高真空磁控溅射薄膜沉积系统
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高真空磁控溅射薄膜沉积系统
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]066号 | ||
| 项目名称 | 中山大学微电子科 (略) 高真空磁控溅射薄膜沉积系统采购项目 | ||
| 申购主题 | 高真空磁控溅射薄膜沉积系统 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | * | ||
| 采购开始时间 | 2024-05-20 15:26 | 采购结束时间 | 2024-05-27 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后150天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | (略) 高新区唐家湾镇中山大学珠海校区瀚林2号楼A106室 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 高真空磁控溅射薄膜沉积系统 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 极限真空：优于 5x10-5 Pa；系统漏率：≤2x10-7 Pa.l/S (需提供附件证明）;系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压 12 小时后真空度小于10Pa。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 2 | 抽速测试：从大气抽到工作真空（5x10-5 Pa） 时间少于 30 分钟（干燥环境下） ；（需提供附件证明）。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 3 | 基片加热：炉丝最高加热温度不低于800℃, 控温精度小于±2℃。 | 重要 | 否 | 否 |
| 4 | 溅射尺寸：直径6英寸大工件台，兼容4英寸、2英寸、Φ45mm、Φ30mm， 以及小尺寸方形片。基片旋转速度：5～25 rpm连续可调，旋转轴水冷保护，转轴磁流体密封； | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 成膜质量：直径4英寸范围内均匀性优于±3%；（以Al靶材在通氮气情况下做工艺测试，样品直径为4英寸，镀膜厚度500nm左右进行标定，以验证设备的各项参数）。验收前，需提供现场实测的数据报告。 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 6 | 系统溅射真空度在0.2 Pa，溅射成膜致密，能溅射超薄氧化物膜层。 | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 基台配有负偏压电源，提高真空等离子体内带电粒子的能量。 | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | 优质304不锈钢真空室，尺寸约为500mm（宽）x 500mm（深）x 500mm（高）， 内外部电抛光处理；真空室顶部及底部有备用法兰接口以备将来使用；可拆卸不锈钢内衬；手拧拆卸方便清理；设备带支撑地脚和滚轮。 | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 高真空泵：脂润滑分子泵，抽速不小于1300L/S；高阀：8寸电动插板阀一套；机械泵：抽速不低于9L/S；真空测量：进口全真空全量程真空计；真空密封：采用无氧铜密封，门胶圈采用氟胶圈密封；电控气动粗抽阀，放气阀。 | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 气体控制： (略) ， (略) 通道备用，采用流量计控制进气，流量计最大流量分别不小于500/100sccm，2路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光EP管及VCR接头，混合后导入真空室前方进气；气流量精度不高于±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.)。质量流量控制器响应时间不超过1sec。 | 重要 | 否 | 否 |
| 11 | 直流电源3台：不小于500W的直流电源，功率输出：单输出 0~500W，最大可输出到 500W；模式： 功率调节、 电流调节或电压调节；显示精度：小于最大输出值的 2%；多级弧抑制及灭弧。 | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 射频电源1台：不小于750W的射频电源, 自动匹配，频率: 13.56MHz, 误差不超过± 0.005 %，最大输出功率(W): 600W，最小输出功率(W):2W，反射功率极限(W): 小于200W。 | 重要 | 否 | 否 |
| 13 | 溅射靶枪：4个3英寸圆形靶枪共焦向上（或向下）溅射，靶枪和工件距离 140-170 mm可调节，溅射靶角度精确可调，靶枪倾斜角度可调节（0-40度），每个靶枪带一个独立的电控气动挡板，配备自动切换器各靶可独立/顺次/共同工作。 | 重要 | 否 | 否 |
| 14 | PLC+电脑人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面；控制内容： 机械泵， 分子泵， 气动、 电磁阀门、 流量计、 真空计等等； 自动抽真空，自动排气等；具有完整的互锁保护（硬件、软件互锁），在手动和自动模式下，设备处于完整互锁保护下，保障人员和设备安全。 | 重要 | 否 | 否 |
| 15 | 附件参数： 1.静音空压机：提供干燥、 干净、 无水、 无油的压缩空气，压力0.55-0.6MPA； 2.电脑与显示屏：CPU型号Intel i5系列，内存类型DDR4，容量和频率16G 2400MHz，新卡芯片型号GMA HD 630，主机接口类型和数量10×USB(含2.0，3.1)，视频接口类型和数量1×VGA，2×DP。硬盘参数500G SSD，显示器的规格和分辨率:19.5英寸（宽屏16：9），分辨率不低于1600×900，VGA接口×1。 3.循环水机：控温范围约5-35℃，控温精度不高于±2℃、以及制冷量不低于3kw，水压的压力值不低于2kg/cm2。 4.静音冷冻干燥机：常压露点不高于-15，整机运行噪声不高于60dB。 | 重要 | 否 | 否 |
| 16 | 1.保修期内，保修承担方需为设备厂家；维修零部件需原装部件；2.设备厂家需每年至少提供一次免费上门检修服务。 | 重要 | 否 | 否 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 是 |
