东南大学-竞价公告
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东南大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:热蒸发镀膜仪
采购单位:东南大学
报价要求:
发票类型:数电发票（普通发票）
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后60天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:江苏省/ (略) /江宁区/点击查看>>*
付款方式:预付30%，货到验收合格后付清70%尾款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 热蒸发镀膜仪 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 光拓科技 | ||
| 型号 | * | ||
| 规格参数 | 1. 支撑机架1．1采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动； 1．2机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备。2. 样品台2．1样品架夹具最大可以容纳1个装载有135mm*135mm基片的基片托盘2．2基片盘可旋转，旋转速度0-30转/分可调；2．3提供一套掩膜板，图案根据用户要求设计，基片与掩膜板的配合间隙小于0.1mm。2．4样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性；3. 蒸发源3．1 共6组蒸发源，6组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板。*3．2蒸发电源功率1.4KW以上,用于蒸发金属和有机，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。4. 膜厚测量系统4．1 采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度；4．2 膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度±0.015A；频率分辨率0.012HZ，频率稳定性±2ppm（0-50度)，测量周期0.1-1秒可调。带有WINDOWS操作软件，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。4．3 石英晶振水冷探头2个， 6MHZ，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构。*4. 4膜厚均匀性，≤5%， 软件操作：满足系统正常操作需求，包括自动抽真空，单层自动蒸镀，以及手动控 制各个部件。5. 蒸发腔体5．1 腔本由SUS304制作，其内部尺寸约为400mm*400mm*560mm；5．2 腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理；*5．3 腔体漏率：整体漏率优于5X10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于5Pa;7. 蒸镀软件控制系统7．1采用PLC，触摸屏或工控机控制；7．2真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭。带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温，降温，也可手动输入控制数据。*7．3可实现一键全自动蒸镀（自动真空，自动蒸镀，开关挡板，自动膜厚清零等自动操作）。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CB*
申购主题:热蒸发镀膜仪
采购单位:东南大学
报价要求:
发票类型:数电发票（普通发票）
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后60天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:江苏省/ (略) /江宁区/点击查看>>*
付款方式:预付30%，货到验收合格后付清70%尾款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 热蒸发镀膜仪 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 光拓科技 | ||
| 型号 | * | ||
| 规格参数 | 1. 支撑机架1．1采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动； 1．2机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备。2. 样品台2．1样品架夹具最大可以容纳1个装载有135mm*135mm基片的基片托盘2．2基片盘可旋转，旋转速度0-30转/分可调；2．3提供一套掩膜板，图案根据用户要求设计，基片与掩膜板的配合间隙小于0.1mm。2．4样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性；3. 蒸发源3．1 共6组蒸发源，6组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板。*3．2蒸发电源功率1.4KW以上,用于蒸发金属和有机，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。4. 膜厚测量系统4．1 采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度；4．2 膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度±0.015A；频率分辨率0.012HZ，频率稳定性±2ppm（0-50度)，测量周期0.1-1秒可调。带有WINDOWS操作软件，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。4．3 石英晶振水冷探头2个， 6MHZ，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构。*4. 4膜厚均匀性，≤5%， 软件操作：满足系统正常操作需求，包括自动抽真空，单层自动蒸镀，以及手动控 制各个部件。5. 蒸发腔体5．1 腔本由SUS304制作，其内部尺寸约为400mm*400mm*560mm；5．2 腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理；*5．3 腔体漏率：整体漏率优于5X10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于5Pa;7. 蒸镀软件控制系统7．1采用PLC，触摸屏或工控机控制；7．2真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭。带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温，降温，也可手动输入控制数据。*7．3可实现一键全自动蒸镀（自动真空，自动蒸镀，开关挡板，自动膜厚清零等自动操作）。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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