高精度紫外曝光机采购

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高精度紫外曝光机采购


高精度紫外曝光机（XF-WSBX-2400259）采购公告
发布时间：2024-06-28 16:50:28阅读量：3 次

项目名称高精度紫外曝光机项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期2024-06-28 16:50:28公告截止日期2024-07-05 18:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30个工作日内到货时间要求成交后30个工作日内
预算总价￥ *.00
发票要求增值税普通发票
收货地址浙江大学紫金港校区开物苑1号楼D02
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
高精度紫外曝光机1台电子工业生产设备

品牌MIDAS
型号MDA-400M
预算单价￥ *.00
技术参数及配置要求A.光源模块
-紫外线光源：350nm至450nm
-365nm强度：20~30mW/cm2
-最大光束：4.25“x 4.25”
-光束均匀度：±2%（4“晶圆）
B. 显微镜
- * 2个连接透镜
-* FOV：5710~890（um）
-* DOF：950~100（um）
-* W.D: 37.5~93（mm）
-双CCD变焦显微镜
-手动移动台：双X、Y、Z轴
-* 物镜间距：50～120mm
-移动范围：Y轴±20 mm
-* 双监视器
-放大倍数（范围）：90x~480x
- *含LED照明器控制器
C. 样品台和控制器模块
-曝光定时器：0.01秒至999.9秒
-样品台移动：X、Y、Z和Theta
X、 Y: 10mm，
θ：±5°
Z运动行程：15 mm
-接触方式：软、真空、硬、接近
* 真空和硬接触力可调节
-对准精度：<1.0微米
-* 真空/气动控制：基板、掩模版、接触、样品吸盘锁
-* Z轴内置数字式千分尺，显示高度位置，可计算样品和掩模版间距
* 硬接触时压力读数显示
1） 当SAMPLE VACUM打开时：WAFER上的固定真空压力
2） 当硬接触打开时：接触压力
样品吸盘水平调节：楔形错误补偿Wedge Error Compensation
*空气吸收器压力读数显示，用于楔块锁（WEDGE LOCK）的操作
（始终高：110-130；低：80-100）
*包含真空泵
真空度：≥-550mmHg（随设备本体提供一个）
售后服务 (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后8小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2024-06-28 16:50:28


高精度紫外曝光机（XF-WSBX-2400259）采购公告
发布时间：2024-06-28 16:50:28阅读量：3 次

项目名称高精度紫外曝光机项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期2024-06-28 16:50:28公告截止日期2024-07-05 18:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30个工作日内到货时间要求成交后30个工作日内
预算总价￥ *.00
发票要求增值税普通发票
收货地址浙江大学紫金港校区开物苑1号楼D02
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
高精度紫外曝光机1台电子工业生产设备

品牌MIDAS
型号MDA-400M
预算单价￥ *.00
技术参数及配置要求A.光源模块
-紫外线光源：350nm至450nm
-365nm强度：20~30mW/cm2
-最大光束：4.25“x 4.25”
-光束均匀度：±2%（4“晶圆）
B. 显微镜
- * 2个连接透镜
-* FOV：5710~890（um）
-* DOF：950~100（um）
-* W.D: 37.5~93（mm）
-双CCD变焦显微镜
-手动移动台：双X、Y、Z轴
-* 物镜间距：50～120mm
-移动范围：Y轴±20 mm
-* 双监视器
-放大倍数（范围）：90x~480x
- *含LED照明器控制器
C. 样品台和控制器模块
-曝光定时器：0.01秒至999.9秒
-样品台移动：X、Y、Z和Theta
X、 Y: 10mm，
θ：±5°
Z运动行程：15 mm
-接触方式：软、真空、硬、接近
* 真空和硬接触力可调节
-对准精度：<1.0微米
-* 真空/气动控制：基板、掩模版、接触、样品吸盘锁
-* Z轴内置数字式千分尺，显示高度位置，可计算样品和掩模版间距
* 硬接触时压力读数显示
1） 当SAMPLE VACUM打开时：WAFER上的固定真空压力
2） 当硬接触打开时：接触压力
样品吸盘水平调节：楔形错误补偿Wedge Error Compensation
*空气吸收器压力读数显示，用于楔块锁（WEDGE LOCK）的操作
（始终高：110-130；低：80-100）
*包含真空泵
真空度：≥-550mmHg（随设备本体提供一个）
售后服务 (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后8小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2024-06-28 16:50:28

    
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