多功能光电器件制备系统采购

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多功能光电器件制备系统采购


项目名称多功能光电器件制备系统项目编号JLU-KC*
公示开始日期2024-05-24 14:21:59公示截止日期2024-05-29 15:00:00
采购单位吉林大学付款方式货到验收合格办理相关手续后100%付款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后3个工作日内到货时间要求国内合同签订后90个工作日内
预算￥ 840,000
发票要求增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发票）
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

收货地址吉林 (略)

采购清单1
采购物品采购数量计量单位所属分类
多功能光电器件制备系统1套电子光学及离子光学仪器
品牌米开罗那
规格型号Universal
技术参数主要配置包括：多源有机金属气相沉积系统、超级净化手套箱系统、旋涂仪和源表
1. 多源有机金属气相沉积系统
1.1基本组分参数
1.1.1蒸镀腔为方形腔体，尺寸≥500 mm × 500 mm × 650 mm。
1.1.2蒸镀腔可与手套箱连接，可在手套箱中直接取放基片和添加镀料等操作。
1.1.3抽气系统采用分子泵(抽速: ≥1300 L/S) +机械泵(抽速: ≥30 m/h) 组合。
1.1.4腔体的极限真空≥8 × 10-5 Pa, 在保护下重新抽真空可在12分钟内达到的真空度为:5 × 10-4 Pa。
1.1.5基片架可同时放置4个基片(32*32 mm)，每个基片可独立更换3种掩膜图形，且掩膜板和基片的间隙为0，或同时蒸镀10个32*32 mm的基片。
1.1.6蒸镀腔中至少有6套有机蒸发源和2套有机蒸发电源，最高温度≥800℃。
1.1.7蒸镀腔中至少有2个金属蒸发源和1套金属蒸发电源，最大功率≥1.6 KW (电流200 A，电压8 V)。
1.1.8 包含至少1台膜厚仪和4套水冷检测探头。
1.2真空室
真空室为方形腔体，全部采用SUS304不锈钢制成，腔体的极限真空至少为8 × 10-5 Pa，抽真空时可在15分钟内达到的真空度为：5 × 10-4 Pa。
1.3基片装置
1.3.1 磁力传动的旋转基片架至少可放4个基片，基片最大尺寸为32*32 mm，基片架转速为0-30转/分(转速可调)，掩膜板与基片间的间隙为0。
1.3.2 可蒸金属:以铝为标准厚度为30 ？。
1.3.3 蒸镀速率: 0.5-10 ？ /s稳定可控，蒸镀速率波动≤士0.1 ？/s。
1.3.4 单片内膜厚匀性:士3%, 测试方法，多点测量: n个值相加/n (n≥9) ,
1.3.5 单片尺寸:不大于100 mm × 100 mm。
1.4 蒸发装置
1.4.1 设备至少有6个蒸发源，其中束源炉式有机蒸发源至少4套，电极式金属蒸发源至少2套。
1.4.2 蒸发源都配有独立的挡板，可单独打开或关闭。每个源有独立防污罩，防止源与源之间的污染。
1.4.3 有机源加热温度均匀，寿命长达1000小时以上，温度至少可达到800°C。
1.4.4 金属源采用水冷电极，蒸发舟尺寸为90 mm。
1.4.5 有机蒸发电源只扫2套，采用控温表控温，控温精度≤土1°C.
1.4.6 金属蒸发电源至少1套，功率≥1.6 KW。
1.5 控制系统
设备采用PLC触摸屏控制，设备的所有操作在触摸屏上完成。触摸屏尺寸为10英寸，控制内容包括:机械泵、分子泵、阀的启、停；在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统;基片台的旋转，基片的选择。基片总挡板的开关。蒸发源的控制，蒸发源挡板的开关。
2. 超级净化手套箱系统
2.1 主要组成和基本配置：
集成有封闭的箱体（带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗）、过渡仓、循环净化单元(单柱)、PLC控制及触摸屏操作系统，真空系统、显示系统、支架等
2.1.1 1个304不锈钢的箱体，由2节1220mm的箱体组成，名义尺寸总长2440mm，宽750mm，高900mm，厚度3mm
2.1.2 1个304不锈钢的大过渡仓，直径360mm，长度600mm，右侧
2.1.3 1个304不锈钢的小过渡仓，直径150mm，长度300mm，右侧
2.1.4 2个带2个手套口前窗，材质为钢化玻璃
2.1.5 2副*基橡胶手套
2.1.6 2套照明系统
2.1.7 1个箱内电源接口
2.1.8 1台高性能的循环风机
2.1.9 1个净化柱
2.1.10 1台真空泵
2.1.11 1套PLC控制系统
2.1.12 1个触摸屏
2.1.13 2套支架脚轮
2.1.14 1个脚踏开关
2.1.15 1台水分析仪
2.1.16 1台氧分析仪
2.1.17 1套箱内有机溶剂吸附器
2.2 主要参数：
水氧指标：小于1ppm
泄漏率：小于0.001vol%/h
2.3 手套箱箱体
2.3.1 箱体：
