刻蚀机配件更换
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刻蚀机配件更换
发布单位： 昆明物理研究所
最终单位： 昆明物理研究所
参与方式： 公开询价
出价方式： 一次性出价
付款方式： 验收合格付款
保证金： 500.0 元
姓名： 邵小波
电话： 0871-*
| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 备注 | 备注 | 备注 |
| LAM刻蚀机配件更换 | 其他物资 | 1.0台 | 1.0台 | 刻蚀机三个腔体内部易损件使用寿命已达上限，需要更换及清洗 | 更换腔体内部配件，硅环，压环及喷淋板等，还需要进行相关配件的清洗 | 更换及清洗配件后设备能工作正常，保证非制冷工艺芯片的正常研发和生产流片 |
发布单位： 昆明物理研究所
最终单位： 昆明物理研究所
参与方式： 公开询价
出价方式： 一次性出价
付款方式： 验收合格付款
保证金： 500.0 元
姓名： 邵小波
电话： 0871-*
| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 备注 | 备注 | 备注 |
| LAM刻蚀机配件更换 | 其他物资 | 1.0台 | 1.0台 | 刻蚀机三个腔体内部易损件使用寿命已达上限，需要更换及清洗 | 更换腔体内部配件，硅环，压环及喷淋板等，还需要进行相关配件的清洗 | 更换及清洗配件后设备能工作正常，保证非制冷工艺芯片的正常研发和生产流片 |
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