| 2 | 免费保修年限 | 3年 4年 5年 6年及以上 | 是 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]066号 | ||
| 项目名称 | 中山大学微电子科 (略) 高真空磁控溅射薄膜沉积系统采购项目 | ||
| 申购主题 | 高真空磁控溅射薄膜沉积系统 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | * | ||
| 采购开始时间 | 2024-05-20 15:26 | 采购结束时间 | 2024-05-27 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后150天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | (略) 高新区唐家湾镇中山大学珠海校区瀚林2号楼A106室 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 高真空磁控溅射薄膜沉积系统 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 极限真空：优于 5x10-5 Pa；系统漏率：≤2x10-7 Pa.l/S (需提供附件证明）;系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压 12 小时后真空度小于10Pa。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 2 | 抽速测试：从大气抽到工作真空（5x10-5 Pa） 时间少于 30 分钟（干燥环境下） ；（需提供附件证明）。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 3 | 基片加热：炉丝最高加热温度不低于800℃, 控温精度小于±2℃。 | 重要 | 否 | 否 |
| 4 | 溅射尺寸：直径6英寸大工件台，兼容4英寸、2英寸、Φ45mm、Φ30mm， 以及小尺寸方形片。基片旋转速度：5～25 rpm连续可调，旋转轴水冷保护，转轴磁流体密封； | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 成膜质量：直径4英寸范围内均匀性优于±3%；（以Al靶材在通氮气情况下做工艺测试，样品直径为4英寸，镀膜厚度500nm左右进行标定，以验证设备的各项参数）。验收前，需提供现场实测的数据报告。 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 6 | 系统溅射真空度在0.2 Pa，溅射成膜致密，能溅射超薄氧化物膜层。 | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 基台配有负偏压电源，提高真空等离子体内带电粒子的能量。 | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | 优质304不锈钢真空室，尺寸约为500mm（宽）x 500mm（深）x 500mm（高）， 内外部电抛光处理；真空室顶部及底部有备用法兰接口以备将来使用；可拆卸不锈钢内衬；手拧拆卸方便清理；设备带支撑地脚和滚轮。 | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 高真空泵：脂润滑分子泵，抽速不小于1300L/S；高阀：8寸电动插板阀一套；机械泵：抽速不低于9L/S；真空测量：进口全真空全量程真空计；真空密封：采用无氧铜密封，门胶圈采用氟胶圈密封；电控气动粗抽阀，放气阀。 | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 气体控制： (略) ， (略) 通道备用，采用流量计控制进气，流量计最大流量分别不小于500/100sccm，2路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光EP管及VCR接头，混合后导入真空室前方进气；气流量精度不高于±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.)。质量流量控制器响应时间不超过1sec。 | 重要 | 否 | 否 |
| 11 | 直流电源3台：不小于500W的直流电源，功率输出：单输出 0~500W，最大可输出到 500W；模式： 功率调节、 电流调节或电压调节；显示精度：小于最大输出值的 2%；多级弧抑制及灭弧。 | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 射频电源1台：不小于750W的射频电源, 自动匹配，频率: 13.56MHz, 误差不超过± 0.005 %，最大输出功率(W): 600W，最小输出功率(W):2W，反射功率极限(W): 小于200W。 | 重要 | 否 | 否 |
| 13 | 溅射靶枪：4个3英寸圆形靶枪共焦向上（或向下）溅射，靶枪和工件距离 140-170 mm可调节，溅射靶角度精确可调，靶枪倾斜角度可调节（0-40度），每个靶枪带一个独立的电控气动挡板，配备自动切换器各靶可独立/顺次/共同工作。 | 重要 | 否 | 否 |
| 14 | PLC+电脑人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面；控制内容： 机械泵， 分子泵， 气动、 电磁阀门、 流量计、 真空计等等； 自动抽真空，自动排气等；具有完整的互锁保护（硬件、软件互锁），在手动和自动模式下，设备处于完整互锁保护下，保障人员和设备安全。 | 重要 | 否 | 否 |
| 15 | 附件参数： 1.静音空压机：提供干燥、 干净、 无水、 无油的压缩空气，压力0.55-0.6MPA； 2.电脑与显示屏：CPU型号Intel i5系列，内存类型DDR4，容量和频率16G 2400MHz，新卡芯片型号GMA HD 630，主机接口类型和数量10×USB(含2.0，3.1)，视频接口类型和数量1×VGA，2×DP。硬盘参数500G SSD，显示器的规格和分辨率:19.5英寸（宽屏16：9），分辨率不低于1600×900，VGA接口×1。 3.循环水机：控温范围约5-35℃，控温精度不高于±2℃、以及制冷量不低于3kw，水压的压力值不低于2kg/cm2。 4.静音冷冻干燥机：常压露点不高于-15，整机运行噪声不高于60dB。 | 重要 | 否 | 否 |
| 16 | 1.保修期内，保修承担方需为设备厂家；维修零部件需原装部件；2.设备厂家需每年至少提供一次免费上门检修服务。 | 重要 | 否 | 否 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 是 |
| 2 | 免费保修年限 | 3年 4年 5年 6年及以上 | 是 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
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