材料：304不锈钢，厚度3mm
内表面：不锈钢拉丝处理
外表面：喷塑，白色
2.3.2 前窗：倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度8mm。玻璃视窗采用实芯O型密封圈
（真空密封方式）法兰视窗结构，达到无泄露。
2.3.3 手套口：材料为铝合金，原色氧化，O型圈密封
2.3.4 手套：*基橡胶，厚度0.4mm，直径8”，长度32”
2.3.5 过滤器：规格0.3微米，1个气体入口和1个气体出口
2.3.6 搁物架：单面手套箱为3层，可调节式；双面手套箱为2层，固定式；材料为304不锈钢
2.3.7 箱体照明：LED灯，安装在每块玻璃窗前上方，具有漫反射功能
2.3.8 接口：备用接口大于1个
2.4 大过渡仓
2.4.1 过渡仓
材料：304不锈钢
表面：内表面为拉丝处理，外表面喷塑（白色）
2.4.2 附件
滑动托盘：304不锈钢，易拆卸
舱门：双门，厚度10mm，竖直操作，带提升机构
压力表：模拟显示
2.4.3 控制
电磁阀触摸屏自动操作
2.5 小过渡仓
2.5.1 过渡仓
进入手套箱部分长度100mm
材料：304不锈钢
表面：内表面为拉丝处理，外表面喷塑（白色）
2.5.2 附件
滑动托盘：304不锈钢，易拆卸
舱门：双门，翻盖式
压力表：模拟显示
2.5.3控制
手动阀手动操作
2.6 气体净化循环系统
2.6.1 净化柱
功能：气体密闭，除水、除氧
容器材料：304不锈钢
净化材料：铜触媒：5kg、分子筛：5kg
净化能力：除氧：60L、除水：2Kg
2.6.2 循环系统
工作气体：氮气、氩气
循环能力：集成风机流量90m3/h，加装变频
2.6.3 再生
操作：PLC自动控制再生过程
再生气体：工作气体与氢气混合气体，(氢气5-10%)
2.6.4 阀门
主阀：DN40KF，电气动高真空挡板阀
控制阀：电磁集成阀
2.6.5 控制系统：
功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护；单元控制采用西门子PLC触摸屏
脚踏板：控制箱体压力，方便操作升压和降压
2.6.6 显示系统：
采用西门子PLC触摸屏，显示运行状态，箱体压力、系统记录等
2.7 真空系统控制情况
英国EDWARDS真空泵，旋片泵，带油雾过滤器，气振控制，可手动或通过PLC启动，流量12m3/h，可对过渡仓抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极限真空度≤2x10-1pa
2.8 水分析仪
采用MICHELL品牌露点变送器，触摸屏显示，薄膜氧化铝湿度传感器技术，测量范围为0-1000ppm，精度0.1ppm
2.9 氧分析仪
采用电化学燃料电池，测量量程：0-10ppm、100ppm、1000ppm、0-1%、0-25%，全量程精度：±1%F.S
2.10 箱内有机溶剂吸附器
放置箱内，尺寸：直径136mm,高度256mm，填充2kg活性炭，可快速更换材料，并且不破坏高纯气氛
3. 旋涂仪
*3.1 转速可控范围：100-*RPM，转速分辨率：1RPM;实时转速精度±1RPM
3.2 最大单步步长3000S，旋转时间分辨率0.1S
3.3 加速度可控范围：100-*RPM/S
3.4 可处理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圆晶底物
3.5 4.3寸全彩触摸屏，提供触屏笔操作，中英文界面可选
3.6 可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序
3.7 HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能
3.8 SUS耐腐蚀不锈钢机身，耐溶剂性PC透明盖子
3.9 100W直流无刷电机，宽电压适用：*V输入
3.10 带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全
3.11 标配三种规格铝合金真空载物盘（直径10mm、25mm、2英寸）
*3.12 防堵胶功能设计，真空通道进胶安全保护功能，带一只自动点胶端口可升级自动点胶功能，可以选择嵌入式
4. 源表
4.1 最大测量显示分辨率：六位半；
4.2 最高年测量精度可达：0.012%；
4.3 工作方式：四象限工作，无需更换端子可实现正负输出
4.4 DCV编程分辨率：10μV；
4.5 DCV量程范围：±200V
4.6 DCI测量分辨率：1pA；
4.7 DCI量程范围：±1A；
4.8 四位半分辨率下通过GPIB线缆可达1700次读数/秒的速度
4.9 内置比较器，支持快速PASS/FAIL测试
4.10 可选接触检查功能
4.11 通讯接口：GPIB、RS232、Trigger Link接口
4.12 在GPIB通讯下，支持免费的IV扫描软件进行源设置和数据和图形的保存
4.13 保修：1年
售后服务 (略) 点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:三年;服务时限:报修后24小时;质保期:一年;

