高真空电阻蒸发镀膜设备采购

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高真空电阻蒸发镀膜设备采购


高真空电阻蒸发镀膜设备(GY202401949)采购公告
发布时间:2024-06-12 15:04:13阅读量:24

项目名称高真空电阻蒸发镀膜设备项目编号GY*
公告开始日期2024-06-12 15:04:13公告截止日期2024-06-17 16:00:00
采购单位化 (略) 付款方式货到验收合格后付款
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求签订合同后60天
预算总价¥ *.00
发票要求
收货地址山东大学
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
高真空电阻蒸发镀膜设备1电气物理设备

品牌北京 (略)
型号VZZ-400
预算单价¥ *.00
技术参数及配置要求1) 真空腔室: Φ400×H500mm;
2) 真空极限:优于 2.5×10-5Pa;
3) 抽速:分子泵完全启动,抽至 4.0×10-4Pa≤15min;
4) 基片台尺寸:最大可镀基片尺寸/面积: 112×112mm,该范围内可装卡 15~25mm 方形 ITO/FTO 玻璃/硅片 16~25 片;样品台配有气动挡板,磁流体密封;样品台旋转:旋转速度 0-25 转/分连续可调,磁流体密封,光控定位,设定在前门中
心位置方便取样;样品掩膜:提供一块掩膜板(掩膜图案客户提供);样品台水冷: 采用基片台背板通冷却循环水强制水冷;
5) 蒸发源及电源:安装 4 组蒸发源,其中 3 组舟式/挂丝式金属蒸发源, 1 组束源炉式有机蒸发源;金属用蒸发电源: 2.2Kw 1 台;有机源用蒸发电源: 1 组温控型电源,最高加热温度 600℃;
6) 膜厚监控:采用薄膜沉积监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚;
7) 控制方式: PLC 手自动控制,触摸屏操作;
8) 特别定制:掩膜板一块
售后服务 (略) 点:当地;质保期限:2年;响应期限:报修后24小时;

2024-06-12 15:04:13


高真空电阻蒸发镀膜设备(GY202401949)采购公告
发布时间:2024-06-12 15:04:13阅读量:24

项目名称高真空电阻蒸发镀膜设备项目编号GY*
公告开始日期2024-06-12 15:04:13公告截止日期2024-06-17 16:00:00
采购单位化 (略) 付款方式货到验收合格后付款
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求签订合同后60天
预算总价¥ *.00
发票要求
收货地址山东大学
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
高真空电阻蒸发镀膜设备1电气物理设备

品牌北京 (略)
型号VZZ-400
预算单价¥ *.00
技术参数及配置要求1) 真空腔室: Φ400×H500mm;
2) 真空极限:优于 2.5×10-5Pa;
3) 抽速:分子泵完全启动,抽至 4.0×10-4Pa≤15min;
4) 基片台尺寸:最大可镀基片尺寸/面积: 112×112mm,该范围内可装卡 15~25mm 方形 ITO/FTO 玻璃/硅片 16~25 片;样品台配有气动挡板,磁流体密封;样品台旋转:旋转速度 0-25 转/分连续可调,磁流体密封,光控定位,设定在前门中
心位置方便取样;样品掩膜:提供一块掩膜板(掩膜图案客户提供);样品台水冷: 采用基片台背板通冷却循环水强制水冷;
5) 蒸发源及电源:安装 4 组蒸发源,其中 3 组舟式/挂丝式金属蒸发源, 1 组束源炉式有机蒸发源;金属用蒸发电源: 2.2Kw 1 台;有机源用蒸发电源: 1 组温控型电源,最高加热温度 600℃;
6) 膜厚监控:采用薄膜沉积监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚;
7) 控制方式: PLC 手自动控制,触摸屏操作;
8) 特别定制:掩膜板一块
售后服务 (略) 点:当地;质保期限:2年;响应期限:报修后24小时;

2024-06-12 15:04:13

    
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