PECVD系统
PECVD系统
序号 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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1 | PECVD系统 | 1/台 | 合肥科晶 | GSL-1500X-OTF-H2 | 1.电源:AC220V 50/60HZ · 功率:6KW · 最高温度:1500℃(<30min) 2.连续工作温度:1400℃ 3.加热元件:硅碳棒 4.推荐升温速率:1400℃以下≤10℃/min,1400℃以上≤5℃/min · 热电偶:S 型 5. 加热区长度:390mm温控系统: 6.包含一款 858P 型温度控制器;7. PID 自动控温系统; 8.智能化 50 段可编程控制; 9. 内置过热保护和热电偶故障报警; 10.控温精度:±1℃; 11.默认 DB9 PC 通信连接端口; 12通过 MET 认证; 13.输出功率:0-500W 可调 14.射频频率:13.56 MHZ 15.匹配:自动匹配 16 噪音:<50dB 17.冷却方式:风冷 18.输入电压:AC 180-250V | 按行业标准提供服务 |
序号 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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1 | PECVD系统 | 1/台 | 合肥科晶 | GSL-1500X-OTF-H2 | 1.电源:AC220V 50/60HZ · 功率:6KW · 最高温度:1500℃(<30min) 2.连续工作温度:1400℃ 3.加热元件:硅碳棒 4.推荐升温速率:1400℃以下≤10℃/min,1400℃以上≤5℃/min · 热电偶:S 型 5. 加热区长度:390mm温控系统: 6.包含一款 858P 型温度控制器;7. PID 自动控温系统; 8.智能化 50 段可编程控制; 9. 内置过热保护和热电偶故障报警; 10.控温精度:±1℃; 11.默认 DB9 PC 通信连接端口; 12通过 MET 认证; 13.输出功率:0-500W 可调 14.射频频率:13.56 MHZ 15.匹配:自动匹配 16 噪音:<50dB 17.冷却方式:风冷 18.输入电压:AC 180-250V | 按行业标准提供服务 |
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