高真空电阻蒸发镀膜设备采购
高真空电阻蒸发镀膜设备采购
项目名称 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 项目编号 | XHGD-CG-* |
---|---|---|---|
公告开始日期 | 2024-06-12 17:37:06 | 公告截止日期 | 2024-06-15 19:00:00 |
采购单位 | 西湖大 (略) | 付款方式 | 预付40%,到货后支付50%,验收合格后支付10% |
联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后3个自然日 | |
预算总价 | ¥ *.00 | ||
发票要求 | 增值税普通发票 | ||
收货地址 | (略) 富 (略) 68号西湖大 (略) | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
高真空电阻蒸发镀膜 | 1 | 台 | 无 |
预算单价 | ¥ *.00 |
---|---|
技术参数及配置要求 | 1. 真空腔室:直径不小于300mm,高度不小于420mm;采用上钟罩(高硼硅玻璃)+下底座(304不锈钢)结构; 2. 真空系统:主泵采用分子泵,分子泵抽速不小于551L/s,前级泵抽速不小于6L/s;(*需提供相关证明文件) 3. 真空极限:优于3.0×10-5Pa; 4. 抽速:抽至3.0×10-4Pa≤10min; 5. 基片台尺寸:最大可镀基片尺寸不小于φ100mm,衬底水冷; 6. 可在线监测镀膜速率和厚度,蒸镀速率分辨率不低于0.1埃/S;(*需提供相关证明文件) 7. 蒸发源及电源:不少于两组蒸发源,陶瓷绝缘结构,预留拓展至多四组蒸发源孔位;不少于1台蒸发电源,功率不小于2.3Kw;(*需提供相关证明文件) |
售后服务 | (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:两年; |
2024-06-12 17:37:06
项目名称 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 项目编号 | XHGD-CG-* |
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公告开始日期 | 2024-06-12 17:37:06 | 公告截止日期 | 2024-06-15 19:00:00 |
采购单位 | 西湖大 (略) | 付款方式 | 预付40%,到货后支付50%,验收合格后支付10% |
联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后3个自然日 | |
预算总价 | ¥ *.00 | ||
发票要求 | 增值税普通发票 | ||
收货地址 | (略) 富 (略) 68号西湖大 (略) | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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高真空电阻蒸发镀膜 | 1 | 台 | 无 |
预算单价 | ¥ *.00 |
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技术参数及配置要求 | 1. 真空腔室:直径不小于300mm,高度不小于420mm;采用上钟罩(高硼硅玻璃)+下底座(304不锈钢)结构; 2. 真空系统:主泵采用分子泵,分子泵抽速不小于551L/s,前级泵抽速不小于6L/s;(*需提供相关证明文件) 3. 真空极限:优于3.0×10-5Pa; 4. 抽速:抽至3.0×10-4Pa≤10min; 5. 基片台尺寸:最大可镀基片尺寸不小于φ100mm,衬底水冷; 6. 可在线监测镀膜速率和厚度,蒸镀速率分辨率不低于0.1埃/S;(*需提供相关证明文件) 7. 蒸发源及电源:不少于两组蒸发源,陶瓷绝缘结构,预留拓展至多四组蒸发源孔位;不少于1台蒸发电源,功率不小于2.3Kw;(*需提供相关证明文件) |
售后服务 | (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:两年; |
2024-06-12 17:37:06
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