真空腔体用于扫描探针显微镜，需要配三维定位台与现有纳米定 (略) 系统配合，所有真空电机、位移台和纳米定位台都置于真空腔体内。设计细节需要联系确定。 主要内容包括： 直空电机:配备带手动旋钮的XY两轴真空步进电机和配套电机控制器，控制器放在真空腔以外，XY方向位移台不小于20 mm行程，精度0.5微米；Z方向配手动真空位移台，行程10mm，精度1微米；真空度小于1e-5Pa，耐温300℃； 真空腔室：长宽不小于260mm*260mm，高度方向固定为135mm，带数显真空计，真空计实现从常压到1e-6Pa低压测量；上盖板配不小于100mm直径石英玻璃窗口； 腔室开孔: 抽气不小于KF25接口，接口配真空阀门；装放气阀接口； 腔室引线： 电信号接口包括三个SUB-D9(纳米定位台电控，电流小于10mA，电压超150V)；两路真空电机控制引线；以及预留不 (略) 其余电测信号线和加热线（电流小于100 mA）。 真空腔体需要便于装拆内部的纳米定位台和三维定位台，且需要与实验系统已有的手动二维定位台配合（螺纹连接）； 高真空抽速80L/S时，真空度小于1e-5Pa.

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真空腔体用于扫描探针显微镜，需要配三维定位台与现有纳米定 (略) 系统配合，所有真空电机、位移台和纳米定位台都置于真空腔体内。设计细节需要联系确定。 主要内容包括： 直空电机:配备带手动旋钮的XY两轴真空步进电机和配套电机控制器，控制器放在真空腔以外，XY方向位移台不小于20 mm行程，精度0.5微米；Z方向配手动真空位移台，行程10mm，精度1微米；真空度小于1e-5Pa，耐温300℃； 真空腔室：长宽不小于260mm*260mm，高度方向固定为135mm，带数显真空计，真空计实现从常压到1e-6Pa低压测量；上盖板配不小于100mm直径石英玻璃窗口； 腔室开孔: 抽气不小于KF25接口，接口配真空阀门；装放气阀接口； 腔室引线： 电信号接口包括三个SUB-D9(纳米定位台电控，电流小于10mA，电压超150V)；两路真空电机控制引线；以及预留不 (略) 其余电测信号线和加热线（电流小于100 mA）。 真空腔体需要便于装拆内部的纳米定位台和三维定位台，且需要与实验系统已有的手动二维定位台配合（螺纹连接）； 高真空抽速80L/S时，真空度小于1e-5Pa.

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