深圳大学-竞价公告
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深圳大学-竞价公告
申购单号:CF*
申购主题:光刻工艺服务
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 光刻工艺服务 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | |||
| 型号 | |||
| 规格参数 | 1. 需按照深大提供的GDS文件进行光刻工艺服务2.需采用无掩膜紫外光刻机进行加工3.工艺需求参数：a. 需采用405 LED光源对样品做光刻工艺，光刻速率需≥3 mm2/min，b.等间距线宽≤1 um，特征尺寸≤800 nm：c. 样品厚度：≥8 mm，样品尺寸：≥130 mmd. 套刻精度≤ 400nm (5mm*5mm)4.显影服务：根据图纸文件，对提供的样品进行显影，.MIF 显影液：2.38%TMAH；5.3D检测：显微镜下的光学检测，需清晰可见提供的光刻胶的厚度、陡直度以及3D形貌。6.以上所有测试，供应商需提供工艺相关的技术文档、设计规则文件和技术服务。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CF*
申购主题:光刻工艺服务
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 光刻工艺服务 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | |||
| 型号 | |||
| 规格参数 | 1. 需按照深大提供的GDS文件进行光刻工艺服务2.需采用无掩膜紫外光刻机进行加工3.工艺需求参数：a. 需采用405 LED光源对样品做光刻工艺，光刻速率需≥3 mm2/min，b.等间距线宽≤1 um，特征尺寸≤800 nm：c. 样品厚度：≥8 mm，样品尺寸：≥130 mmd. 套刻精度≤ 400nm (5mm*5mm)4.显影服务：根据图纸文件，对提供的样品进行显影，.MIF 显影液：2.38%TMAH；5.3D检测：显微镜下的光学检测，需清晰可见提供的光刻胶的厚度、陡直度以及3D形貌。6.以上所有测试，供应商需提供工艺相关的技术文档、设计规则文件和技术服务。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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