中南大学-竞价公告
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中南大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:双靶磁控溅射镀膜仪
采购单位:中南大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布中标结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:湖南省/ (略) /岳麓区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 双靶磁控溅射镀膜仪 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 不限 | ||
| 型号 | 不限 | ||
| 规格参数 | 1.电源电压：220V2.极限真空度：优于10-5Pa，进口分子泵3.样品台加热温度：室温~500℃4.靶枪数量：2个，一个直流，一个射频5.靶枪冷却方式：水冷6.靶材尺寸：?2″，厚度0.1-5mm7.载样台：~?100mm （80~140mm之间均可以）8.带膜厚监测仪9.膜厚不均匀性：≤±3%10.载样台转速：转速在一定范围内可调11.工作气体：Ar等惰性气体12.可镀金属、非金属、铁电等材料，如银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等13.可移动的柜/箱式整机设备14.触屏或电脑软件自动化控制系统 | ||
| 质保及售后服务 | 质保期为2年。 | ||
申购单号:CB*
申购主题:双靶磁控溅射镀膜仪
采购单位:中南大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布中标结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:湖南省/ (略) /岳麓区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 双靶磁控溅射镀膜仪 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 不限 | ||
| 型号 | 不限 | ||
| 规格参数 | 1.电源电压：220V2.极限真空度：优于10-5Pa，进口分子泵3.样品台加热温度：室温~500℃4.靶枪数量：2个，一个直流，一个射频5.靶枪冷却方式：水冷6.靶材尺寸：?2″，厚度0.1-5mm7.载样台：~?100mm （80~140mm之间均可以）8.带膜厚监测仪9.膜厚不均匀性：≤±3%10.载样台转速：转速在一定范围内可调11.工作气体：Ar等惰性气体12.可镀金属、非金属、铁电等材料，如银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等13.可移动的柜/箱式整机设备14.触屏或电脑软件自动化控制系统 | ||
| 质保及售后服务 | 质保期为2年。 | ||
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