序号

名称

技术要求

首选品牌型号（接受同等品牌）

1

扫描电镜

1.电镜主机

1.1台式设计，放置在桌面操作，随走随关，无需UPS，无需空压机和冷却循环水机；

1.2底片放大倍率不低于：10×～*×，显示器25x-250,000x；

1.3加速电压：20kv、15KV、10KV、5KV；

1.4自动化功能：自动对焦、自动消像散、自动明/暗对比度；

1.5背散射检测器：高灵敏四分割背散射电子检测器,具备标准背散射像、凹凸3D形貌像、两种角度的阴影像1和阴影像2成像功能；

1.6 二次电子检测器：压力可变，低真空下可以直接拍摄不导电样品二次电子图像，无需喷镀，后续能谱分析时不会引入其他元素的干扰；

1.7 具备阴极荧光CL成像能力,探头一键切换，方便易用；

1.8 样品台移动范围不少于X:40mm,Y:35mm;

1.9预对中钨灯丝设计，旋拧式更换方式，衬管内光阑，方便简单，无需厂家专业人员更换维护；

1.10最大样品尺寸：直径80mm，厚度50mm；

1.11电子束位移范围：≥±50μm（WD=6mm）,可移动观测范围≥40mm*35mm,电子束偏转归零位手动可控，一键操作;

1.12背散射图像可观察成像模式数量不少于4种，阴影像数量不少于2种；

1.13配置低真空模式，低真空背散射成像模式不低于4种，低真空无需专用样品杯耗材，方便不导电样品的无喷镀拍摄，低使用成本；

1.14支持小窗口扫描，扫描模式数量≥3种；

1.15图像储存像素：640×480像素、1280×960像素、2560×1920像素可选

1.16图像存储格式：BMP、TIFF、JPEG

1.17自带报告输出功能，可选WORD/EXCEL/PPT不同模板一键导出，操作简便；

1.18图片上可显示数据信息包含日期时间、工作距离、微标尺、微米值、图像号码及注释

1.19软件操作系统：Windows 10 64bit

1.20真空系统包含分子涡轮泵和隔膜泵各1台，涡轮分子泵（TMP）抽速≥65L/s，隔膜泵抽速≥20L/min；

1.21内部电源安全装置：带过电保护功能，内 (略) 器；

1.22长衬管设计，光阑装载在衬管内，更换设计简单便捷，用户可自行更换无需厂家上门；

1.23工作站配置：中央处理器i5四核或更优，双网卡，8G内存，硬盘1T或更优，WIN10系统；

2.自动颗粒统计分析系统

2.1专用定量分析工具，适用于自动颗粒分析、孔径分析；

2.2 支持电镜系统专用数据文件格式，自动识别设备型号/拍照时间/放大倍率/照片尺寸等参数，自动提取二轴标定数据、自动加载标尺、自动标尺切换；

2.3 批量化图像导入与归档：批量导入、批量标注、批量合并等多图批处理功能，批量样品检验过程；

2.4 图像处理与矫正：图像增强、反差调整、图像矫正、划痕污迹处理；

2.5定倍与视场功能：屏幕定倍显示、定倍照片打印、定倍文件保存、定倍插入报告、定倍插入Word/Excel等；矩形区域、圆形区域、椭圆区域、任意形状区域等多种模式视场裁剪工具；

2.6支持One To One/All In One模式多图像测量；提供高级影像测量工具；数据统计功能：最大值、最小值、平均值、极差、方差、标准差、离散系数等，同时处理多个管制项目；测量数据、影像合成输出到Excel报告；支持智能化选择性Excel报告数据输出功能，实现“待测工件→测量参数→专用报告→品管统计”数据流自动化；

2.7 层深膜厚分析功能：自动计算测量参数的标准统计数据，支持按不同管制项目参数测量评级、生成检验报告，提供马氏体针长、渗层镀层深度、晶粒尺寸、夹杂物尺寸、石墨大小等多个半自动测量评级模块；