吉林大学


2024-05-24 14:21:59


项目名称多功能光电器件制备系统项目编号JLU-KC*
公示开始日期2024-05-24 14:21:59公示截止日期2024-05-29 15:00:00
采购单位吉林大学付款方式货到验收合格办理相关手续后100%付款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后3个工作日内到货时间要求国内合同签订后90个工作日内
预算￥ 840,000
发票要求增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发票）
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

收货地址吉林 (略)

采购清单1
采购物品采购数量计量单位所属分类
多功能光电器件制备系统1套电子光学及离子光学仪器
品牌米开罗那
规格型号Universal
技术参数主要配置包括：多源有机金属气相沉积系统、超级净化手套箱系统、旋涂仪和源表
1. 多源有机金属气相沉积系统
1.1基本组分参数
1.1.1蒸镀腔为方形腔体，尺寸≥500 mm × 500 mm × 650 mm。
1.1.2蒸镀腔可与手套箱连接，可在手套箱中直接取放基片和添加镀料等操作。
1.1.3抽气系统采用分子泵(抽速: ≥1300 L/S) +机械泵(抽速: ≥30 m/h) 组合。
1.1.4腔体的极限真空≥8 × 10-5 Pa, 在保护下重新抽真空可在12分钟内达到的真空度为:5 × 10-4 Pa。
1.1.5基片架可同时放置4个基片(32*32 mm)，每个基片可独立更换3种掩膜图形，且掩膜板和基片的间隙为0，或同时蒸镀10个32*32 mm的基片。
1.1.6蒸镀腔中至少有6套有机蒸发源和2套有机蒸发电源，最高温度≥800℃。
1.1.7蒸镀腔中至少有2个金属蒸发源和1套金属蒸发电源，最大功率≥1.6 KW (电流200 A，电压8 V)。
1.1.8 包含至少1台膜厚仪和4套水冷检测探头。
1.2真空室
真空室为方形腔体，全部采用SUS304不锈钢制成，腔体的极限真空至少为8 × 10-5 Pa，抽真空时可在15分钟内达到的真空度为：5 × 10-4 Pa。
1.3基片装置
1.3.1 磁力传动的旋转基片架至少可放4个基片，基片最大尺寸为32*32 mm，基片架转速为0-30转/分(转速可调)，掩膜板与基片间的间隙为0。
1.3.2 可蒸金属:以铝为标准厚度为30 ？。
1.3.3 蒸镀速率: 0.5-10 ？ /s稳定可控，蒸镀速率波动≤士0.1 ？/s。
1.3.4 单片内膜厚匀性:士3%, 测试方法，多点测量: n个值相加/n (n≥9) ,
1.3.5 单片尺寸:不大于100 mm × 100 mm。
1.4 蒸发装置
1.4.1 设备至少有6个蒸发源，其中束源炉式有机蒸发源至少4套，电极式金属蒸发源至少2套。
1.4.2 蒸发源都配有独立的挡板，可单独打开或关闭。每个源有独立防污罩，防止源与源之间的污染。
1.4.3 有机源加热温度均匀，寿命长达1000小时以上，温度至少可达到800°C。
1.4.4 金属源采用水冷电极，蒸发舟尺寸为90 mm。
1.4.5 有机蒸发电源只扫2套，采用控温表控温，控温精度≤土1°C.
1.4.6 金属蒸发电源至少1套，功率≥1.6 KW。
1.5 控制系统
