深圳大学-竞价公告
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深圳大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:ALD原子层沉积系统
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | ALD原子层沉积系统 | 1.0 | 套*.0 |
| 品牌 | 普迪真空 | ||
| 型号 | ALD-T100Q | ||
| 规格参数 | 1、真空腔室：6061 铝阳极氧化处理，腔室内尺寸Φ200×10 mm；2、真空系统：双极旋片油泵，抽速度不小于 16 m3/h；气动真空阀门+耐污染薄膜真空计；3、极限真空：系统极限优5.0×10-3Torr，系统真空漏率小于 5*10-10 Pa.m3/s；4、样品台尺寸：4 英寸样品托，兼容 4 inch 及以下样品尺寸；5、样品台温度：4英寸内样品表面加热温度最高可达300℃，温度控制精度±0.5℃；6、前驱体路数：3路可加热至200℃的金属驱体源和1路水以及臭氧前驱体源；7、吹扫管道：2路质量流量计控制前驱体源吹扫管道，分别吹扫金属前驱体源和水前驱体源管道；8、生长模式：连续和停留沉积模式选择；9、控制系统：PLC+工控机+触摸屏人机交互界面；10、电源功率：50-60Hz，380VAC /20A交流电源；11、沉积非均匀性：在4inch硅片上，沉积500ycle氧化铝非均匀性 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CB*
申购主题:ALD原子层沉积系统
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | ALD原子层沉积系统 | 1.0 | 套*.0 |
| 品牌 | 普迪真空 | ||
| 型号 | ALD-T100Q | ||
| 规格参数 | 1、真空腔室：6061 铝阳极氧化处理，腔室内尺寸Φ200×10 mm；2、真空系统：双极旋片油泵，抽速度不小于 16 m3/h；气动真空阀门+耐污染薄膜真空计；3、极限真空：系统极限优5.0×10-3Torr，系统真空漏率小于 5*10-10 Pa.m3/s；4、样品台尺寸：4 英寸样品托，兼容 4 inch 及以下样品尺寸；5、样品台温度：4英寸内样品表面加热温度最高可达300℃，温度控制精度±0.5℃；6、前驱体路数：3路可加热至200℃的金属驱体源和1路水以及臭氧前驱体源；7、吹扫管道：2路质量流量计控制前驱体源吹扫管道，分别吹扫金属前驱体源和水前驱体源管道；8、生长模式：连续和停留沉积模式选择；9、控制系统：PLC+工控机+触摸屏人机交互界面；10、电源功率：50-60Hz，380VAC /20A交流电源；11、沉积非均匀性：在4inch硅片上，沉积500ycle氧化铝非均匀性 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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