下电极射频偏压源,光发射谱终点检测装置,液体前驱体供应系统,激光终点监视仪
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下电极射频偏压源,光发射谱终点检测装置,液体前驱体供应系统,激光终点监视仪
项目概况
| 采购类型 | 采购 |
| 项目编号 | 南海室快招（货）〔2024〕022号 |
| 项目名称 | 南方海洋科学与工程广东省实验室（珠海）液体前驱体供应系统等四个设备采购项目 |
| 申购主题 | 下电极射频偏压源,光发射谱终点检测装置,液体前驱体供应系统,激光终点监视仪 |
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *(人民币) |
| 采购开始时间 | 2024-07-11 09:18 | 采购结束时间 | 2024-07-16 09:00 |
| 采购单位 | 南方海洋科学与工程广东省实验室（珠海） |
| 经办人 | 沈老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后60天交货 |
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 中山大学珠海校区海琴4号楼D401 |
| 电子签章 | 无需使用 |
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3.外贸进口有关的一切费用（包括但不限于外贸代理费用、清关费用、银行手续费、海关监管手续费、报关费用、商检费用、申办机电批文费用、机场码头费等）。”均由中标方承担，需含在投标总价中。其中，“外贸代理费用”（红字部分） (略) （广州中 (略) ）代理手续费，收费标准根据实验室与广州中 (略) 签订的协议执行，中标方收费标准请见附件；其他费用在实际过程中产生，按附件表格标准收取。 |
采购明细
| 1采购设备 | 下电极射频偏压源 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 | |
技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 功能：为ICPECVD沉积系统提供下电极射频偏压、主要用于提高台阶覆盖率、特别是实现沟槽填充工艺（Trench Filling） | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 射频频率：≥ 13.5 MHz，符合SEMI标准 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 3 | 最大功率：≥ 300 W | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | 功率分辨率：≤ 0.2%设置值 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | 输出阻抗：≤ 50 Ohm | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 配置自动匹配器，可自动或手动匹配 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | 射频连接接口：标准7/16接口 | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | 控制模式：正向功率、偏置电压 | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 配置开关电源 | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 冷却方式：空气冷却 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 2采购设备 | 光发射谱终点检测装置 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 | |
技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 功能：采用光发射谱OES检测技术、为ICPECVD沉积系统的等离子体干法清洗工艺提供终点检测、节约清洗占用时间和工艺气体 | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 配置：光发射谱仪、光纤、光纤准直件、石英/蓝宝石窗口、窗口适配器、光谱仪软件 | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | 波长范围：不小于200~1100 nm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | 光谱分辨率：≤ 1.2 nm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | 模/数转换器：≥ 16 bit | 非常重要 | 否 | 是 |
| 6 | CMOS探测器：像素≥ 2048 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | 集成时间范围：不小于10 ms ~ 1 min | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | USB接口，数据传输速率：≤ 1.8 ms/scan | 非常重要 | 否 | 是 |
| 9 | 光纤接口：标准SMA 905接头 | 重要 | 否 | 否 |
| 3采购设备 | 液体前驱体供应系统 |
| 数量 | 1套 |
| 参考品牌 | |
技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 功能：为ICPECVD沉积系统提供TEOS/HMDSO等液体前驱体、实现非硅烷的氧化硅沉积工艺 | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 配置：前驱体罐、气动阀、阀门加热盒、氩气质量流量计、 (略) 控制器、排气口 | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | 温度操作范围（前驱体罐）：不小于50~100°C | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | 前驱体罐容积：≥ 600 ml | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | TEOS流量：≥ 5 sccm | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 氧化硅生长速率范围：不小于5~50 nm/min | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | 氧化硅折射率范围：不小于1.45~1.48 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 8 | 电路控制：采用总线控制（bus node） | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 前驱体罐支架板可升降调节空间、适用于不同尺寸的前驱体罐 | 重要 | 否 | 否 |
技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 功能：采用反射干涉法原理、实时监测ICPECVD沉积系统的沉积膜厚值 | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 激光波长：≥ 670 nm | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | 测量时间：≤ 1 s | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | 工作距离范围：不小于150~500 mm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | *@*50 mm距离：≤ 100 um | 非常重要 | 否 | 是 |
| 6 | *@*50 mm距离：≥ 1.5 mm x 1.5 mm | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 带X-Y电动位移台，行程范围：不小于25 mm x 25 mm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 8 | 位移台位移分辨率：≤ 2 um | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 光学窗口材料：蓝宝石 | 重要 | 否 | 否 |
资质要求
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件)
| 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公盖章）
| 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）
| 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）
| 是 |
| 5 | 第5条资质参数 | 符合性参数 | 供应商信用-投标供应商需提供在信用中国或其他权威 (略) 站的信用报告;报告中需写明供应商的经营许可范围;若未写明经营许可范围;需再提供佐证材料
| 是 |
商务要求
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 合同履约 | 该项目对应的付款方式必须严格按实验室合同范本执行；下载地址：http://**:8089/attachment/template/SMS/htmb.zip
| 否 |
| 2 | 免费保修年限 | 5年及以上
4年
3年
2年
| 是 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）
厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）
