高真空金属有机蒸镀系统
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高真空金属有机蒸镀系统
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]087号 | ||
| 项目名称 | 中山大学 (略) 高真空金属有机蒸镀系统采购项目 | ||
| 申购主题 | 高真空金属有机蒸镀系统 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | * | ||
| 采购开始时间 | 2024-06-03 18:45 | 采购结束时间 | 2024-06-10 12:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后45天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | (略) 光明区新湖街道中山大学理学园801 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 高真空金属有机蒸镀系统 |
| 数量 | 1套 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 1. 真空腔室：体积不小于*cm^3，立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱内部；前开门便于蒸发材料和样片在保护气氛下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离）；整机控制位于手套箱下面。 | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 2．▲样品台：可抽拉式，面积不小于440cm2，旋转：0-20r/min可调，配有气动基片台挡板； | 非常重要 | 否 | 是 |
| 3 | 3. 真空系统：机械泵+分子泵+高真空插板阀高真空系统，真空极限可达5.0×10^-5Pa（手套箱气氛条件下）；真空测量“两低一高”数显复合真空计； | 重要 | 否 | 否 |
| 4 | 4. 真空抽速：大气～5×10^-4Pa ≤ 40min（手套箱气氛中）；关机12 小时≤10 Pa（新设备空载，极限真空后关机） | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 5. 蒸发源：配4组水冷式金属蒸发源，2组PID控温束源炉有机蒸发源，熔点500℃以内可蒸发的有机物均可；多源共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，配多组气动挡板及源间防污隔板；蒸发源及电源：配 2 组金属蒸发源，2 组束源式有机蒸发源。 | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 6. 蒸发电源：直流蒸发电源2台，0W～2000W连续可调；PID控温有机蒸发电源2台，室温-500℃连续，升温速率0-100℃/min可调；具有手动和自动模式可实现一键启动或停止自动控制功能，控温精度不低于为±1℃。 | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 7. 膜厚控制系统配膜厚仪，4个水冷探头可在线监测蒸发速率和膜厚；控制方式采用PLC+触摸屏全自动控制系统，可输入速率及终厚，PID 调节自动控制蒸发电源输出；速率测量精度 0.01 埃；配备膜厚 1 台，配 1 只水冷探头；显示控制精度 0.01 埃； | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | 8. 冷水机参数：（1）.控温范围：3-45℃；（2）.控温精度：±（1-4）℃；（3）.储水量：4.5L；（4）.制冷量：580W；（5）.最大流量：5L/min；（6）.最大扬程：1.5m； | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 9. 报警及保护：可实现缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护，对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 1 真空腔室：1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢 ； 2 分子泵：脂润滑分子泵； 3 机械泵，8L/s ； 4 真空规“两低一高”数显复合真空计； 5 蒸发源4组水冷金属蒸发源，金属舟式源；2组束源炉式有机蒸发源，配石英坩埚 ； 6 蒸发电源2KW金属蒸发源PID控温有机蒸发电源，室温-500℃； 7 膜厚仪，4水冷探头，监测精度0.01? ； 8 控制系统PLC+触摸屏全自动控制系统； 9 冷水机1P 10 前级阀，气动挡板阀； 11 旁路阀：气动挡板阀； 12 挡板阀； 13 放气阀Φ10mm，电磁截止阀； 14 基片台可抽拉式，面积不小于440cm^2，可旋转； 15 (略) 波纹管、真空管道等； 16 备件铜垫圈及氟密封圈全套等。 | 重要 | 否 | 否 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 是 |
| 2 | 免费保修年限 | 3年 4年 5年 6年及以上 | 是 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]087号 | ||
| 项目名称 | 中山大学 (略) 高真空金属有机蒸镀系统采购项目 | ||
| 申购主题 | 高真空金属有机蒸镀系统 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | * | ||
| 采购开始时间 | 2024-06-03 18:45 | 采购结束时间 | 2024-06-10 12:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后45天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | (略) 光明区新湖街道中山大学理学园801 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 高真空金属有机蒸镀系统 |
| 数量 | 1套 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 1. 真空腔室：体积不小于*cm^3，立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱内部；前开门便于蒸发材料和样片在保护气氛下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离）；整机控制位于手套箱下面。 | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 2．▲样品台：可抽拉式，面积不小于440cm2，旋转：0-20r/min可调，配有气动基片台挡板； | 非常重要 | 否 | 是 |
| 3 | 3. 真空系统：机械泵+分子泵+高真空插板阀高真空系统，真空极限可达5.0×10^-5Pa（手套箱气氛条件下）；真空测量“两低一高”数显复合真空计； | 重要 | 否 | 否 |
| 4 | 4. 真空抽速：大气～5×10^-4Pa ≤ 40min（手套箱气氛中）；关机12 小时≤10 Pa（新设备空载，极限真空后关机） | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 5. 蒸发源：配4组水冷式金属蒸发源，2组PID控温束源炉有机蒸发源，熔点500℃以内可蒸发的有机物均可；多源共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，配多组气动挡板及源间防污隔板；蒸发源及电源：配 2 组金属蒸发源，2 组束源式有机蒸发源。 | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 6. 蒸发电源：直流蒸发电源2台，0W～2000W连续可调；PID控温有机蒸发电源2台，室温-500℃连续，升温速率0-100℃/min可调；具有手动和自动模式可实现一键启动或停止自动控制功能，控温精度不低于为±1℃。 | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 7. 膜厚控制系统配膜厚仪，4个水冷探头可在线监测蒸发速率和膜厚；控制方式采用PLC+触摸屏全自动控制系统，可输入速率及终厚，PID 调节自动控制蒸发电源输出；速率测量精度 0.01 埃；配备膜厚 1 台，配 1 只水冷探头；显示控制精度 0.01 埃； | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | 8. 冷水机参数：（1）.控温范围：3-45℃；（2）.控温精度：±（1-4）℃；（3）.储水量：4.5L；（4）.制冷量：580W；（5）.最大流量：5L/min；（6）.最大扬程：1.5m； | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 9. 报警及保护：可实现缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护，对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 1 真空腔室：1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢 ； 2 分子泵：脂润滑分子泵； 3 机械泵，8L/s ； 4 真空规“两低一高”数显复合真空计； 5 蒸发源4组水冷金属蒸发源，金属舟式源；2组束源炉式有机蒸发源，配石英坩埚 ； 6 蒸发电源2KW金属蒸发源PID控温有机蒸发电源，室温-500℃； 7 膜厚仪，4水冷探头，监测精度0.01? ； 8 控制系统PLC+触摸屏全自动控制系统； 9 冷水机1P 10 前级阀，气动挡板阀； 11 旁路阀：气动挡板阀； 12 挡板阀； 13 放气阀Φ10mm，电磁截止阀； 14 基片台可抽拉式，面积不小于440cm^2，可旋转； 15 (略) 波纹管、真空管道等； 16 备件铜垫圈及氟密封圈全套等。 | 重要 | 否 | 否 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 是 |
| 2 | 免费保修年限 | 3年 4年 5年 6年及以上 | 是 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
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