深圳大学-竞价公告
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深圳大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:ALD原子层沉积系统
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | ALD原子层沉积系统 | 1.0 | 套*.0 |
| 品牌 | 普迪真空 | ||
| 型号 | ALD-T100Q | ||
| 规格参数 | 1、真空腔室优质 304 不锈钢真空室，尺寸约为 300mm（宽） × 300mm（深） × 380mm（高）最终以实际设计尺寸为准，内外部电抛光处理；2、高真空泵：脂润滑分子泵；型号：北京中科科仪 150/700,抽速：700L/S；3、高阀及限流阀：高真空插板阀；可控限流阀，可控制腔室压力；4、机械泵：鲍斯真空 BSV24 直联旋片式真空泵（单相），抽速：约 6L/S；5、真空测量：两低一高数显复合真空计；6、电控气动粗抽阀、前级阀，电磁放气阀、充气阀；7、两路进气，采用 Horiba Metron 流量计控制进气，流量计最大流量分别为200/5sccm，2 路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光 EP 管及 VCR 接头混合后导入真空室前方靶面进气；8、1 台 500W 直流电源；1 个凡谷电子自动匹配射频电源，最大输出功率 750W；9、100*100MM 偏压工件台，转速 0-25RPM 可调节；10、控制系统采用德国西门子 PLC+德国西门子触摸屏人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CB*
申购主题:ALD原子层沉积系统
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | ALD原子层沉积系统 | 1.0 | 套*.0 |
| 品牌 | 普迪真空 | ||
| 型号 | ALD-T100Q | ||
| 规格参数 | 1、真空腔室优质 304 不锈钢真空室，尺寸约为 300mm（宽） × 300mm（深） × 380mm（高）最终以实际设计尺寸为准，内外部电抛光处理；2、高真空泵：脂润滑分子泵；型号：北京中科科仪 150/700,抽速：700L/S；3、高阀及限流阀：高真空插板阀；可控限流阀，可控制腔室压力；4、机械泵：鲍斯真空 BSV24 直联旋片式真空泵（单相），抽速：约 6L/S；5、真空测量：两低一高数显复合真空计；6、电控气动粗抽阀、前级阀，电磁放气阀、充气阀；7、两路进气，采用 Horiba Metron 流量计控制进气，流量计最大流量分别为200/5sccm，2 路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光 EP 管及 VCR 接头混合后导入真空室前方靶面进气；8、1 台 500W 直流电源；1 个凡谷电子自动匹配射频电源，最大输出功率 750W；9、100*100MM 偏压工件台，转速 0-25RPM 可调节；10、控制系统采用德国西门子 PLC+德国西门子触摸屏人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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