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高真空电阻蒸发镀膜设备
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]148号 | ||
| 项目名称 | 中山大学化学工 (略) 高真空电阻蒸发镀膜设备采购项目 | ||
| 申购主题 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | 211,500.00 | ||
| 采购开始时间 | ** 22:45 | 采购结束时间 | ** 12:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后90天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 中山大学珠海校区海琴5号楼1026室 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 1. 真空腔室：净空间尺寸不小于Φ300×H450mm，前门开度尺寸不小于290×440mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ90mm，配一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质； | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 2. 真空系统：主泵分子泵抽速不小于2000m3/h，双级旋片泵抽速不小20m3/h，全量程数显复合真空计量程：1×105～1×10-5Pa； | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | 3. 真空极限：优于3.0×10-5Pa； | 重要 | 否 | 否 |
| 4 | 4. 抽速：抽至3.0×10-4Pa≤15min； | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 5. 基片台：根据客户样品测绘定制的基片台和掩膜板，最大可处理基片不小于*mm，基片台配有一体式全尺寸气动挡板，挡板开合要求磁流体密封；基片台需要设计旋转：旋转速度0-25转/分连续可调，要求磁流体密封；需要预留基片台水冷和加热的真空接口； | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 6. ★蒸发源：不少于3组蒸发源，源间配隔离挡板。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 7 | 7. ▲各源均有水冷且独立，要求采用陶瓷绝缘结构，双源上有气动水平打开式挡板，高度可调，要求磁流体密封； | 非常重要 | 否 | 是 |
| 8 | 8. 蒸发电源：电源功率不小于2.2KW，电流显示精度0.1安培，具备粗调微调功能； | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 9. 速率和膜厚监控：采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；速率显示为0.01nm/s，厚度分辨率±0.1nm；配置不少于1个探头，10片6MHz原装晶振片； | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 10. 操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭； | 重要 | 否 | 否 |
| 11 | 11. 水冷系统：水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等，整机配水流报警保护系统；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～25℃，控温精度±0.1℃； | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 1、主机：高真空电阻蒸发镀膜设备 1套 2、附件：冷却循环水机 1台 3、耗材： 钨舟 10个 钼舟20个 高纯铝颗粒10克 钨蓝坩埚组合 3套 CF35铜垫圈 3个 橡胶密封圈1个 电离规1个 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 13 | 整机（包括主机、附件及第三方产品）质保2年，耗材和易损件（橡胶密封圈、电离规）除外。 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 14 | 由厂家提供终身上门服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费。厂家在接到故障通知2小时内对采购人的服务要求作出响应；需要在现场解决问题的，在2个工作日内到达现场。 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 15 | 派专业工程师提供现场技术支持、培训及演示服务 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/ahttp://**。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 是 |
| 2 | 免费保修年限 | 3年 4年 5年 6年及以上 | 是 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]148号 | ||
| 项目名称 | 中山大学化学工 (略) 高真空电阻蒸发镀膜设备采购项目 | ||
| 申购主题 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | 211,500.00 | ||
| 采购开始时间 | ** 22:45 | 采购结束时间 | ** 12:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后90天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 中山大学珠海校区海琴5号楼1026室 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 1. 真空腔室：净空间尺寸不小于Φ300×H450mm，前门开度尺寸不小于290×440mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ90mm，配一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质； | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 2. 真空系统：主泵分子泵抽速不小于2000m3/h，双级旋片泵抽速不小20m3/h，全量程数显复合真空计量程：1×105～1×10-5Pa； | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | 3. 真空极限：优于3.0×10-5Pa； | 重要 | 否 | 否 |
| 4 | 4. 抽速：抽至3.0×10-4Pa≤15min； | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 5. 基片台：根据客户样品测绘定制的基片台和掩膜板，最大可处理基片不小于*mm，基片台配有一体式全尺寸气动挡板，挡板开合要求磁流体密封；基片台需要设计旋转：旋转速度0-25转/分连续可调，要求磁流体密封；需要预留基片台水冷和加热的真空接口； | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 6. ★蒸发源：不少于3组蒸发源，源间配隔离挡板。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 7 | 7. ▲各源均有水冷且独立，要求采用陶瓷绝缘结构，双源上有气动水平打开式挡板，高度可调，要求磁流体密封； | 非常重要 | 否 | 是 |
| 8 | 8. 蒸发电源：电源功率不小于2.2KW，电流显示精度0.1安培，具备粗调微调功能； | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 9. 速率和膜厚监控：采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；速率显示为0.01nm/s，厚度分辨率±0.1nm；配置不少于1个探头，10片6MHz原装晶振片； | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 10. 操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭； | 重要 | 否 | 否 |
| 11 | 11. 水冷系统：水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等，整机配水流报警保护系统；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～25℃，控温精度±0.1℃； | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 1、主机：高真空电阻蒸发镀膜设备 1套 2、附件：冷却循环水机 1台 3、耗材： 钨舟 10个 钼舟20个 高纯铝颗粒10克 钨蓝坩埚组合 3套 CF35铜垫圈 3个 橡胶密封圈1个 电离规1个 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 13 | 整机（包括主机、附件及第三方产品）质保2年，耗材和易损件（橡胶密封圈、电离规）除外。 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 14 | 由厂家提供终身上门服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费。厂家在接到故障通知2小时内对采购人的服务要求作出响应；需要在现场解决问题的，在2个工作日内到达现场。 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 15 | 派专业工程师提供现场技术支持、培训及演示服务 | 非常重要 | 否 | 否 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/ahttp://**。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 是 |
| 2 | 免费保修年限 | 3年 4年 5年 6年及以上 | 是 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
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