设备采用PLC触摸屏控制，设备的所有操作在触摸屏上完成。触摸屏尺寸为10英寸，控制内容包括:机械泵、分子泵、阀的启、停；在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统;基片台的旋转，基片的选择。基片总挡板的开关。蒸发源的控制，蒸发源挡板的开关。
2. 超级净化手套箱系统
2.1 主要组成和基本配置：
集成有封闭的箱体（带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗）、过渡仓、循环净化单元(单柱)、PLC控制及触摸屏操作系统，真空系统、显示系统、支架等
2.1.1 1个304不锈钢的箱体，由2节1220mm的箱体组成，名义尺寸总长2440mm，宽750mm，高900mm，厚度3mm
2.1.2 1个304不锈钢的大过渡仓，直径360mm，长度600mm，右侧
2.1.3 1个304不锈钢的小过渡仓，直径150mm，长度300mm，右侧
2.1.4 2个带2个手套口前窗，材质为钢化玻璃
2.1.5 2副*基橡胶手套
2.1.6 2套照明系统
2.1.7 1个箱内电源接口
2.1.8 1台高性能的循环风机
2.1.9 1个净化柱
2.1.10 1台真空泵
2.1.11 1套PLC控制系统
2.1.12 1个触摸屏
2.1.13 2套支架脚轮
2.1.14 1个脚踏开关
2.1.15 1台水分析仪
2.1.16 1台氧分析仪
2.1.17 1套箱内有机溶剂吸附器
2.2 主要参数：
水氧指标：小于1ppm
泄漏率：小于0.001vol%/h
2.3 手套箱箱体
2.3.1 箱体：
材料：304不锈钢，厚度3mm
内表面：不锈钢拉丝处理
外表面：喷塑，白色
2.3.2 前窗：倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度8mm。玻璃视窗采用实芯O型密封圈
（真空密封方式）法兰视窗结构，达到无泄露。
2.3.3 手套口：材料为铝合金，原色氧化，O型圈密封
2.3.4 手套：*基橡胶，厚度0.4mm，直径8”，长度32”
2.3.5 过滤器：规格0.3微米，1个气体入口和1个气体出口
2.3.6 搁物架：单面手套箱为3层，可调节式；双面手套箱为2层，固定式；材料为304不锈钢
2.3.7 箱体照明：LED灯，安装在每块玻璃窗前上方，具有漫反射功能
2.3.8 接口：备用接口大于1个
2.4 大过渡仓
2.4.1 过渡仓
材料：304不锈钢
表面：内表面为拉丝处理，外表面喷塑（白色）
2.4.2 附件
滑动托盘：304不锈钢，易拆卸
舱门：双门，厚度10mm，竖直操作，带提升机构
压力表：模拟显示
2.4.3 控制
电磁阀触摸屏自动操作
2.5 小过渡仓
2.5.1 过渡仓
进入手套箱部分长度100mm
材料：304不锈钢
表面：内表面为拉丝处理，外表面喷塑（白色）
2.5.2 附件
滑动托盘：304不锈钢，易拆卸
舱门：双门，翻盖式
压力表：模拟显示
2.5.3控制
手动阀手动操作
2.6 气体净化循环系统
2.6.1 净化柱
功能：气体密闭，除水、除氧
容器材料：304不锈钢
净化材料：铜触媒：5kg、分子筛：5kg
净化能力：除氧：60L、除水：2Kg
2.6.2 循环系统
工作气体：氮气、氩气
循环能力：集成风机流量90m3/h，加装变频
2.6.3 再生
操作：PLC自动控制再生过程
再生气体：工作气体与氢气混合气体，(氢气5-10%)
2.6.4 阀门
主阀：DN40KF，电气动高真空挡板阀
控制阀：电磁集成阀
2.6.5 控制系统：
