磁控考夫曼离子束系统维护维修采购
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磁控考夫曼离子束系统维护维修采购
| 项目名称 | 磁控考夫曼离子束系统维护维修 | 项目编号 | ZXCG-JJ-* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-06-17 11:33:02 | 公告截止日期 | 2024-06-20 12:00:00 |
| 采购单位 | 物 (略) | 付款方式 | 货到验收合格付清全款 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后15日内 | 到货时间要求 | 签约后15个工作日内 |
| 预算总价 | ￥ *.00 | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | 福建师范大学物 (略) | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控靠父母离子束系统维护维修 | 1 | 项 | 真空应用设备 |
| 品牌 | 不限 |
|---|---|
| 型号 | 不限 |
| 预算单价 | ￥ *.00 |
| 技术参数及配置要求 | 1. 更换新磁控靶 6 台 预期效果：[每个磁控靶工作正常，无退磁无高温问题，磁控靶溅射均匀性优于±5%，溅射重复性优于±3%。] 2. 水排改造 改造具体内容：[更换水排回流排，更换设备连接水管，清 (略) ] 预期效果：[每个磁控靶单独供水，解决磁控靶因为水温过高退磁的问题。] 3. 更换电离规 电离规规格：[ZJ27] 更换必要性：[小磁控无法读取高真空数值，经检测为ZJ27电离规灯丝损坏，现场更换后故障解决] 4. 更换磁控靶挡板 改造具体内容：[增加磁控靶挡板] 更换后影响：[可以完成多层镀膜的工艺切换。在进行复杂的多层镀膜过程中，增加的挡板可以方便地在不同靶材或镀膜模式之间进行切换，确保镀膜工艺的顺利进行。] 5. 更换泵口充气电磁阀 挡板阀规格：*] 更换理由：[电磁阀阀阀体老化，不能保证每一次都可以完全打开，导致真空系统抽气不稳定] 6. 维修流量控制器 故障现象：[流量控制器不受控制， (略) 充气阀损坏，无法关闭] 7. 加热器更换及加热电源维修 故障现象：[大磁控样品无法加热] 维修效果：[加热温度室温至800度连续可调，控温精度±0.1度。] 8. 增加一块钢瓶加压表 增加部位：[ (略) 工艺气体，现场有钢瓶但没有减压表。] 9. 更换射频电源输出电缆 维修效果：[更换长度事宜的电缆，可以连接大磁控设备里面的所有磁控靶上。] 10. (略) 1KW磁控电源 增加原因：[原设备有一个过渡腔室一直闲置，通过这次维修，在这里面增加一个磁控靶及磁控电源，可以增加设备的利用率。] 维修效果：[增加后的磁控靶高度调节顺畅，无漏气漏水现象。样品加热功能正常，磁控电源工作正常。] 11. 增加样品旋转滑环装置 增加原因：[原设备电线随着样品转动，导致法兰上的陶封电极经常受力，时间久后法兰上的陶封电极密封口处漏气。] 改造具体内容：[增加样品旋转滑环装置] 12. 射频电源维修 故障现象：[射频电源无法正常启辉镀膜] 维修效果：[维修后电源启辉正常，自动匹配调谐正常，镀膜成膜正常。] |
| 售后服务 | 服务年限:质保期三年; |
2024-06-17 11:33:02
| 项目名称 | 磁控考夫曼离子束系统维护维修 | 项目编号 | ZXCG-JJ-* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-06-17 11:33:02 | 公告截止日期 | 2024-06-20 12:00:00 |
| 采购单位 | 物 (略) | 付款方式 | 货到验收合格付清全款 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后15日内 | 到货时间要求 | 签约后15个工作日内 |
| 预算总价 | ￥ *.00 | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | 福建师范大学物 (略) | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控靠父母离子束系统维护维修 | 1 | 项 | 真空应用设备 |
| 品牌 | 不限 |
|---|---|
| 型号 | 不限 |
| 预算单价 | ￥ *.00 |
| 技术参数及配置要求 | 1. 更换新磁控靶 6 台 预期效果：[每个磁控靶工作正常，无退磁无高温问题，磁控靶溅射均匀性优于±5%，溅射重复性优于±3%。] 2. 水排改造 改造具体内容：[更换水排回流排，更换设备连接水管，清 (略) ] 预期效果：[每个磁控靶单独供水，解决磁控靶因为水温过高退磁的问题。] 3. 更换电离规 电离规规格：[ZJ27] 更换必要性：[小磁控无法读取高真空数值，经检测为ZJ27电离规灯丝损坏，现场更换后故障解决] 4. 更换磁控靶挡板 改造具体内容：[增加磁控靶挡板] 更换后影响：[可以完成多层镀膜的工艺切换。在进行复杂的多层镀膜过程中，增加的挡板可以方便地在不同靶材或镀膜模式之间进行切换，确保镀膜工艺的顺利进行。] 5. 更换泵口充气电磁阀 挡板阀规格：*] 更换理由：[电磁阀阀阀体老化，不能保证每一次都可以完全打开，导致真空系统抽气不稳定] 6. 维修流量控制器 故障现象：[流量控制器不受控制， (略) 充气阀损坏，无法关闭] 7. 加热器更换及加热电源维修 故障现象：[大磁控样品无法加热] 维修效果：[加热温度室温至800度连续可调，控温精度±0.1度。] 8. 增加一块钢瓶加压表 增加部位：[ (略) 工艺气体，现场有钢瓶但没有减压表。] 9. 更换射频电源输出电缆 维修效果：[更换长度事宜的电缆，可以连接大磁控设备里面的所有磁控靶上。] 10. (略) 1KW磁控电源 增加原因：[原设备有一个过渡腔室一直闲置，通过这次维修，在这里面增加一个磁控靶及磁控电源，可以增加设备的利用率。] 维修效果：[增加后的磁控靶高度调节顺畅，无漏气漏水现象。样品加热功能正常，磁控电源工作正常。] 11. 增加样品旋转滑环装置 增加原因：[原设备电线随着样品转动，导致法兰上的陶封电极经常受力，时间久后法兰上的陶封电极密封口处漏气。] 改造具体内容：[增加样品旋转滑环装置] 12. 射频电源维修 故障现象：[射频电源无法正常启辉镀膜] 维修效果：[维修后电源启辉正常，自动匹配调谐正常，镀膜成膜正常。] |
| 售后服务 | 服务年限:质保期三年; |
2024-06-17 11:33:02
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