真空内光学元件姿态调节及运动机构系统
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真空内光学元件姿态调节及运动机构系统
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]097号 | ||
| 项目名称 | 中山 (略) 真空内光学元件姿态调节及运动机构系统采购项目 | ||
| 申购主题 | 真空内光学元件姿态调节及运动机构系统 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | * | ||
| 报名及响应开始时间 | 2024-08-16 17:56 | 报名及响应结束时间 | 2024-08-22 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后75天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | (略) 浦东 (略) 239号，上海同步辐射光源 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 真空内光学元件姿态调节及运动机构系统 |
| 数量 | 1套 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 模块化的光学元件多自由度位置与姿态调节及运动机构系统，用于实现真空内多个光学元件姿态的高精度调节及反馈控制。该系统需要承载并调节的光学元件包括：1个光阑、1个聚焦波带片、1个EUV掩模样品、1个成像波带片。 (略) 图见物资附件说明文件。 | 重要 | 否 | 是 |
| 2 | 用于光阑和照明波带片的位置精密调整，由2套X/Y二维平动调整机构和1个Z轴升降机构组成。 | 重要 | 否 | 是 |
| 3 | （1） X/ (略) 运动行程≥16mm；最小步长≤5nm。 （2） Z升降台行程≥10mm。 （3） 重复定位精度≤±5nm。 | 重要 | 否 | 是 |
| 4 | （4） 最大负载≥0.5kg。 （5） 满足100℃烘烤要求，能在5×10^-8mbar的真空条件下使用。 （6） X/ (略) 外形尺寸：≤52×52×23mm。 （7） Z升降台外形尺寸：≤52×52×38mm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 用于调节成像波带片的姿态，同时实现在 (略) 扫描过程中保持成像波带片与EUV掩模的相对位置稳定。包括1套X/Y/Z三维平动调整机构，1套X/Y/Z压电扫描台，1路单探头电容式微位移传感器，X/ (略) 相对位移测量系统等。 | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | （1）X/Y平台运动行程≥16mm，最小步长≤5nm。 （2）Z轴升降行程≥10mm，最小步长≤5nm。 （3）X/Y/Z平台运动重复定位精度≤±5nm。 | 重要 | 否 | 是 |
| 7 | （4）最大负载≥0.5kg。 （5）X/Y/ (略) 外形：≤52×52×60mm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | ★用于稳定保持成像波带片和EUV掩模相对位置，能够和干涉仪以及电容传感器同时闭环控制，最小调节精度≤*@*0Hz。具体指标包括： （1）最大载荷≥500g。 （2）X/Y/Z运动行程≥100um。 （3）X/Y/Z运动的重复精度≤*@*0Hz。 （4）X/Y/Z空载带宽：≥100Hz。 （5）X/Y/ (略) 外形尺寸：≤540×40×42mm。 须提供出厂测试报告等系统性能证明文件。 | 重要 | 是 | 是 |
| 9 | 1路单探头电容式微位移传感器，测量范围≥200um，测量精度≤*@*0Hz。 | 重要 | 否 | 是 |
| 10 | ★ X/ (略) 相对位移测量系统， (略) 光纤激光干涉仪探头， (略) 返回用的角锥棱镜及其调整支架，干涉仪波长1530nm，重复精度≤*@*0Hz。空载谐振带宽大于100HZ，工作调节距离100μm。 | 重要 | 是 | 是 |
| 11 | 满足100℃烘烤要求，能在5×10^-8mbar的真空条件下使用。 | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 用于EUV掩模的5个自由度的位置与姿态调节，包括1套X/Y二维平动调整机构和1套并联纳米位移台实现θX/θY和Z方向的调整，以及1个EUV光电二极管探测器用于光通量测量。 | 重要 | 否 | 是 |
| 13 | ▲ X/Y二维平动调整机构：X平台运动范围≥16mm；Y平台运动范围≥50mm；X/Y平台运动重复定位精度≤±5nm，最小步长≤5nm，最大负载≥1kg。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 14 | 并联纳米位移台实现θX/θY和Z方向的调整；调整范围±3°，调整精度≤0.001°。Z轴升降范围≥4mm，重复定位精度≤±5nm，最小步长≤5nm，最大负载≥0.4kg。 | 重要 | 否 | 是 |
| 15 | EUV光电二极管，光响应优于0.2A/*@*3.5nm，有效面积优于20mm2。 | 重要 | 否 | 是 |
| 16 | （1）满足100℃烘烤要求，能在5×10-8mbar的真空条件下使用。 （2）X/ (略) 外形尺寸：≤82×75×28mm。 （3） (略) 外形：上平台直径≤100mm，下基座直径≤140mm，高下直径≤65mm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 17 | （1）要求材质为低热胀系数的4J32合金、高刚度、安装接触面粗糙度低、平面度好。 （2）平台尺寸≥100mm×140mm×20mm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 18 | 用于光阑、照明波带片、掩模样品及成像波带片的承载和保护，模块化设计可更换。提供支架设计图和与光学元件的连接方案。 | 重要 | 否 | 是 |
