高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统采购
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高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统采购
| 项目名称 | 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统 | 项目编号 | A-WZBX1016 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-08-12 16:46:26 | 公告截止日期 | 2024-08-15 18:00:00 |
| 采购单位 | 萨本栋微米纳米科 (略) | 付款方式 | |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后30个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥ *.00 | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | 厦门大学亦玄馆 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统 | 1 | 台 | 无 |
| 预算单价 | ￥ *.00 |
|---|---|
| 技术参数及配置要求 | 极限真空度：≤6.6*10-6Pa(经烘烤除气后) 抽速：从大气开始抽气20分钟可达到 8*10-4Pa 保压性能：系统停泵关机12小时后真空度≤10Pa 真空室：尺寸Ф450mm；石英玻璃窗口：RF63，1块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻 璃，供激光入射使用）。 旋转靶台：一次可以同时安装4块靶材，靶材最大尺寸Φ60mm；每块靶材可实现自转，转速 5～30 转/分，连续可调，并显示转速；靶位公转换位机构，PLC 控制，编码器控制旋转精度，精度1°，可进行靶摆动，提高靶材利用率；靶材屏蔽罩将4块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染。 基片加热台：可放置一片φ2″基片；加热炉最高温度800℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制；基片可连续回转，转速5～20转/分，电机驱动磁耦合机构控制；基片与靶台之间距离30～90mm可调，由腔外手动波纹管调节机构控制。 |
| 售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;本次招标要求投标人承诺对所投设备（货物）至少免费保修两年，本项目质保期自项目验收合格之日起开始计算，所需的费用应包含在投标报价中，并承诺保修期内免费上门维护（包含免费维修及免费更换货物服务）。投标的产品投标人应提售后服务条款说明书，并提供本地化售后服务有关证明文件及名称、地址、联系人、联系电话。; |
2024-08-12 16:46:26
| 项目名称 | 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统 | 项目编号 | A-WZBX1016 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-08-12 16:46:26 | 公告截止日期 | 2024-08-15 18:00:00 |
| 采购单位 | 萨本栋微米纳米科 (略) | 付款方式 | |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后30个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥ *.00 | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | 厦门大学亦玄馆 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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| 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统 | 1 | 台 | 无 |
| 预算单价 | ￥ *.00 |
|---|---|
| 技术参数及配置要求 | 极限真空度：≤6.6*10-6Pa(经烘烤除气后) 抽速：从大气开始抽气20分钟可达到 8*10-4Pa 保压性能：系统停泵关机12小时后真空度≤10Pa 真空室：尺寸Ф450mm；石英玻璃窗口：RF63，1块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻 璃，供激光入射使用）。 旋转靶台：一次可以同时安装4块靶材，靶材最大尺寸Φ60mm；每块靶材可实现自转，转速 5～30 转/分，连续可调，并显示转速；靶位公转换位机构，PLC 控制，编码器控制旋转精度，精度1°，可进行靶摆动，提高靶材利用率；靶材屏蔽罩将4块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染。 基片加热台：可放置一片φ2″基片；加热炉最高温度800℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制；基片可连续回转，转速5～20转/分，电机驱动磁耦合机构控制；基片与靶台之间距离30～90mm可调，由腔外手动波纹管调节机构控制。 |
| 售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;本次招标要求投标人承诺对所投设备（货物）至少免费保修两年，本项目质保期自项目验收合格之日起开始计算，所需的费用应包含在投标报价中，并承诺保修期内免费上门维护（包含免费维修及免费更换货物服务）。投标的产品投标人应提售后服务条款说明书，并提供本地化售后服务有关证明文件及名称、地址、联系人、联系电话。; |
2024-08-12 16:46:26
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