1.扫描电镜一套（要求主流品牌：蔡司、日立），配套能谱（牛津EDS）、镀膜仪、镶嵌机、金相磨抛机、控制电脑及电镜操纵杆；

2.发射源：非钨灯丝（如LaB6灯丝）；

3.分辨率： 2.*@*0kV；

4.加速电压范围：200V－30kV，10V步进连续可调；

5.放大倍数范围：7X－1,000,000X（底片放大倍率），连续可调，无需高倍率和低倍率转换；

6.电子束束流：0.5pA-5μA，连续可调；

7.电子束控制：具有分辨率模式、分析模式、大视野模式、大景深模式用于快速的样品定位；

8.样品室尺寸：直径＞300mm，高度＞220mm；

9.抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵，不需要冷却水，样品室最高真空度：优于6 x 10-4 Pa。

1.扫描电镜一套（要求主流品牌：蔡司、日立），配套能谱（牛津EDS）、镀膜仪、镶嵌机、金相磨抛机、控制电脑及电镜操纵杆；

2.发射源：非钨灯丝（如LaB6灯丝）；

3.分辨率： 2.*@*0kV；

4.加速电压范围：200V－30kV，10V步进连续可调；

5.放大倍数范围：7X－1,000,000X（底片放大倍率），连续可调，无需高倍率和低倍率转换；

6.电子束束流：0.5pA-5μA，连续可调；

7.电子束控制：具有分辨率模式、分析模式、大视野模式、大景深模式用于快速的样品定位；

8.样品室尺寸：直径＞300mm，高度＞220mm；

9.抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵，不需要冷却水，样品室最高真空度：优于6 x 10-4 Pa。