| 19 | （1）实现各个运动机构单元的运动控制。 （2）实现激光干涉仪和电容传感器的同时闭环，对外部实现干扰抑制功能。 （3）压电扫描控制器，要求能够扫描分析纳米运动系统的频率和相位特性。 | 重要 | 否 | 是 |
| 20 | （1）处理器：性能不低于 锐龙R7-8845； （2）显卡：性能不低于Radeon 780M； （3）内存：*@*2G （4）显示器：*@*20Hz | 重要 | 否 | 否 |
| 21 | 1、各组件的运动控制器 2、所有连接线缆至少3米以上，满足现场安装条件。 3、真空馈通法兰CF63 （DB 15 3）5个、 CF35 DB15 2个、CF35 DB 9 2个光光纤馈通法兰 CF35 2路1个。 | 重要 | 否 | 是 |
| 22 | 1、 提供API接口、支持软件二次开发。 2、 附带控制电脑1台、 (略) 控制软件1套。 | 重要 | 否 | 是 |
| 23 | 1、EU (略) 调节机构：定制产品1套； 2、EU (略) 调节机构：定制产品1套； 3、EUV掩模位置与姿态调节机构：定制产品1套； 4、主光学系统安装基板：定制产品1套； 5、光学元件支架，包括光阑支架、照明波带片支架、掩模样品支架及成像波带片支架：定制产品1套； 6、控制系统（API、控制电脑、附带软件、API开发）：定制产品1套。 | 重要 | 否 | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式可选其他付款方式，在合同签订后，最多支付合同总金额的40%作为预付款；（2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 否 |
| 2 | 售后和培训 | 免费保修时间： 按照国家《质量法》负责产品质量，完全按照国家技术标准及采购方的要求制造，质保期为验收合格之后的 5 年。质保期内因*方产品质量出现问题，非人为损坏情况下，由*方实行免费包修、包换。 保修范围： 长期维护，实行不定期巡检，有偿终身维修服务。 售后服务要求： 产品出现故障24小时内到达*方或*方指定现场解决（技术支持、维修换货服务），未按规定的时间到达现场，*方未在指定期限内到达现场，*方有权自行委托第三方予以处置相应费用由*方承担。 培训要求： 交付前要进行2天的用户使用培训。 | 是 |
| 3 | 免费保修年限 | 5年 6年 7年 8年及以上 | 是 |
| 4 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
| 5 | 投标人业绩（提供与用户签订的有效合同关键页扫描件，未提供或无法判断的不得分） | 没有同型号或同类设备的产品销售经验 具有1套同型号或同类设备的产品销售经验 具有2套及以上同型号或同类设备的产品销售经验 | 是 |
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]097号 | ||
| 项目名称 | 中山 (略) 真空内光学元件姿态调节及运动机构系统采购项目 | ||
| 申购主题 | 真空内光学元件姿态调节及运动机构系统 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | * | ||
| 报名及响应开始时间 | 2024-08-16 17:56 | 报名及响应结束时间 | 2024-08-22 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后75天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | (略) 浦东 (略) 239号，上海同步辐射光源 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 真空内光学元件姿态调节及运动机构系统 |
| 数量 | 1套 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 模块化的光学元件多自由度位置与姿态调节及运动机构系统，用于实现真空内多个光学元件姿态的高精度调节及反馈控制。该系统需要承载并调节的光学元件包括：1个光阑、1个聚焦波带片、1个EUV掩模样品、1个成像波带片。 (略) 图见物资附件说明文件。 | 重要 | 否 | 是 |
| 2 | 用于光阑和照明波带片的位置精密调整，由2套X/Y二维平动调整机构和1个Z轴升降机构组成。 | 重要 | 否 | 是 |
| 3 | （1） X/ (略) 运动行程≥16mm；最小步长≤5nm。 （2） Z升降台行程≥10mm。 （3） 重复定位精度≤±5nm。 | 重要 | 否 | 是 |
| 4 | （4） 最大负载≥0.5kg。 （5） 满足100℃烘烤要求，能在5×10^-8mbar的真空条件下使用。 （6） X/ (略) 外形尺寸：≤52×52×23mm。 （7） Z升降台外形尺寸：≤52×52×38mm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 用于调节成像波带片的姿态，同时实现在 (略) 扫描过程中保持成像波带片与EUV掩模的相对位置稳定。包括1套X/Y/Z三维平动调整机构，1套X/Y/Z压电扫描台，1路单探头电容式微位移传感器，X/ (略) 相对位移测量系统等。 | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | （1）X/Y平台运动行程≥16mm，最小步长≤5nm。 （2）Z轴升降行程≥10mm，最小步长≤5nm。 （3）X/Y/Z平台运动重复定位精度≤±5nm。 | 重要 | 否 | 是 |
