离子束微纳加工实验平台离子源系统采购
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离子束微纳加工实验平台离子源系统采购
| 项目名称 | XPUTTER-LAB离 (略) 离子源系统 | 项目编号 | XF-WSBX-* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-07-18 11:00:24 | 公告截止日期 | 2024-07-25 13:00:00 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后3个工作日内 |
| 预算总价 | ￥ *.00 | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 | ||
| 收货地址 | 玉泉校区微电子楼105室 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| XPUTTER-LAB离 (略) 离子源系统 | 1 | 台 | 光学式分析仪器 |
| 预算单价 | ￥ *.00 |
|---|---|
| 技术参数及配置要求 | 离 (略) 离子源系统一套，包含两个相互配合工作的射频离子源（溅射源和刻蚀源），离子源口径分别为50m（5cm）和120mm（12cm），控制系统为一体化控制。 具体参数： 1.溅射源： 离子束有效束径：5cm 栅网类型： (略) 阴极类型：中空阴极 屏栅极电压：纯Ar电压范围：150-800V 离子能量最大值：纯Ar 800eV 屏栅极电流：纯Ar电流范围：20-80mA 加速极电压：范围100-800V 允许气体类型：Ar，O2（保证操作安全情况下，可兼容其他气体） 中和器允许气体类型：Ar 气体流量计规格：50sccm（O2），50sccm（Ar），50sccm（Ar，中和器专用） 背景真空：≤9.0x10-3Pa 最大工作压力：1.33x10-1Pa 气体纯度：Ar纯度要求99.999%，O2纯度要求99.99% 冷却水：流量1.5L/min，温度16-24°C，离子源出水口和入水口压力差＞3.5kg 接地要求：接地电阻不大于4Ω，建议单独接地 安装孔位要求：ISO200法兰+1个32mm圆通孔或其它定制方式 供电要求：单相三芯：185-240V AC，50/60Hz，32A 国标三插头：185-240V AC，50/60Hz，10A 2.刻蚀源： 离子束有效束径：12cm 栅网类型： (略) 阴极类型：中空阴极 屏栅极电压：纯Ar电压范围：150-800V 离子能量最大值：纯Ar 800eV 屏栅极电流：纯Ar电流范围：50-300mA 加速极电压：范围100-800V 允许气体类型：Ar，O2（保证操作安全情况下，可兼容其他气体） 中和器允许气体类型：Ar 气体流量计规格：50sccm（O2），50sccm（Ar），50sccm（Ar，中和器专用） 背景真空：≤9.0x10-3Pa 最大工作压力：1.33x10-1Pa 气体纯度：Ar纯度要求99.999%，O2纯度要求99.99% 冷却水：流量1.5L/min，温度16-24°C，离子源出水口和入水口压力差＞3.5kg 接地要求：接地电阻不大于4Ω，建议单独接地 安装孔位要求：ISO200法兰+1个32mm圆通孔或其它定制方式 供电要求：单相三芯：185-240V AC，50/60Hz，32A；国标三插头：185-240V AC，50/60Hz，10A |
| 售后服务 | (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
浙江大学
2024-07-18 11:00:24
| 项目名称 | XPUTTER-LAB离 (略) 离子源系统 | 项目编号 | XF-WSBX-* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-07-18 11:00:24 | 公告截止日期 | 2024-07-25 13:00:00 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后3个工作日内 |
| 预算总价 | ￥ *.00 | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 | ||
| 收货地址 | 玉泉校区微电子楼105室 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| XPUTTER-LAB离 (略) 离子源系统 | 1 | 台 | 光学式分析仪器 |
| 预算单价 | ￥ *.00 |
|---|---|
| 技术参数及配置要求 | 离 (略) 离子源系统一套，包含两个相互配合工作的射频离子源（溅射源和刻蚀源），离子源口径分别为50m（5cm）和120mm（12cm），控制系统为一体化控制。 具体参数： 1.溅射源： 离子束有效束径：5cm 栅网类型： (略) 阴极类型：中空阴极 屏栅极电压：纯Ar电压范围：150-800V 离子能量最大值：纯Ar 800eV 屏栅极电流：纯Ar电流范围：20-80mA 加速极电压：范围100-800V 允许气体类型：Ar，O2（保证操作安全情况下，可兼容其他气体） 中和器允许气体类型：Ar 气体流量计规格：50sccm（O2），50sccm（Ar），50sccm（Ar，中和器专用） 背景真空：≤9.0x10-3Pa 最大工作压力：1.33x10-1Pa 气体纯度：Ar纯度要求99.999%，O2纯度要求99.99% 冷却水：流量1.5L/min，温度16-24°C，离子源出水口和入水口压力差＞3.5kg 接地要求：接地电阻不大于4Ω，建议单独接地 安装孔位要求：ISO200法兰+1个32mm圆通孔或其它定制方式 供电要求：单相三芯：185-240V AC，50/60Hz，32A 国标三插头：185-240V AC，50/60Hz，10A 2.刻蚀源： 离子束有效束径：12cm 栅网类型： (略) 阴极类型：中空阴极 屏栅极电压：纯Ar电压范围：150-800V 离子能量最大值：纯Ar 800eV 屏栅极电流：纯Ar电流范围：50-300mA 加速极电压：范围100-800V 允许气体类型：Ar，O2（保证操作安全情况下，可兼容其他气体） 中和器允许气体类型：Ar 气体流量计规格：50sccm（O2），50sccm（Ar），50sccm（Ar，中和器专用） 背景真空：≤9.0x10-3Pa 最大工作压力：1.33x10-1Pa 气体纯度：Ar纯度要求99.999%，O2纯度要求99.99% 冷却水：流量1.5L/min，温度16-24°C，离子源出水口和入水口压力差＞3.5kg 接地要求：接地电阻不大于4Ω，建议单独接地 安装孔位要求：ISO200法兰+1个32mm圆通孔或其它定制方式 供电要求：单相三芯：185-240V AC，50/60Hz，32A；国标三插头：185-240V AC，50/60Hz，10A |
| 售后服务 | (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
浙江大学
2024-07-18 11:00:24
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