滨州魏桥国科高等技术研究院-竞价公告
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滨州魏桥国科高等技术研究院-竞价公告
申购单号:CBBZWQGK*
申购主题:加热及旋转组件
采购单位:滨州魏桥国科高 (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后30天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /滨城区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付90%，留10%质保金。
备注说明:1，该项目为交钥匙工程，供应商需免费提供设备的运输装卸安装调试等服务；2，如付款方式无法满足，可做补充说明；3，需上传招标文件（格式自拟)包括业绩清单及对应的合同、制造厂家、授权书、设备详细参数介绍及参数响应文件。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 加热及旋转组件 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 无 | ||
| 型号 | 无 | ||
| 规格参数 | 本次招标需要采购1套加热及旋转组件，还需将该系统安装在实验室的主设备上面。一、功能描述：1.旋转悬浮工件架由步进减速电机及磁流体装置组成，具有与HCD450空心阴极设备配套使用功能，可沉积的工件尺寸≤166×166（mm），工件与聚焦坩埚间距离应满足HCD450设备要求，直径Φ100mm范围内薄膜均匀性≤±5%，直径Φ200mm范围内薄膜均匀性≤±10%，工件转速0～15rpm连续可调。2.加热组件为管状加热器及多层屏蔽板结构，具有防止热变形，防止污染的装置，具有与HCD450空心阴极设备配套使用功能，并兼容HCD450标准接口法兰及旋转悬浮工件架结构。能够满足HCD450空心阴极设备的工艺需求，工件最高温度300℃。二、参数要求：由减速电机驱动，由磁流体机构馈入至真空室内侧。基片托架带有定位槽，基片载板可手动放入到基片托架的定位槽内，镀膜时可根据镀制基片的规格选择载板。需要提供三种外形尺寸一致的基片载板及一个掩膜载板，可根据镀膜工艺需求选择使用。旋转工件架转速： 0～15rpm （公转）工件载板尺寸要求：①玻璃基片：156×156×3（mm），载板：164×164×5（mm）1个；②玻璃基片：120×120×3（mm），载板：164×164×5（mm）1个；③玻璃基片：50×50×3（mm），载板：164×164×5（mm）1个；④玻璃基片：20×15×3（mm），掩膜载板：156×156×3（mm）（25穴）1个。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CBBZWQGK*
申购主题:加热及旋转组件
采购单位:滨州魏桥国科高 (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后30天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /滨城区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付90%，留10%质保金。
备注说明:1，该项目为交钥匙工程，供应商需免费提供设备的运输装卸安装调试等服务；2，如付款方式无法满足，可做补充说明；3，需上传招标文件（格式自拟)包括业绩清单及对应的合同、制造厂家、授权书、设备详细参数介绍及参数响应文件。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 加热及旋转组件 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 无 | ||
| 型号 | 无 | ||
| 规格参数 | 本次招标需要采购1套加热及旋转组件，还需将该系统安装在实验室的主设备上面。一、功能描述：1.旋转悬浮工件架由步进减速电机及磁流体装置组成，具有与HCD450空心阴极设备配套使用功能，可沉积的工件尺寸≤166×166（mm），工件与聚焦坩埚间距离应满足HCD450设备要求，直径Φ100mm范围内薄膜均匀性≤±5%，直径Φ200mm范围内薄膜均匀性≤±10%，工件转速0～15rpm连续可调。2.加热组件为管状加热器及多层屏蔽板结构，具有防止热变形，防止污染的装置，具有与HCD450空心阴极设备配套使用功能，并兼容HCD450标准接口法兰及旋转悬浮工件架结构。能够满足HCD450空心阴极设备的工艺需求，工件最高温度300℃。二、参数要求：由减速电机驱动，由磁流体机构馈入至真空室内侧。基片托架带有定位槽，基片载板可手动放入到基片托架的定位槽内，镀膜时可根据镀制基片的规格选择载板。需要提供三种外形尺寸一致的基片载板及一个掩膜载板，可根据镀膜工艺需求选择使用。旋转工件架转速： 0～15rpm （公转）工件载板尺寸要求：①玻璃基片：156×156×3（mm），载板：164×164×5（mm）1个；②玻璃基片：120×120×3（mm），载板：164×164×5（mm）1个；③玻璃基片：50×50×3（mm），载板：164×164×5（mm）1个；④玻璃基片：20×15×3（mm），掩膜载板：156×156×3（mm）（25穴）1个。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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