东南大学-竞价公告
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东南大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:薄膜沉积系统
采购单位:东南大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后15天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:江苏省/ (略) /江宁区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 薄膜沉积系统 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | * | ||
| 型号 | * | ||
| 规格参数 | 1、镀膜室内净尺寸: L440×W400×H450；方箱式，前门旋转往右打开式，304优质不锈钢制造；2、真空系统：采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统；机械泵抽速：不小于9L/S；分子泵抽速：不下小于：1300L/S；3、真空极限：8.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）；4、圆形基片台结构，可承载最大120×120mm 基片；；基片旋转：0～30转/分钟；加热:室温～500±1℃，可控可调，日本岛电PID智能温控闭环控温；5、磁控溅射靶源：3只3英寸圆形平面靶； 6、基片台配有偏压清洗功能，并配有直流脉冲偏压电源；7、3台磁控溅射电源；8、配有质量流量 (略) ，供Ar、N2、O2气体使用；9、配备有循环水冷机和空气压缩机；10、PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统；11、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。12、设备配备有独立机架及电控柜； | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CB*
申购主题:薄膜沉积系统
采购单位:东南大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后15天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:江苏省/ (略) /江宁区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 薄膜沉积系统 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | * | ||
| 型号 | * | ||
| 规格参数 | 1、镀膜室内净尺寸: L440×W400×H450；方箱式，前门旋转往右打开式，304优质不锈钢制造；2、真空系统：采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统；机械泵抽速：不小于9L/S；分子泵抽速：不下小于：1300L/S；3、真空极限：8.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）；4、圆形基片台结构，可承载最大120×120mm 基片；；基片旋转：0～30转/分钟；加热:室温～500±1℃，可控可调，日本岛电PID智能温控闭环控温；5、磁控溅射靶源：3只3英寸圆形平面靶； 6、基片台配有偏压清洗功能，并配有直流脉冲偏压电源；7、3台磁控溅射电源；8、配有质量流量 (略) ，供Ar、N2、O2气体使用；9、配备有循环水冷机和空气压缩机；10、PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统；11、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。12、设备配备有独立机架及电控柜； | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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