | JJ* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-01-22 10:05:43 | 公告截止日期 | 2024-01-25 09:00:00 |
| 采购单位 | 东北大学 | 付款方式 | |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后3个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥ *.00 | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | 东北大学和平区文化路3巷 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 强腐蚀气体专用分子筛干燥模块 | 2 | 套 | 其他试验仪器及装置 |
| 品牌 | 定制 |
|---|---|
| 型号 | 定制 |
| 预算单价 | ￥ 90000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 对强腐蚀气体内部的水汽进行实时干燥处理并有耐腐蚀要求，为半导体行业真空腔室专用模块。 ①通入腐蚀气体：HF、HCL、HBr、O2干、N2、Ar等干气(纯度99.999%)和纯净水湿气，每路气体都可独立进入模块，湿度调节范围：0-100%； ②316L不锈钢手动和气动角阀、波纹管； ③专用分子筛过滤器和上位机控制节点； ④拆卸更换方便； ⑤漏率<5x10-11 Pa.m3/S； ⑥整体密封与外大气隔绝处理以防毒气泄露； ⑦总占地空间：不大于750mmx600mmx650mm 长宽高； |
东北大学
2024-01-22 10:05:43
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