功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护；单元控制采用西门子PLC触摸屏
脚踏板：控制箱体压力，方便操作升压和降压
2.6.6 显示系统：
采用西门子PLC触摸屏，显示运行状态，箱体压力、系统记录等
2.7 真空系统控制情况
英国EDWARDS真空泵，旋片泵，带油雾过滤器，气振控制，可手动或通过PLC启动，流量12m3/h，可对过渡仓抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极限真空度≤2x10-1pa
2.8 水分析仪
采用MICHELL品牌露点变送器，触摸屏显示，薄膜氧化铝湿度传感器技术，测量范围为0-1000ppm，精度0.1ppm
2.9 氧分析仪
采用电化学燃料电池，测量量程：0-10ppm、100ppm、1000ppm、0-1%、0-25%，全量程精度：±1%F.S
2.10 箱内有机溶剂吸附器
放置箱内，尺寸：直径136mm,高度256mm，填充2kg活性炭，可快速更换材料，并且不破坏高纯气氛
3. 旋涂仪
*3.1 转速可控范围：100-*RPM，转速分辨率：1RPM;实时转速精度±1RPM
3.2 最大单步步长3000S，旋转时间分辨率0.1S
3.3 加速度可控范围：100-*RPM/S
3.4 可处理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圆晶底物
3.5 4.3寸全彩触摸屏，提供触屏笔操作，中英文界面可选
3.6 可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序
3.7 HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能
3.8 SUS耐腐蚀不锈钢机身，耐溶剂性PC透明盖子
3.9 100W直流无刷电机，宽电压适用：*V输入
3.10 带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全
3.11 标配三种规格铝合金真空载物盘（直径10mm、25mm、2英寸）
*3.12 防堵胶功能设计，真空通道进胶安全保护功能，带一只自动点胶端口可升级自动点胶功能，可以选择嵌入式
4. 源表
4.1 最大测量显示分辨率：六位半；
4.2 最高年测量精度可达：0.012%；
4.3 工作方式：四象限工作，无需更换端子可实现正负输出
4.4 DCV编程分辨率：10μV；
4.5 DCV量程范围：±200V
4.6 DCI测量分辨率：1pA；
4.7 DCI量程范围：±1A；
4.8 四位半分辨率下通过GPIB线缆可达1700次读数/秒的速度
4.9 内置比较器，支持快速PASS/FAIL测试
4.10 可选接触检查功能
4.11 通讯接口：GPIB、RS232、Trigger Link接口
4.12 在GPIB通讯下，支持免费的IV扫描软件进行源设置和数据和图形的保存
4.13 保修：1年
售后服务 (略) 点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:三年;服务时限:报修后24小时;质保期:一年;

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2024-05-24 14:21:59

    
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