暨南大学-竞价公告
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暨南大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:多液路自动显影机
采购单位:暨南大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:不签订合同
送货时间:发布竞价结果后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /番禺区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明: 申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 多液路自动显影机 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | SETCAS | ||
| 型号 | KW4L | ||
| 规格参数 | 1.样品兼容8寸向下，可顺利排液。腔体耐酸碱，抗腐蚀。2.无需任何气动控制。3.真空吸附样品稳定，以8寸晶圆为标准。(附带真空压力实时监测)4.支持4路同时自动显影，摆臂独立可控，范围足够大。每根显影管路压力，出液量单独可调。5.转速可调范围（10-10000rpm），加速度可调范围（10-10000rpm）。（附转速实实时监测探头）6.显影液与液体吸管为插拔式连接。7.显影具体要求:对小型样品（20mm方片以下）使用一组柱状喷头喷液。换用（花洒1型）喷头时，可对2寸与4寸片显影。对6寸片有一组专用喷头（花洒2型）。（配备3种共6个可随意切换的喷头，2个柱状对小片显影以及定影，2个花洒兼容2、4寸的显影定影，2个专用于6寸样品的显影定影。）以上喷头的的洒液半径由厂商综合显影喷头的最小间距与以及机械臂高度、摆动速率、角度决定。对上述显影对象，提供参考recipe。（摆放位置为竖直向下摆放，每两个为一组，成2X2阵列排布，可手动切换任一组到显影样品的中心。8.附带样品托盘，对4寸，2寸的托盘。对小样品是真空吸孔式（5mm细孔）。9.显影机底部可手动调平。10.臂摆动范围要求满足所提显影需求，且不干扰进出样品。11.能达成较好的显影效果（最终验收标准）12.可调的显影臂高。13.样品腔室足够深，且防液回溅射。14.金属材料耐用，整体性能需保证不弱于不锈钢。15.真空吸孔防液防胶设计，堵塞时可清理。 | ||
| 质保及售后服务 | 1、全保一年。2、两年内维修免人工费。 | ||
申购单号:CB*
申购主题:多液路自动显影机
采购单位:暨南大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:不签订合同
送货时间:发布竞价结果后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /番禺区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明: 申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 多液路自动显影机 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | SETCAS | ||
| 型号 | KW4L | ||
| 规格参数 | 1.样品兼容8寸向下，可顺利排液。腔体耐酸碱，抗腐蚀。2.无需任何气动控制。3.真空吸附样品稳定，以8寸晶圆为标准。(附带真空压力实时监测)4.支持4路同时自动显影，摆臂独立可控，范围足够大。每根显影管路压力，出液量单独可调。5.转速可调范围（10-10000rpm），加速度可调范围（10-10000rpm）。（附转速实实时监测探头）6.显影液与液体吸管为插拔式连接。7.显影具体要求:对小型样品（20mm方片以下）使用一组柱状喷头喷液。换用（花洒1型）喷头时，可对2寸与4寸片显影。对6寸片有一组专用喷头（花洒2型）。（配备3种共6个可随意切换的喷头，2个柱状对小片显影以及定影，2个花洒兼容2、4寸的显影定影，2个专用于6寸样品的显影定影。）以上喷头的的洒液半径由厂商综合显影喷头的最小间距与以及机械臂高度、摆动速率、角度决定。对上述显影对象，提供参考recipe。（摆放位置为竖直向下摆放，每两个为一组，成2X2阵列排布，可手动切换任一组到显影样品的中心。8.附带样品托盘，对4寸，2寸的托盘。对小样品是真空吸孔式（5mm细孔）。9.显影机底部可手动调平。10.臂摆动范围要求满足所提显影需求，且不干扰进出样品。11.能达成较好的显影效果（最终验收标准）12.可调的显影臂高。13.样品腔室足够深，且防液回溅射。14.金属材料耐用，整体性能需保证不弱于不锈钢。15.真空吸孔防液防胶设计，堵塞时可清理。 | ||
| 质保及售后服务 | 1、全保一年。2、两年内维修免人工费。 | ||
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