2.8 自动颗粒形态分析与统计：颗粒形态分析、统计，自动分割提取颗粒、识别颗粒边界，自动计数测量颗粒面积、最大卡规直径、粒度、圆度、形态特征等大量参数；支持按不同特征参数筛选颗粒，支持按不同特征参数、不同分类区间进行分类统计，给出统计柱状图和报告；提供人工介入的半自动颗粒计数工具，保障样品图像恶劣状态下，实现精确测量分析；提供颗粒个数密度测定、多相颗粒个数比率测定模块；

2.9支持个性化分析报告模板设计，自动生成图文并茂的定性分析报告和定量评级检验报告；

2.10内嵌高级功能：图像拼接MIA/三维表面3DView/目标颗粒自动寻边ATE

3.牛津能谱仪

3.1 探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积≥30mm2，高分子超薄窗设计，非氮化硅窗口，无需液氮冷却，仅消耗电能；

3.2 能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV（@计数率50,000cps）；

3.3 元素分析范围: B5～Cf98；

3.4 具备点、线、面扫描功能，带零峰修正能力，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位；

3.5定性分析：可自动标识谱峰，可进行谱重构；

3.6定量分析：定量修正技术，具有完备的虚拟标样库；

4.离子溅射仪

4.1样品仓尺寸不小于：内径 110mm×高度130 mm；

4.2 最大样品尺寸：不小于直径60mm；

4.3 金靶材尺寸：直径≥57mm，磁控式；

4.4靶材：标配 Au靶；

4.5真空系统：机械泵，抽速≥8m3/h；

4.6 真空检测：定制皮实制，搭配真空指针表；

4.7 自动排放气功能，无需手动排气；

5.配置清单

台式扫描电镜主机 1台；

牛津能谱仪 1套；

离子溅射仪 1台；

自动颗粒统计分析软件 1套

机械泵 1台

预对中钨灯丝 10颗；

导电胶带 5卷；

直角观察样品台 5个；

电脑及显示屏 1 套；

配套仪器桌1个。
6. 要求送货车辆带升降板，无需叉车辅助

日立台式扫描电子显微镜系统TM4000Plus II

序号

名称

技术要求

首选品牌型号（接受同等品牌）

1

扫描电镜

1.电镜主机

1.1台式设计，放置在桌面操作，随走随关，无需UPS，无需空压机和冷却循环水机；

1.2底片放大倍率不低于：10×～*×，显示器25x-250,000x；

1.3加速电压：20kv、15KV、10KV、5KV；

1.4自动化功能：自动对焦、自动消像散、自动明/暗对比度；

1.5背散射检测器：高灵敏四分割背散射电子检测器,具备标准背散射像、凹凸3D形貌像、两种角度的阴影像1和阴影像2成像功能；

1.6 二次电子检测器：压力可变，低真空下可以直接拍摄不导电样品二次电子图像，无需喷镀，后续能谱分析时不会引入其他元素的干扰；

1.7 具备阴极荧光CL成像能力,探头一键切换，方便易用；

1.8 样品台移动范围不少于X:40mm,Y:35mm;

1.9预对中钨灯丝设计，旋拧式更换方式，衬管内光阑，方便简单，无需厂家专业人员更换维护；

1.10最大样品尺寸：直径80mm，厚度50mm；

1.11电子束位移范围：≥±50μm（WD=6mm）,可移动观测范围≥40mm*35mm,电子束偏转归零位手动可控，一键操作;

