东南大学-竞价公告
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东南大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:晶圆专用等 离子去胶机
采购单位:东南大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后30天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:江苏省/ (略) /江宁区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 真空等离子去胶机 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 纳恩科技 | ||
| 型号 | NE-PE13FH | ||
| 规格参数 | 全自动阻抗匹配固态射频电源，频率13.56MHz，功率300W可调，316不锈钢腔体，腔体尺寸240mm（宽）*280mm(深)*200mm(高)，单层有效处理面积210mm*204mm,可处理层数3层，高导电铝合金专用电极，CCP&RIE离子反应放电模式，2路MFC质量流量控制系统，皮拉尼式真空计，16m3/h抽速干式真空泵，三菱PLC+7寸触摸屏，自主专利设计等离子控制系统，工艺配方可存储、调用 | ||
| 质保及售后服务 | 整机质保两年，2小时内响应，提供永久免费技术服务 | ||
申购单号:CB*
申购主题:晶圆专用等 离子去胶机
采购单位:东南大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后30天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:江苏省/ (略) /江宁区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 真空等离子去胶机 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 纳恩科技 | ||
| 型号 | NE-PE13FH | ||
| 规格参数 | 全自动阻抗匹配固态射频电源，频率13.56MHz，功率300W可调，316不锈钢腔体，腔体尺寸240mm（宽）*280mm(深)*200mm(高)，单层有效处理面积210mm*204mm,可处理层数3层，高导电铝合金专用电极，CCP&RIE离子反应放电模式，2路MFC质量流量控制系统，皮拉尼式真空计，16m3/h抽速干式真空泵，三菱PLC+7寸触摸屏，自主专利设计等离子控制系统，工艺配方可存储、调用 | ||
| 质保及售后服务 | 整机质保两年，2小时内响应，提供永久免费技术服务 | ||
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