| 7 | （4）最大负载≥0.5kg。 （5）X/Y/ (略) 外形：≤52×52×60mm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | ★用于稳定保持成像波带片和EUV掩模相对位置，能够和干涉仪以及电容传感器同时闭环控制，最小调节精度≤*@*0Hz。具体指标包括： （1）最大载荷≥500g。 （2）X/Y/Z运动行程≥100um。 （3）X/Y/Z运动的重复精度≤*@*0Hz。 （4）X/Y/Z空载带宽：≥100Hz。 （5）X/Y/ (略) 外形尺寸：≤540×40×42mm。 须提供出厂测试报告等系统性能证明文件。 | 重要 | 是 | 是 |
| 9 | 1路单探头电容式微位移传感器，测量范围≥200um，测量精度≤*@*0Hz。 | 重要 | 否 | 是 |
| 10 | ★ X/ (略) 相对位移测量系统， (略) 光纤激光干涉仪探头， (略) 返回用的角锥棱镜及其调整支架，干涉仪波长1530nm，重复精度≤*@*0Hz。空载谐振带宽大于100HZ，工作调节距离100μm。 | 重要 | 是 | 是 |
| 11 | 满足100℃烘烤要求，能在5×10^-8mbar的真空条件下使用。 | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 用于EUV掩模的5个自由度的位置与姿态调节，包括1套X/Y二维平动调整机构和1套并联纳米位移台实现θX/θY和Z方向的调整，以及1个EUV光电二极管探测器用于光通量测量。 | 重要 | 否 | 是 |
| 13 | ▲ X/Y二维平动调整机构：X平台运动范围≥16mm；Y平台运动范围≥50mm；X/Y平台运动重复定位精度≤±5nm，最小步长≤5nm，最大负载≥1kg。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 14 | 并联纳米位移台实现θX/θY和Z方向的调整；调整范围±3°，调整精度≤0.001°。Z轴升降范围≥4mm，重复定位精度≤±5nm，最小步长≤5nm，最大负载≥0.4kg。 | 重要 | 否 | 是 |
| 15 | EUV光电二极管，光响应优于0.2A/*@*3.5nm，有效面积优于20mm2。 | 重要 | 否 | 是 |
| 16 | （1）满足100℃烘烤要求，能在5×10-8mbar的真空条件下使用。 （2）X/ (略) 外形尺寸：≤82×75×28mm。 （3） (略) 外形：上平台直径≤100mm，下基座直径≤140mm，高下直径≤65mm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 17 | （1）要求材质为低热胀系数的4J32合金、高刚度、安装接触面粗糙度低、平面度好。 （2）平台尺寸≥100mm×140mm×20mm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 18 | 用于光阑、照明波带片、掩模样品及成像波带片的承载和保护，模块化设计可更换。提供支架设计图和与光学元件的连接方案。 | 重要 | 否 | 是 |
| 19 | （1）实现各个运动机构单元的运动控制。 （2）实现激光干涉仪和电容传感器的同时闭环，对外部实现干扰抑制功能。 （3）压电扫描控制器，要求能够扫描分析纳米运动系统的频率和相位特性。 | 重要 | 否 | 是 |
| 20 | （1）处理器：性能不低于 锐龙R7-8845； （2）显卡：性能不低于Radeon 780M； （3）内存：*@*2G （4）显示器：*@*20Hz | 重要 | 否 | 否 |
| 21 | 1、各组件的运动控制器 2、所有连接线缆至少3米以上，满足现场安装条件。 3、真空馈通法兰CF63 （DB 15 3）5个、 CF35 DB15 2个、CF35 DB 9 2个光光纤馈通法兰 CF35 2路1个。 | 重要 | 否 | 是 |
| 22 | 1、 提供API接口、支持软件二次开发。 2、 附带控制电脑1台、 (略) 控制软件1套。 | 重要 | 否 | 是 |
| 23 | 1、EU (略) 调节机构：定制产品1套； 2、EU (略) 调节机构：定制产品1套； 3、EUV掩模位置与姿态调节机构：定制产品1套； 4、主光学系统安装基板：定制产品1套； 5、光学元件支架，包括光阑支架、照明波带片支架、掩模样品支架及成像波带片支架：定制产品1套； 6、控制系统（API、控制电脑、附带软件、API开发）：定制产品1套。 | 重要 | 否 | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式可选其他付款方式，在合同签订后，最多支付合同总金额的40%作为预付款；（2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 否 |
| 2 | 售后和培训 | 免费保修时间： 按照国家《质量法》负责产品质量，完全按照国家技术标准及采购方的要求制造，质保期为验收合格之后的 5 年。质保期内因*方产品质量出现问题，非人为损坏情况下，由*方实行免费包修、包换。 保修范围： 长期维护，实行不定期巡检，有偿终身维修服务。 售后服务要求： 产品出现故障24小时内到达*方或*方指定现场解决（技术支持、维修换货服务），未按规定的时间到达现场，*方未在指定期限内到达现场，*方有权自行委托第三方予以处置相应费用由*方承担。 培训要求： 交付前要进行2天的用户使用培训。 | 是 |
| 3 | 免费保修年限 | 5年 6年 7年 8年及以上 | 是 |
| 4 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
| 5 | 投标人业绩（提供与用户签订的有效合同关键页扫描件，未提供或无法判断的不得分） | 没有同型号或同类设备的产品销售经验 具有1套同型号或同类设备的产品销售经验 具有2套及以上同型号或同类设备的产品销售经验 | 是 |
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