晶圆形貌仪采购

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晶圆形貌仪采购


晶圆形貌仪采购项目（XHGD-CG-2024174）采购公告
发布时间：2024-05-09 16:22:30阅读量：18 次

项目名称晶圆形貌仪采购项目项目编号XHGD-CG-*
公告开始日期2024-05-09 16:22:30公告截止日期2024-05-14 18:00:00
采购单位西湖大 (略) 付款方式预付30%，验收合格且拿到全款发票后付70%
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30工作日到货时间要求签约后60个自然日
预算总价￥ *.00
发票要求增值税普通发票
收货地址 (略) 西湖区石龙山街18号西湖大学云栖校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
晶圆形貌仪1台无

预算单价￥ *.00
技术参数及配置要求1.光谱共聚焦系统:适用于切割片，研磨片，抛光片等不同阶段。
2. (略) :支持6/8寸晶圆,自带标定片模块。
3. 计算机系统:含检测软件系统;含数据库管理系统;支持PDF报告和Excel报告导出;支持批次刻字号excel批量导入功能; (略) 络端口进行数据上传;支持SECS/GEM协议。
4. 检测内容:厚度，BOW，TTV，WARP，LTV。
5. 检测速度:≥ 30片/小时。
6. 检测重复性:
厚度测量重复性：+/-0.1um；
BOW测量重复性：+/-0.3um；
TTV测量重复性：+/-0.5um；
Warp测量重复性：+/-0.5um；
LTV测量重复性：+/-0.2um。
7.相关性（对标FRT）:
THICKNESS>99%；
WARP >95%；
BOW>95%；
TTV>90%；
LTV>90%。
售后服务质保期:一年;

2024-05-09 16:22:30


晶圆形貌仪采购项目（XHGD-CG-2024174）采购公告
发布时间：2024-05-09 16:22:30阅读量：18 次

项目名称晶圆形貌仪采购项目项目编号XHGD-CG-*
公告开始日期2024-05-09 16:22:30公告截止日期2024-05-14 18:00:00
采购单位西湖大 (略) 付款方式预付30%，验收合格且拿到全款发票后付70%
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30工作日到货时间要求签约后60个自然日
预算总价￥ *.00
发票要求增值税普通发票
收货地址 (略) 西湖区石龙山街18号西湖大学云栖校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
晶圆形貌仪1台无

预算单价￥ *.00
技术参数及配置要求1.光谱共聚焦系统:适用于切割片，研磨片，抛光片等不同阶段。
2. (略) :支持6/8寸晶圆,自带标定片模块。
3. 计算机系统:含检测软件系统;含数据库管理系统;支持PDF报告和Excel报告导出;支持批次刻字号excel批量导入功能; (略) 络端口进行数据上传;支持SECS/GEM协议。
4. 检测内容:厚度，BOW，TTV，WARP，LTV。
5. 检测速度:≥ 30片/小时。
6. 检测重复性:
厚度测量重复性：+/-0.1um；
BOW测量重复性：+/-0.3um；
TTV测量重复性：+/-0.5um；
Warp测量重复性：+/-0.5um；
LTV测量重复性：+/-0.2um。
7.相关性（对标FRT）:
THICKNESS>99%；
WARP >95%；
BOW>95%；
TTV>90%；
LTV>90%。
售后服务质保期:一年;

2024-05-09 16:22:30

    
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