1.12背散射图像可观察成像模式数量不少于4种，阴影像数量不少于2种；

1.13配置低真空模式，低真空背散射成像模式不低于4种，低真空无需专用样品杯耗材，方便不导电样品的无喷镀拍摄，低使用成本；

1.14支持小窗口扫描，扫描模式数量≥3种；

1.15图像储存像素：640×480像素、1280×960像素、2560×1920像素可选

1.16图像存储格式：BMP、TIFF、JPEG

1.17自带报告输出功能，可选WORD/EXCEL/PPT不同模板一键导出，操作简便；

1.18图片上可显示数据信息包含日期时间、工作距离、微标尺、微米值、图像号码及注释

1.19软件操作系统：Windows 10 64bit

1.20真空系统包含分子涡轮泵和隔膜泵各1台，涡轮分子泵（TMP）抽速≥65L/s，隔膜泵抽速≥20L/min；

1.21内部电源安全装置：带过电保护功能，内 (略) 器；

1.22长衬管设计，光阑装载在衬管内，更换设计简单便捷，用户可自行更换无需厂家上门；

1.23工作站配置：中央处理器i5四核或更优，双网卡，8G内存，硬盘1T或更优，WIN10系统；

2.自动颗粒统计分析系统

2.1专用定量分析工具，适用于自动颗粒分析、孔径分析；

2.2 支持电镜系统专用数据文件格式，自动识别设备型号/拍照时间/放大倍率/照片尺寸等参数，自动提取二轴标定数据、自动加载标尺、自动标尺切换；

2.3 批量化图像导入与归档：批量导入、批量标注、批量合并等多图批处理功能，批量样品检验过程；

2.4 图像处理与矫正：图像增强、反差调整、图像矫正、划痕污迹处理；

2.5定倍与视场功能：屏幕定倍显示、定倍照片打印、定倍文件保存、定倍插入报告、定倍插入Word/Excel等；矩形区域、圆形区域、椭圆区域、任意形状区域等多种模式视场裁剪工具；

2.6支持One To One/All In One模式多图像测量；提供高级影像测量工具；数据统计功能：最大值、最小值、平均值、极差、方差、标准差、离散系数等，同时处理多个管制项目；测量数据、影像合成输出到Excel报告；支持智能化选择性Excel报告数据输出功能，实现“待测工件→测量参数→专用报告→品管统计”数据流自动化；

2.7 层深膜厚分析功能：自动计算测量参数的标准统计数据，支持按不同管制项目参数测量评级、生成检验报告，提供马氏体针长、渗层镀层深度、晶粒尺寸、夹杂物尺寸、石墨大小等多个半自动测量评级模块；

2.8 自动颗粒形态分析与统计：颗粒形态分析、统计，自动分割提取颗粒、识别颗粒边界，自动计数测量颗粒面积、最大卡规直径、粒度、圆度、形态特征等大量参数；支持按不同特征参数筛选颗粒，支持按不同特征参数、不同分类区间进行分类统计，给出统计柱状图和报告；提供人工介入的半自动颗粒计数工具，保障样品图像恶劣状态下，实现精确测量分析；提供颗粒个数密度测定、多相颗粒个数比率测定模块；

2.9支持个性化分析报告模板设计，自动生成图文并茂的定性分析报告和定量评级检验报告；

2.10内嵌高级功能：图像拼接MIA/三维表面3DView/目标颗粒自动寻边ATE

3.牛津能谱仪

3.1 探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积≥30mm2，高分子超薄窗设计，非氮化硅窗口，无需液氮冷却，仅消耗电能；

3.2 能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV（@计数率50,000cps）；

3.3 元素分析范围: B5～Cf98；

3.4 具备点、线、面扫描功能，带零峰修正能力，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位；

3.5定性分析：可自动标识谱峰，可进行谱重构；

3.6定量分析：定量修正技术，具有完备的虚拟标样库；

4.离子溅射仪

4.1样品仓尺寸不小于：内径 110mm×高度130 mm；

4.2 最大样品尺寸：不小于直径60mm；

4.3 金靶材尺寸：直径≥57mm，磁控式；

4.4靶材：标配 Au靶；

4.5真空系统：机械泵，抽速≥8m3/h；

4.6 真空检测：定制皮实制，搭配真空指针表；

4.7 自动排放气功能，无需手动排气；

5.配置清单

台式扫描电镜主机 1台；

牛津能谱仪 1套；

离子溅射仪 1台；

自动颗粒统计分析软件 1套

机械泵 1台

预对中钨灯丝 10颗；

导电胶带 5卷；

直角观察样品台 5个；

电脑及显示屏 1 套；

配套仪器桌1个。
6. 要求送货车辆带升降板，无需叉车辅助

日立台式扫描电子显微镜系统TM4000Plus II