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电子科技大学-竞价公告

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电子科技大学-竞价公告

申购单号:CB*
申购主题:SG*有机-金属原子沉积镀膜系统
采购单位:电子科技大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后3天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /郫都区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：

序号	采购内容	数量	预算单价
1	SG*有机-金属原子沉积镀膜系统	1.0	*.0
品牌	苏州方昇
型号	FS600-S6
规格参数	1、基板装置：样品架夹具可以容纳可放置1片210210mm基片，托盘边缘2mm，样品架附近通循环水冷却。基片托通过电机以标称30转数／分的转速旋转时发生沉淀（0~30转/分可调），这样可以使基础结构的一致性达到最大。2、蒸发沉积系统：蒸发源共有6个蒸发源，用于有机或金属材料蒸镀。距基片大约35cm。配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，速度可通过气阀调节。蒸发源配备3个低电压大电流的TDK-lambda电源通过切换6个蒸发源，实现不同材料的蒸发。TDK电源，电流驱动加热形式，可精确到0.1A，实现蒸镀速率0.1 A/S的精度显示。膜厚控制带有3个晶振探头，1个探头带水冷，位于基片盘下方一侧，还有2个在客体正上方。采用InficonSQC-310C膜厚仪，膜厚精度误差在正负0.01A/S，可显示4个膜厚探头的读数。3、真空系统：真空室由SUS304不锈钢制成，内部尺寸大致为600mm600mm700mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及电极、真空泵、样品盘离合等装置。极限真空度：系统洁净、空置时低于3.5×10-5 Pa；从常压到5×10-4pa不超过15min（充氮气保护，从手套箱内操作）。真空系统包括如下构件：@ 岛津 TMP-V2304LMC ：排气速度：2300 L/s； @复合真空计，测量范围大气----1.0*@DN 301 机械真空泵抽速约为：30m3/h;@插板阀及角阀：可使用不少于100,00次，气动。
质保及售后服务	1. 方应对方提供完善及时的售后服务和技术支持。受理方要求，在2小时内做出响应，如须现场解决问题，48小时内到达现场。 2. 在仪器到货后，方工程师将按用户的时间安排进行仪器安装调试，并对使用人员进行现场技术培训，免收技术培训费。 3. 提供整机免费保修≥1年，自设备安装、调试完毕，综合验收测试合格的次日起为设备交付及质量保证期限的开始。 4. 负责向*方提供最新的仪器应用和最新技术资料。

信息来自：http://**#http://**

序号	采购内容	数量	预算单价
1	SG*有机-金属原子沉积镀膜系统	1.0	*.0
品牌	苏州方昇
型号	FS600-S6
规格参数	1、基板装置：样品架夹具可以容纳可放置1片210210mm基片，托盘边缘2mm，样品架附近通循环水冷却。基片托通过电机以标称30转数／分的转速旋转时发生沉淀（0~30转/分可调），这样可以使基础结构的一致性达到最大。2、蒸发沉积系统：蒸发源共有6个蒸发源，用于有机或金属材料蒸镀。距基片大约35cm。配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，速度可通过气阀调节。蒸发源配备3个低电压大电流的TDK-lambda电源通过切换6个蒸发源，实现不同材料的蒸发。TDK电源，电流驱动加热形式，可精确到0.1A，实现蒸镀速率0.1 A/S的精度显示。膜厚控制带有3个晶振探头，1个探头带水冷，位于基片盘下方一侧，还有2个在客体正上方。采用InficonSQC-310C膜厚仪，膜厚精度误差在正负0.01A/S，可显示4个膜厚探头的读数。3、真空系统：真空室由SUS304不锈钢制成，内部尺寸大致为600mm600mm700mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及电极、真空泵、样品盘离合等装置。极限真空度：系统洁净、空置时低于3.5×10-5 Pa；从常压到5×10-4pa不超过15min（充氮气保护，从手套箱内操作）。真空系统包括如下构件：@ 岛津 TMP-V2304LMC ：排气速度：2300 L/s； @复合真空计，测量范围大气----1.0*@DN 301 机械真空泵抽速约为：30m3/h;@插板阀及角阀：可使用不少于100,00次，气动。
质保及售后服务	1. 方应对方提供完善及时的售后服务和技术支持。受理方要求，在2小时内做出响应，如须现场解决问题，48小时内到达现场。 2. 在仪器到货后，方工程师将按用户的时间安排进行仪器安装调试，并对使用人员进行现场技术培训，免收技术培训费。 3. 提供整机免费保修≥1年，自设备安装、调试完毕，综合验收测试合格的次日起为设备交付及质量保证期限的开始。 4. 负责向*方提供最新的仪器应用和最新技术资料。

信息来自：http://**#http://**

,四川, (略) ,郫都区,苏州,成都

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