包含机械泵、分子泵、真空计等。真空泵抽速m3/h（L/s） 8极限分压强（Pa） 5×10-2电机功率（Kw） 0.4进排气口连接口DN（mm） KF16用油量（L） 0.6-1.0噪音（dB） ≤56分子泵进气口法兰 100 ISO-K或 CF100排气口法兰 KF16抽气速率（L/S） 300压缩比 N2 ＞108 H2 ＞1X103极限压强（Pa） ＜8×10-7振动值（μm） ≤0.1启动时间（min） ＜3.5停机时间（min） ＜4真空计测量范围: 1.0×10-1- 1.0×105Pa精度1.0×10-1- 1.0×104 Pa:+/-15%重复性1.0×10-1-1.0×103Pa:+/-2%真空开关阀阀座泄漏率:5x10-9atm cc/sec He设计验证:最大工作压力的150% 

包含机械泵、分子泵、真空计等。真空泵抽速m3/h（L/s） 8极限分压强（Pa） 5×10-2电机功率（Kw） 0.4进排气口连接口DN（mm） KF16用油量（L） 0.6-1.0噪音（dB） ≤56分子泵进气口法兰 100 ISO-K或 CF100排气口法兰 KF16抽气速率（L/S） 300压缩比 N2 ＞108 H2 ＞1X103极限压强（Pa） ＜8×10-7振动值（μm） ≤0.1启动时间（min） ＜3.5停机时间（min） ＜4真空计测量范围: 1.0×10-1- 1.0×105Pa精度1.0×10-1- 1.0×104 Pa:+/-15%重复性1.0×10-1-1.0×103Pa:+/-2%真空开关阀阀座泄漏率:5x10-9atm cc/sec He设计验证:最大工作压力的150%