其他授权销售方式
| 是 |
项目概况
| 采购类型 | 采购 |
| 项目编号 | 南海室快招（货）〔2024〕022号 |
| 项目名称 | 南方海洋科学与工程广东省实验室（珠海）液体前驱体供应系统等四个设备采购项目 |
| 申购主题 | 下电极射频偏压源,光发射谱终点检测装置,液体前驱体供应系统,激光终点监视仪 |
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *(人民币) |
| 采购开始时间 | 2024-07-11 09:18 | 采购结束时间 | 2024-07-16 09:00 |
| 采购单位 | 南方海洋科学与工程广东省实验室（珠海） |
| 经办人 | 沈老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后60天交货 |
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 中山大学珠海校区海琴4号楼D401 |
| 电子签章 | 无需使用 |
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3.外贸进口有关的一切费用（包括但不限于外贸代理费用、清关费用、银行手续费、海关监管手续费、报关费用、商检费用、申办机电批文费用、机场码头费等）。”均由中标方承担，需含在投标总价中。其中，“外贸代理费用”（红字部分） (略) （广州中 (略) ）代理手续费，收费标准根据实验室与广州中 (略) 签订的协议执行，中标方收费标准请见附件；其他费用在实际过程中产生，按附件表格标准收取。 |
采购明细
| 1采购设备 | 下电极射频偏压源 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 | |
技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 功能：为ICPECVD沉积系统提供下电极射频偏压、主要用于提高台阶覆盖率、特别是实现沟槽填充工艺（Trench Filling） | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 射频频率：≥ 13.5 MHz，符合SEMI标准 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 3 | 最大功率：≥ 300 W | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | 功率分辨率：≤ 0.2%设置值 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | 输出阻抗：≤ 50 Ohm | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 配置自动匹配器，可自动或手动匹配 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | 射频连接接口：标准7/16接口 | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | 控制模式：正向功率、偏置电压 | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 配置开关电源 | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 冷却方式：空气冷却 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 2采购设备 | 光发射谱终点检测装置 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 | |
技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 功能：采用光发射谱OES检测技术、为ICPECVD沉积系统的等离子体干法清洗工艺提供终点检测、节约清洗占用时间和工艺气体 | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 配置：光发射谱仪、光纤、光纤准直件、石英/蓝宝石窗口、窗口适配器、光谱仪软件 | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | 波长范围：不小于200~1100 nm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | 光谱分辨率：≤ 1.2 nm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | 模/数转换器：≥ 16 bit | 非常重要 | 否 | 是 |
| 6 | CMOS探测器：像素≥ 2048 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | 集成时间范围：不小于10 ms ~ 1 min | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | USB接口，数据传输速率：≤ 1.8 ms/scan | 非常重要 | 否 | 是 |
| 9 | 光纤接口：标准SMA 905接头 | 重要 | 否 | 否 |
| 3采购设备 | 液体前驱体供应系统 |
| 数量 | 1套 |
| 参考品牌 | |
技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 功能：为ICPECVD沉积系统提供TEOS/HMDSO等液体前驱体、实现非硅烷的氧化硅沉积工艺 | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 配置：前驱体罐、气动阀、阀门加热盒、氩气质量流量计、 (略) 控制器、排气口 | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | 温度操作范围（前驱体罐）：不小于50~100°C | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | 前驱体罐容积：≥ 600 ml | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | TEOS流量：≥ 5 sccm | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 氧化硅生长速率范围：不小于5~50 nm/min | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | 氧化硅折射率范围：不小于1.45~1.48 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 8 | 电路控制：采用总线控制（bus node） | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 前驱体罐支架板可升降调节空间、适用于不同尺寸的前驱体罐 | 重要 | 否 | 否 |
技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 功能：采用反射干涉法原理、实时监测ICPECVD沉积系统的沉积膜厚值 | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 激光波长：≥ 670 nm | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | 测量时间：≤ 1 s | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | 工作距离范围：不小于150~500 mm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | *@*50 mm距离：≤ 100 um | 非常重要 | 否 | 是 |
| 6 | *@*50 mm距离：≥ 1.5 mm x 1.5 mm | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 带X-Y电动位移台，行程范围：不小于25 mm x 25 mm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 8 | 位移台位移分辨率：≤ 2 um | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 光学窗口材料：蓝宝石 | 重要 | 否 | 否 |
资质要求
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件)
| 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公盖章）
| 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）
| 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）
| 是 |
| 5 | 第5条资质参数 | 符合性参数 | 供应商信用-投标供应商需提供在信用中国或其他权威 (略) 站的信用报告;报告中需写明供应商的经营许可范围;若未写明经营许可范围;需再提供佐证材料
| 是 |
商务要求
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
| 1 | 合同履约 | 该项目对应的付款方式必须严格按实验室合同范本执行；下载地址：http://**:8089/attachment/template/SMS/htmb.zip
| 否 |
| 2 | 免费保修年限 | 5年及以上
4年
3年
2年
| 是 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）
厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）
其他授权销售方式
| 是 |
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