深圳大学-竞价公告
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深圳大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:等离子清洗机
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 等离子清洗机 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 韦氏纳米PIE | ||
| 型号 | Tergeo | ||
| 规格参数 | 1 清洗方式：浸入式等离子体清洗，用于高速蚀刻和表面改性；远程等离子体清洗，用于温和的表面 污染去除，例如扫描电镜/透射电镜样品清洗；脉冲操作，用于产生平均射频功率小于0.5瓦的等离子 体，用于极为精细的样品。2 操作方法：自动配方执行；自动作业顺序执行；手动操作。3 等离子体传感器：双等离子体强度传感器(正在申请专利)监测原位等离子体源和远程等离子体 源。等离子强度实时显示在液晶触摸屏上。4 先进过程控制能力：压力传感器、温度传感器、MFC中的气体流量计、双等离子体强度传感器、自 动阻抗匹配5 腔体材料：铝法兰和厚壁高纯度石英管增强了耐化学性，减少了pyrex玻璃中的碱杂质 (Ca 、K 、Na)。6 石英室尺寸：内部直径：110mm; 外径120mm, 深280mm7 样品架：2毫米厚高纯度石英板8 射频天线：外部射频电极和天线设计减少了在带有内部金属电极的等离子清洁器中发现的金属溅射 问题。9 射频电源：13.56MHz高频射频电源，自动阻抗匹配原位等离子体源。射频功率：0-75瓦。10 气体输入：多达三个质量流量控制气体输入(0~100sccm) 。 另一个用于排气和吹扫的端口。1/4英寸世伟洛克压缩接头。11 用户界面：7英寸电阻式触摸屏，手指触摸，无需触控笔。 | ||
| 质保及售后服务 | 提供原厂售后及安装培训服务 | ||
申购单号:CB*
申购主题:等离子清洗机
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 等离子清洗机 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 韦氏纳米PIE | ||
| 型号 | Tergeo | ||
| 规格参数 | 1 清洗方式：浸入式等离子体清洗，用于高速蚀刻和表面改性；远程等离子体清洗，用于温和的表面 污染去除，例如扫描电镜/透射电镜样品清洗；脉冲操作，用于产生平均射频功率小于0.5瓦的等离子 体，用于极为精细的样品。2 操作方法：自动配方执行；自动作业顺序执行；手动操作。3 等离子体传感器：双等离子体强度传感器(正在申请专利)监测原位等离子体源和远程等离子体 源。等离子强度实时显示在液晶触摸屏上。4 先进过程控制能力：压力传感器、温度传感器、MFC中的气体流量计、双等离子体强度传感器、自 动阻抗匹配5 腔体材料：铝法兰和厚壁高纯度石英管增强了耐化学性，减少了pyrex玻璃中的碱杂质 (Ca 、K 、Na)。6 石英室尺寸：内部直径：110mm; 外径120mm, 深280mm7 样品架：2毫米厚高纯度石英板8 射频天线：外部射频电极和天线设计减少了在带有内部金属电极的等离子清洁器中发现的金属溅射 问题。9 射频电源：13.56MHz高频射频电源，自动阻抗匹配原位等离子体源。射频功率：0-75瓦。10 气体输入：多达三个质量流量控制气体输入(0~100sccm) 。 另一个用于排气和吹扫的端口。1/4英寸世伟洛克压缩接头。11 用户界面：7英寸电阻式触摸屏，手指触摸，无需触控笔。 | ||
| 质保及售后服务 | 提供原厂售后及安装培训服务 | ||
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